Suseptor tong untuk epitaksi fasa cecair LPE
EPI (Epitaksi)merupakan proses kritikal dalam pembuatan semikonduktor termaju. Ia melibatkan pemendapan lapisan nipis bahan pada substrat untuk mencipta struktur peranti yang kompleks. Susceptor tong grafit bersalut SiC untuk EPI biasanya digunakan sebagai susceptor dalam reaktor EPI kerana kekonduksian terma yang sangat baik dan rintangan kepada suhu tinggi. DenganSalutan CVD-SiC, ia menjadi lebih tahan terhadap pencemaran, hakisan, dan kejutan haba. Ini menghasilkan jangka hayat yang lebih lama untuk susceptor dan kualiti filem yang lebih baik.
Kelebihan susceptor tong kami untuk LPE epitaksi fasa cecair:
Pencemaran yang dikurangkan:Sifat lengai SiC menghalang kekotoran daripada melekat pada permukaan suseptor, mengurangkan risiko pencemaran filem yang dimendapkan.
Peningkatan Rintangan Hakisan:SiC jauh lebih tahan terhadap hakisan berbanding grafit konvensional, yang membawa kepada jangka hayat yang lebih lama untuk susceptor.
Kestabilan Terma yang Diperbaiki:SiC mempunyai kekonduksian terma yang sangat baik dan boleh menahan suhu tinggi tanpa herotan yang ketara.
Kualiti Filem yang Dipertingkatkan:Kestabilan terma yang lebih baik dan pencemaran yang dikurangkan menghasilkan filem termendap berkualiti tinggi dengan kawalan keseragaman dan ketebalan yang lebih baik.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ialah sebuah perusahaan berteknologi tinggi yang memfokuskan pada pengeluaran dan penjualan bahan termaju mewah, bahan dan teknologi termasuk grafit, silikon karbida, seramik, rawatan permukaan seperti salutan SiC, salutan TaC, karbon berkaca salutan, salutan karbon pirolitik, dan lain-lain, produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baru, metalurgi, dan lain-lain.
Pasukan teknikal kami berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, dan telah membangunkan pelbagai teknologi yang dipatenkan untuk memastikan prestasi dan kualiti produk, juga boleh menyediakan pelanggan dengan penyelesaian bahan profesional.
Kami sangat mengalu-alukan anda untuk melawat makmal dan kilang kami untuk perbincangan dan kerjasama teknikal!
