फोटोलिथोग्राफी मशीन्सच्या अचूक भागांसाठी प्राधान्य दिलेली सामग्री सेमीकंडक्टर क्षेत्रात, सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक सामग्री मुख्यतः सिलिकॉन कार्बाइड वर्कटेबल, मार्गदर्शक रेल, रिफ्लेक्टर, सिरॅमिक सक्शन चक, आर्म्स, जी... यासारख्या एकात्मिक सर्किट उत्पादनासाठी मुख्य उपकरणांमध्ये वापरली जाते.
अधिक वाचा