PECVD бал чулуун завийг хэрхэн цэвэрлэх вэ?| МСҮТ-ийн эрчим хүч

1. Цэвэрлэхийн өмнө хүлээн зөвшөөрөх

1) ХэзээPECVD бал чулуун завь/зөөгчийг 100-150-аас дээш удаа ашигласан тохиолдолд оператор бүрэх байдлыг цаг тухайд нь шалгах шаардлагатай. Хэрэв хэвийн бус бүрхүүл байгаа бол түүнийг цэвэрлэж, баталгаажуулах шаардлагатай. Бал чулуун завь/зөөгч дээрх цахиур ялтсын ердийн бүрэх өнгө нь цэнхэр өнгөтэй байна. Хэрэв вафель нь цэнхэр бус, олон өнгөтэй, эсвэл ялтсуудын хоорондох өнгөний ялгаа их байвал энэ нь хэвийн бус бүрхүүл бөгөөд хэвийн бус байдлын шалтгааныг цаг тухайд нь батлах шаардлагатай.
2) Процессын дараа ажилтнууд бүрэх нөхцөл байдалд дүн шинжилгээ хийнэPECVD бал чулуун завь/тээвэрлэгч, тэд графит завийг цэвэрлэх шаардлагатай эсэх, картын цэгийг солих шаардлагатай эсэхийг тодорхойлж, цэвэрлэх шаардлагатай бал чулуун завь/тээвэрлэгчийг цэвэрлэхээр тоног төхөөрөмжийн ажилтнуудад хүлээлгэн өгнө.

 

3) дараабал чулуун завь/тээвэрлэгч гэмтсэн бол үйлдвэрлэлийн ажилтнууд бал чулуун завины бүх цахиур ялтсуудыг гаргаж, CDA (шахсан агаар) ашиглан савны хэсгүүдийг ялгана.бал чулуун завь. Ажил дууссаны дараа тоног төхөөрөмжийн ажилтнууд үүнийг цэвэрлэхэд зориулж тодорхой хэмжээний ЭМС-ийн уусмалаар бэлтгэсэн хүчиллэг саванд хийнэ.

 

2. Бал чулуун завь цэвэрлэх

15-25% -ийн устөрөгчийн хүчлийн уусмалыг гурван ээлжээр цэвэрлэх, тус бүрдээ 4-5 цагийн турш, дэвтээж, цэвэрлэх явцад үе үе хөөсөрч буй азотыг хэрэглэж, хагас цаг орчим цэвэрлэхийг зөвлөж байна; Анхаар: хөөс үүсэх хийн эх үүсвэр болгон агаарыг шууд ашиглахыг зөвлөдөггүй. Даршилсаны дараа 10 цаг орчим цэвэр усаар зайлж, завийг сайтар цэвэрлэсэн эсэхийг шалгаарай. Цэвэрлэсний дараа завины гадаргуу, графит картын цэг, завины хуудасны холбоос болон бусад хэсгүүдэд цахиурын нитридын үлдэгдэл байгаа эсэхийг шалгана уу. Дараа нь шаардлагын дагуу хатаана.

3. Цэвэрлэгээний урьдчилан сэргийлэх арга хэмжээ

A) HF хүчил нь идэмхий бодис ихтэй, тодорхой хэлбэлзэлтэй байдаг тул операторуудад аюултай. Тиймээс цэвэрлэгээний цэгийн операторууд аюулгүй байдлын урьдчилан сэргийлэх арга хэмжээг авч, мэргэшсэн хүнээр удирдуулах ёстой.

B) Завь салгаж, цэвэрлэх явцад зөвхөн бал чулууны хэсгийг цэвэрлэхийг зөвлөж байна, ингэснээр холбоо барих хэсэг бүрийг илүү сайтар цэвэрлэж болно. Одоогийн байдлаар дотоодын олон үйлдвэрлэгчид ерөнхий цэвэрлэгээг ашигладаг бөгөөд энэ нь тохиромжтой боловч HF хүчил нь керамик эд ангиудыг идэмхий болгодог тул ерөнхий цэвэрлэгээ нь холбогдох хэсгүүдийн ашиглалтын хугацааг богиносгодог.