sic कोटिंग म्हणजे काय?

सिलिकॉन कार्बाइडहे सिलिकॉन आणि कार्बन असलेले कठोर संयुग आहे आणि निसर्गात अत्यंत दुर्मिळ खनिज मॉइसॅनाइट म्हणून आढळते. सिलिकॉन कार्बाइडचे कण सिंटरिंगद्वारे एकमेकांशी जोडले जाऊ शकतात आणि अतिशय कठोर सिरॅमिक्स तयार करू शकतात, जे उच्च टिकाऊपणा आवश्यक असलेल्या अनुप्रयोगांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात, विशेषत: सेमीकंडक्टर मिरवणुकीत.

SiC ची भौतिक रचना

SiC कोटिंग म्हणजे काय?

SiC कोटिंग हे दाट, परिधान-प्रतिरोधक सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग आहे ज्यामध्ये उच्च गंज आणि उष्णता प्रतिरोधकता आणि उत्कृष्ट थर्मल चालकता आहे. हे उच्च-शुद्धता SiC कोटिंग प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगांमध्ये वेफर वाहक, बेस आणि गरम घटकांचे संक्षारक आणि प्रतिक्रियाशील वातावरणापासून संरक्षण करण्यासाठी वापरले जाते. SiC कोटिंग व्हॅक्यूम भट्टी आणि उच्च व्हॅक्यूम, प्रतिक्रियाशील आणि ऑक्सिजन वातावरणात नमुना गरम करण्यासाठी देखील योग्य आहे.

उच्च शुद्धता SiC कोटिंग पृष्ठभाग

SiC कोटिंग प्रक्रिया काय आहे?

वापरून सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर सिलिकॉन कार्बाइडचा पातळ थर जमा केला जातोCVD (रासायनिक बाष्प जमा). डिपॉझिशन सामान्यतः 1200-1300°C तापमानात केले जाते आणि थर्मल ताण कमी करण्यासाठी सब्सट्रेट सामग्रीचे थर्मल विस्तार वर्तन SiC कोटिंगशी सुसंगत असले पाहिजे.

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर

CVD SIC कोटिंग फिल्म क्रिस्टल स्ट्रक्चर

SiC कोटिंगचे भौतिक गुणधर्म प्रामुख्याने उच्च तापमान प्रतिरोधकता, कडकपणा, गंज प्रतिरोधकता आणि थर्मल चालकता यांमध्ये दिसून येतात.

ठराविक भौतिक मापदंड सहसा खालीलप्रमाणे असतात:

कडकपणा: SiC कोटिंगमध्ये सामान्यतः 2000-2500 HV च्या श्रेणीमध्ये विकर्स कठोरता असते, ज्यामुळे त्यांना औद्योगिक अनुप्रयोगांमध्ये अत्यंत उच्च पोशाख आणि प्रभाव प्रतिरोधकता मिळते.

घनता: SiC कोटिंग्सची घनता सामान्यत: 3.1-3.2 g/cm³ असते. उच्च घनता कोटिंगच्या यांत्रिक शक्ती आणि टिकाऊपणामध्ये योगदान देते.

थर्मल चालकता: SiC कोटिंग्समध्ये उच्च थर्मल चालकता असते, विशेषत: 120-200 W/mK (20°C वर) च्या श्रेणीत. हे उच्च तापमान वातावरणात चांगली थर्मल चालकता देते आणि सेमीकंडक्टर उद्योगातील उष्णता उपचार उपकरणांसाठी ते विशेषतः योग्य बनवते.

हळुवार बिंदू: सिलिकॉन कार्बाइडचा वितळण्याचा बिंदू अंदाजे 2730°C आहे आणि अत्यंत तापमानात उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता आहे.

थर्मल विस्ताराचे गुणांक: SiC कोटिंग्समध्ये थर्मल विस्ताराचा (CTE) कमी रेषीय गुणांक असतो, विशेषत: 4.0-4.5 µm/mK (25-1000℃ मध्ये). याचा अर्थ असा की त्याची मितीय स्थिरता मोठ्या तापमानातील फरकांवर उत्कृष्ट आहे.

गंज प्रतिकार: SiC कोटिंग्ज मजबूत आम्ल, अल्कली आणि ऑक्सिडायझिंग वातावरणात गंजण्यास अत्यंत प्रतिरोधक असतात, विशेषत: मजबूत आम्ल (जसे की HF किंवा HCl) वापरताना, त्यांची गंज प्रतिरोधकता पारंपारिक धातूच्या सामग्रीपेक्षा जास्त असते.

खालील सामग्रीवर SiC कोटिंग्ज लागू केल्या जाऊ शकतात:

उच्च शुद्धता आयसोस्टॅटिक ग्रेफाइट (कमी CTE)
टंगस्टन
मॉलिब्डेनम
सिलिकॉन कार्बाइड
सिलिकॉन नायट्राइड
कार्बन-कार्बन संमिश्र (CFC)

SiC लेपित उत्पादने सामान्यतः खालील भागात वापरली जातात:

एलईडी चिप उत्पादन
पॉलिसिलिकॉन उत्पादन
सेमीकंडक्टरक्रिस्टल वाढ
सिलिकॉन आणिSiC epitaxy
वेफर उष्णता उपचार आणि कोरीव काम

VET ऊर्जा का निवडावी?

व्हीईटी एनर्जी ही चीनमधील SiC कोटिंग उत्पादनांची आघाडीची उत्पादक, नवोदित आणि नेता आहे, मुख्य SiC कोटिंग उत्पादनांचा समावेश आहेSiC कोटिंगसह वेफर वाहक, SiC लेपितepitaxial susceptor, SiC लेपित ग्रेफाइट रिंग, SiC कोटिंगसह अर्ध-चंद्राचे भाग, SiC लेपित कार्बन-कार्बन संमिश्र, SiC लेपित वेफर बोट, SiC लेपित हीटर, इ. सेमीकंडक्टर उद्योगाला अंतिम तंत्रज्ञान आणि उत्पादन उपाय प्रदान करण्यासाठी VET एनर्जी वचनबद्ध आहे आणि कस्टमायझेशन सेवांना समर्थन देते. चीनमध्ये तुमचा दीर्घकालीन भागीदार होण्यासाठी आम्ही प्रामाणिकपणे उत्सुक आहोत.