Silicon Wafer дээрх VET Energy GaN нь радио давтамжийн (RF) хэрэглээнд тусгайлан зориулсан хамгийн сүүлийн үеийн хагас дамжуулагч шийдэл юм. VET Energy нь цахиурын субстрат дээр өндөр чанартай галлий нитрид (GaN)-ийг эпитаксиаль аргаар өсгөснөөр өргөн хүрээний RF төхөөрөмжүүдийн хувьд хэмнэлттэй, өндөр хүчин чадалтай платформыг нийлүүлдэг.
Цахиурын хавтан дээрх энэхүү GaN нь Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate зэрэг бусад материалуудтай нийцэж, янз бүрийн үйлдвэрлэлийн процесст ашиглах олон талт байдлыг өргөжүүлдэг. Нэмж дурдахад, энэ нь Epi Wafer болон Gallium Oxide Ga2O3, AlN Wafer зэрэг дэвшилтэт материалуудыг ашиглахад оновчтой болсон бөгөөд энэ нь өндөр хүчин чадалтай электроникийн хэрэглээг улам сайжруулдаг. Өргөст цаасыг ашиглахад хялбар, үйлдвэрлэлийн үр ашгийг нэмэгдүүлэхийн тулд стандарт кассеттай харьцах аргыг ашиглан үйлдвэрлэлийн системд саадгүй нэгтгэх зориулалттай.
VET Energy нь Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, AlN Wafer зэрэг хагас дамжуулагч субстратын иж бүрэн багцыг санал болгож байна. Манай олон төрлийн бүтээгдэхүүний шугам нь цахилгаан электроникоос эхлээд RF ба оптоэлектроник хүртэлх төрөл бүрийн электрон хэрэглээний хэрэгцээг хангадаг.
Silicon Wafer дээрх GaN нь RF-ийн хэрэглээний хэд хэдэн давуу талыг санал болгодог.
• Өндөр давтамжийн гүйцэтгэл:GaN-ийн өргөн зурвасын зай, өндөр электрон хөдөлгөөн нь өндөр давтамжийн ажиллагааг идэвхжүүлж, 5G болон бусад өндөр хурдны холбооны системд тохиромжтой.
• Эрчим хүчний өндөр нягтрал:GaN төхөөрөмжүүд нь уламжлалт цахиурт суурилсан төхөөрөмжүүдтэй харьцуулахад илүү өндөр эрчим хүчний нягтралыг даван туулах чадвартай бөгөөд энэ нь илүү авсаархан, үр ашигтай RF системийг бий болгодог.
• Бага эрчим хүчний хэрэглээ:GaN төхөөрөмжүүд нь бага эрчим хүч зарцуулдаг тул эрчим хүчний үр ашгийг дээшлүүлж, дулаан ялгаруулалтыг бууруулдаг.
Хэрэглээ:
• 5G утасгүй холбоо:Цахиур хавтан дээрх GaN нь өндөр хүчин чадалтай 5G суурь станцууд болон хөдөлгөөнт төхөөрөмжүүдийг бий болгоход зайлшгүй шаардлагатай.
• Радарын систем:GaN-д суурилсан RF өсгөгч нь өндөр үр ашигтай, өргөн зурвасын өргөнтэй тул радарын системд ашиглагддаг.
• Хиймэл дагуулын холбоо:GaN төхөөрөмжүүд нь өндөр хүчин чадалтай, өндөр давтамжийн хиймэл дагуулын холбооны системийг идэвхжүүлдэг.
• Цэргийн цахилгаан хэрэгсэл:GaN-д суурилсан RF-ийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг электрон дайн, радарын систем зэрэг цэргийн хэрэглээнд ашигладаг.
VET Energy нь өөр өөр допингийн түвшин, зузаан, өрмөнцөрийн хэмжээ зэрэг таны тусгай шаардлагад нийцүүлэн Silicon өрмөнцөрт тохируулж болох GaN санал болгодог. Манай мэргэжлийн баг таны амжилтыг баталгаажуулахын тулд техникийн дэмжлэг үзүүлж, борлуулалтын дараах үйлчилгээ үзүүлдэг.
ХАЙХ ЗААВАР ТОВЧЛОЛУУДЫН ҮЗҮҮЛЭЛТ
*n-Pm=n-төрөл Pm-зэрэг,n-Ps=n-төрөл Ps-зэрэг,Sl=хагас тусгаарлагч
Зүйл | 8 инч | 6 инч | 4 инч | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Нум(GF3YFCD)-Үнэмлэхүй утга | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Муухай(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) -10ммx10мм | <2μм | ||||
Өрөөний ирмэг | Нүхлэх |
Гадаргуугийн өнгөлгөө
*n-Pm=n-төрөл Pm-зэрэг,n-Ps=n-төрөл Ps-зэрэг,Sl=хагас тусгаарлагч
Зүйл | 8 инч | 6 инч | 4 инч | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
Гадаргуугийн өнгөлгөө | Хоёр талын оптик өнгөлөгч, Si-Face CMP | ||||
Гадаргуугийн барзгар байдал | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Ирмэгийн чипс | Зөвшөөрөгдөөгүй (урт ба өргөн≥0.5мм) | ||||
Догол | Зөвшөөрөгдөөгүй | ||||
Зураас(Si-Face) | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | ||
Хагарал | Зөвшөөрөгдөөгүй | ||||
Ирмэгийг хасах | 3мм |