क्वार्ट्ज बोट सपोर्टच्या तुलनेत सिलिकॉन कार्बाइड बोट सपोर्टचे फायदे

ची मुख्य कार्येसिलिकॉन कार्बाइड बोटसमर्थन आणि क्वार्ट्ज बोट समर्थन समान आहेत.सिलिकॉन कार्बाइड बोटसमर्थनामध्ये उत्कृष्ट कार्यप्रदर्शन आहे परंतु उच्च किंमत आहे. हे कठोर कामकाजाच्या परिस्थितीत (जसे की एलपीसीव्हीडी उपकरणे आणि बोरॉन प्रसार उपकरणे) बॅटरी प्रक्रिया उपकरणांमध्ये क्वार्ट्ज बोट समर्थनासह पर्यायी संबंध तयार करते. सामान्य कामकाजाच्या परिस्थितींसह बॅटरी प्रक्रिया उपकरणांमध्ये, किंमतींच्या संबंधांमुळे, सिलिकॉन कार्बाइड आणि क्वार्ट्ज बोट समर्थन सहअस्तित्वात आणि स्पर्धात्मक श्रेणी बनतात.

① LPCVD आणि बोरॉन प्रसार उपकरणांमध्ये प्रतिस्थापन संबंध

LPCVD उपकरणे बॅटरी सेल टनेलिंग ऑक्सिडेशन आणि डोपड पॉलिसिलिकॉन लेयर तयार करण्याच्या प्रक्रियेसाठी वापरली जातात. कार्य तत्त्व:

कमी दाबाच्या वातावरणात, योग्य तापमानासह, रासायनिक अभिक्रिया आणि डिपॉझिशन फिल्म तयार करून अल्ट्रा-थिन टनेलिंग ऑक्साईड थर आणि पॉलिसिलिकॉन फिल्म तयार केली जाते. टनेलिंग ऑक्सिडेशन आणि डोपड पॉलिसिलिकॉन लेयर तयार करण्याच्या प्रक्रियेत, बोट सपोर्टमध्ये उच्च कार्यरत तापमान असते आणि पृष्ठभागावर सिलिकॉन फिल्म जमा केली जाईल. क्वार्ट्जचे थर्मल विस्तार गुणांक सिलिकॉनपेक्षा बरेच वेगळे आहे. उपरोक्त प्रक्रियेत वापरताना, सिलिकॉनच्या वेगवेगळ्या थर्मल विस्तार गुणांकामुळे क्वार्ट्ज बोटीचा आधार तुटण्यापासून आणि थर्मल विस्तारामुळे आकुंचन होण्यापासून रोखण्यासाठी पृष्ठभागावर जमा केलेले सिलिकॉन नियमितपणे लोणचे आणि काढून टाकणे आवश्यक आहे. वारंवार पिकलिंग आणि कमी उच्च-तापमान शक्तीमुळे, क्वार्ट्ज बोट होल्डरचे आयुष्य कमी असते आणि ते टनेल ऑक्सिडेशन आणि डोप केलेले पॉलिसिलिकॉन लेयर तयार करण्याच्या प्रक्रियेत वारंवार बदलले जाते, ज्यामुळे बॅटरी सेलच्या उत्पादन खर्चात लक्षणीय वाढ होते. चा विस्तार गुणांकसिलिकॉन कार्बाइडसिलिकॉनच्या जवळ आहे. एकात्मिकसिलिकॉन कार्बाइड बोटबोगद्यातील ऑक्सिडेशन आणि डोप केलेले पॉलिसिलिकॉन थर तयार करण्याच्या प्रक्रियेत धारकाला पिकलिंगची आवश्यकता नसते. यात उच्च उच्च-तापमान शक्ती आणि दीर्घ सेवा जीवन आहे. क्वार्ट्ज बोट होल्डरसाठी हा एक चांगला पर्याय आहे.

