1. साफसफाईपूर्वी पोचपावती
1) जेव्हा दPECVD ग्रेफाइट बोट/वाहक 100 ते 150 पेक्षा जास्त वेळा वापरला जातो, ऑपरेटरने कोटिंगची स्थिती वेळेत तपासणे आवश्यक आहे. असामान्य कोटिंग असल्यास, ते साफ करणे आणि पुष्टी करणे आवश्यक आहे. ग्रेफाइट बोट/वाहक मधील सिलिकॉन वेफरचा सामान्य कोटिंग रंग निळा आहे. जर वेफरमध्ये निळे नसलेले, अनेक रंग असतील किंवा वेफर्समधील रंगाचा फरक मोठा असेल तर ते एक असामान्य कोटिंग आहे आणि विकृतीच्या कारणाची वेळीच पुष्टी करणे आवश्यक आहे.
2) प्रक्रियेनंतर कर्मचारी कोटिंगच्या स्थितीचे विश्लेषण करतातPECVD ग्रेफाइट बोट/वाहक, ते ग्रेफाइट बोट साफ करणे आवश्यक आहे की नाही आणि कार्ड पॉइंट बदलणे आवश्यक आहे की नाही हे निर्धारित करतील आणि ग्रेफाइट बोट/वाहक ज्याची साफसफाई करणे आवश्यक आहे ते उपकरण कर्मचाऱ्यांना साफसफाईसाठी सुपूर्द केले जाईल.
3) नंतरग्रेफाइट बोट/वाहक खराब झाला आहे, उत्पादन कर्मचारी ग्रेफाइट बोटीतील सर्व सिलिकॉन वेफर्स बाहेर काढतील आणि सीडीए (संकुचित हवा) वापरतील.ग्रेफाइट बोट. पूर्ण झाल्यानंतर, उपकरणे कर्मचारी ते ऍसिड टाकीमध्ये उचलतील जे साफसफाईसाठी HF द्रावणाच्या विशिष्ट प्रमाणात तयार केले गेले आहे.
2. ग्रेफाइट बोट साफ करणे
साफसफाईच्या तीन फेऱ्यांसाठी 15-25% हायड्रोफ्लोरिक ऍसिड द्रावण वापरण्याची शिफारस केली जाते, प्रत्येक 4-5 तासांसाठी आणि वेळोवेळी भिजवण्याच्या आणि साफसफाईच्या प्रक्रियेदरम्यान नायट्रोजनचा बबलिंग करणे, सुमारे अर्धा तास साफसफाई करणे; टीप: बबलिंगसाठी गॅसचा स्रोत म्हणून हवा थेट वापरण्याची शिफारस केलेली नाही. लोणच्यानंतर, सुमारे 10 तासांनी शुद्ध पाण्याने स्वच्छ धुवा, आणि बोट पूर्णपणे स्वच्छ झाल्याची पुष्टी करा. साफसफाई केल्यानंतर, कृपया बोटीचा पृष्ठभाग, ग्रेफाइट कार्ड पॉइंट आणि बोट शीट जॉइंट आणि इतर भाग तपासा की तेथे सिलिकॉन नायट्राइड अवशेष आहेत का. नंतर आवश्यकतेनुसार कोरडे करा.
3. साफसफाईची खबरदारी
अ) एचएफ ऍसिड हा अत्यंत संक्षारक पदार्थ असल्याने आणि त्यात विशिष्ट अस्थिरता असल्याने, ते ऑपरेटरसाठी धोकादायक आहे. म्हणून, स्वच्छता पोस्टवरील ऑपरेटरने सुरक्षिततेची खबरदारी घेतली पाहिजे आणि समर्पित व्यक्तीद्वारे व्यवस्थापित केली पाहिजे.
ब) बोट वेगळे करणे आणि साफसफाईच्या वेळी फक्त ग्रेफाइटचा भाग स्वच्छ करण्याची शिफारस केली जाते, जेणेकरून प्रत्येक संपर्क भाग अधिक चांगल्या प्रकारे साफ करता येईल. सध्या, बरेच घरगुती उत्पादक एकंदर साफसफाईचा वापर करतात, जे सोयीस्कर आहे, परंतु HF ऍसिड सिरॅमिक भागांना गंजणारा असल्यामुळे, एकूण साफसफाईमुळे संबंधित भागांचे सेवा आयुष्य कमी होईल.
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-23-2024