Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor
Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorialah peranti sokongan dan pemanasan yang direka khas digunakan untuk memegang dan memanaskan substrat semikonduktor semasa proses pembuatan seperti proses Pemendapan atau Epitaksi.
Strukturnya termasuk biasanya berbentuk silinder atau sedikit tong, permukaan mempunyai beberapa poket atau platform untuk meletakkan wafer, boleh menjadi reka bentuk pepejal atau berongga, bergantung pada kaedah pemanasan.
Fungsi utama susceptor tong epitaxial:
-Sokongan substrat: memegang berbilang wafer semikonduktor dengan selamat;
-Sumber haba: menyediakan suhu tinggi yang diperlukan untuk pertumbuhan melalui pemanasan;
-Keseragaman suhu: memastikan pemanasan seragam substrat;
-Putaran: biasanya berputar semasa pertumbuhan untuk meningkatkan keseragaman pengagihan suhu dan gas.
Prinsip kerja susceptor tong grafit Epi:
- Dalam reaktor epitaxial, susceptor tong dipanaskan pada suhu yang diperlukan (biasanya 1000 ℃-1200 ℃ untuk epitaksi silikon);
-Susceptor tong berputar untuk memastikan pengagihan suhu seragam dan aliran gas;
-Gas tindak balas terurai pada suhu tinggi, membentuk lapisan epitaxial pada permukaan substrat.
Aplikasi:
-Terutama digunakan untuk pertumbuhan epitaxial silikon
-Juga boleh digunakan untuk epitaksi bahan semikonduktor lain seperti GaAs, InP, dsb.
VET Energy menggunakan grafit ketulenan tinggi dengan salutan CVD-SiC untuk meningkatkan kestabilan kimia:
Kelebihan VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:
-Kestabilan suhu tinggi;
-Keseragaman haba yang baik;
-Boleh memproses berbilang substrat serentak, meningkatkan kecekapan pengeluaran;
-Lengai secara kimia, mengekalkan persekitaran pertumbuhan ketulenan tinggi.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ialah sebuah perusahaan berteknologi tinggi yang memfokuskan pada pengeluaran dan penjualan bahan termaju mewah, bahan dan teknologi termasuk grafit, silikon karbida, seramik, rawatan permukaan seperti salutan SiC, salutan TaC, karbon berkaca salutan, salutan karbon pirolitik, dan lain-lain, produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baru, metalurgi, dan lain-lain.
Pasukan teknikal kami berasal dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, dan telah membangunkan pelbagai teknologi yang dipatenkan untuk memastikan prestasi dan kualiti produk, juga boleh menyediakan pelanggan dengan penyelesaian bahan profesional.
Kami sangat mengalu-alukan anda untuk melawat makmal dan kilang kami untuk perbincangan dan kerjasama teknikal!