बोरॉन विस्तार उपकरणे प्रामुख्याने बॅटरी सेलच्या N-प्रकार सिलिकॉन वेफर सब्सट्रेटवरील बोरॉन घटकांच्या डोपिंग प्रक्रियेसाठी P-प्रकार उत्सर्जक PN जंक्शन तयार करण्यासाठी वापरली जातात. उच्च-तापमान वातावरणात रासायनिक अभिक्रिया आणि आण्विक डिपॉझिशन फिल्म तयार करणे हे कार्य तत्त्व आहे. चित्रपट तयार झाल्यानंतर, सिलिकॉन वेफरच्या पृष्ठभागाच्या डोपिंग कार्याची जाणीव करण्यासाठी उच्च-तापमान गरम करून ते विसर्जित केले जाऊ शकते. बोरॉन विस्तार उपकरणाच्या उच्च कार्यरत तापमानामुळे, क्वार्ट्ज बोट धारकाची उच्च-तापमान शक्ती कमी असते आणि बोरॉन विस्तार उपकरणांमध्ये सेवा आयुष्य कमी असते. एकात्मिकसिलिकॉन कार्बाइड बोटधारकाची उच्च-तापमान शक्ती असते आणि बोरॉन विस्तार प्रक्रियेत क्वार्ट्ज बोट होल्डरसाठी एक चांगला पर्याय आहे.

② इतर प्रक्रिया उपकरणांमध्ये प्रतिस्थापन संबंध

SiC बोट सपोर्टमध्ये घट्ट उत्पादन क्षमता आणि उत्कृष्ट कामगिरी असते. त्यांची किंमत साधारणपणे क्वार्ट्ज बोट सपोर्टपेक्षा जास्त असते. सेल प्रोसेसिंग उपकरणांच्या सामान्य कामकाजाच्या परिस्थितीत, SiC बोट सपोर्ट आणि क्वार्ट्ज बोट सपोर्टमधील सेवा जीवनातील फरक कमी आहे. डाउनस्ट्रीम ग्राहक प्रामुख्याने त्यांच्या स्वतःच्या प्रक्रिया आणि गरजांवर आधारित किंमत आणि कार्यप्रदर्शन यांच्यात तुलना करतात आणि निवडतात. SiC बोट सपोर्ट आणि क्वार्ट्ज बोट सपोर्ट सहअस्तित्व आणि स्पर्धात्मक बनले आहेत. तथापि, SiC बोट सपोर्टचे एकूण नफा मार्जिन सध्या तुलनेने जास्त आहे. SiC बोट सपोर्टच्या उत्पादन खर्चात घट झाल्यामुळे, SiC बोट सपोर्टची विक्री किंमत सक्रियपणे कमी झाल्यास, ते क्वार्ट्ज बोट सपोर्टसाठी अधिक स्पर्धात्मकता निर्माण करेल.

वापराचे प्रमाण

सेल तंत्रज्ञान मार्ग प्रामुख्याने PERC तंत्रज्ञान आणि TOPCon तंत्रज्ञान आहे. PERC तंत्रज्ञानाचा बाजारपेठेतील हिस्सा 88% आहे आणि TOPCon तंत्रज्ञानाचा बाजारपेठेतील हिस्सा 8.3% आहे. दोघांचा एकत्रित बाजार हिस्सा 96.30% आहे.

खालील आकृतीत दाखवल्याप्रमाणे:

PERC तंत्रज्ञानामध्ये, समोरच्या फॉस्फरस प्रसार आणि ऍनिलिंग प्रक्रियेसाठी बोट समर्थन आवश्यक आहे. TOPCon तंत्रज्ञानामध्ये, पुढील बोरॉन प्रसार, LPCVD, बॅक फॉस्फरस प्रसार आणि ऍनिलिंग प्रक्रियेसाठी बोट समर्थन आवश्यक आहे. सध्या, TOPCon तंत्रज्ञानाच्या LPCVD प्रक्रियेमध्ये सिलिकॉन कार्बाइड बोट सपोर्टचा वापर प्रामुख्याने केला जातो आणि बोरॉन प्रसार प्रक्रियेत त्यांचा वापर प्रामुख्याने पडताळला गेला आहे.

सेल प्रोसेसिंग प्रक्रियेत बोट सपोर्टचा आकृती अर्ज

टीप: PERC आणि TOPCon तंत्रज्ञानाच्या पुढील आणि मागील कोटिंगनंतर, अजूनही स्क्रीन प्रिंटिंग, सिंटरिंग आणि चाचणी आणि वर्गीकरण यासारखे दुवे आहेत, ज्यात बोट सपोर्टचा वापर समाविष्ट नाही आणि वरील आकृतीमध्ये सूचीबद्ध नाहीत.