VET Energy-ийн санал болгож буй 12 инчийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд зориулсан цахиур хавтан нь хагас дамжуулагчийн салбарт шаардлагатай нарийн стандартыг хангахаар бүтээгдсэн. Манай цувралын тэргүүлэгч бүтээгдэхүүнүүдийн нэг болох VET Energy нь эдгээр ялтсуудыг нарийн тэгш, цэвэр, гадаргуугийн чанараар үйлдвэрлэж, бичил чип, мэдрэгч, дэвшилтэт электрон төхөөрөмж зэрэг хамгийн сүүлийн үеийн хагас дамжуулагч хэрэглээнд тохиромжтой болгодог.
Энэхүү хавтан нь Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer гэх мэт өргөн хүрээний материалуудтай нийцэж, янз бүрийн үйлдвэрлэлийн процесст маш сайн уян хатан байдлыг хангадаг. Нэмж дурдахад, энэ нь Gallium Oxide Ga2O3, AlN Wafer зэрэг дэвшилтэт технологитой сайн хосолсон бөгөөд энэ нь маш нарийн мэргэжлийн хэрэглээнд нэгтгэгдэх боломжийг олгодог. Гөлгөр ажиллагаатай байхын тулд хавтанцарыг үйлдвэрлэлийн стандартын кассет системд ашиглахаар оновчтой болгож, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд үр ашигтай ажиллах боломжийг олгодог.
VET Energy-ийн бүтээгдэхүүний шугам нь зөвхөн цахиурын хавтанцараар хязгаарлагдахгүй. Мөн бид SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer гэх мэт олон төрлийн хагас дамжуулагч субстратын материалууд, түүнчлэн Gallium Oxide Ga2O3, AlN Wafer зэрэг шинэ өргөн зурвас бүхий хагас дамжуулагч материалаар хангадаг. Эдгээр бүтээгдэхүүн нь цахилгаан электроник, радио давтамж, мэдрэгч болон бусад салбарт янз бүрийн хэрэглэгчдийн хэрэглээний хэрэгцээг хангаж чадна.
Хэрэглээний талбарууд:
•Логик чипүүд:CPU, GPU зэрэг өндөр хүчин чадалтай логик чип үйлдвэрлэх.
•Санах ойн чипүүд:DRAM, NAND Flash зэрэг санах ойн чип үйлдвэрлэх.
•Аналог чипүүд:ADC, DAC зэрэг аналог чип үйлдвэрлэх.
•Мэдрэгч:MEMS мэдрэгч, дүрс мэдрэгч гэх мэт.
VET Energy нь үйлчлүүлэгчдэдээ өөр өөр эсэргүүцэлтэй, өөр өөр хүчилтөрөгчийн агууламжтай, өөр өөр зузаантай болон бусад үзүүлэлт бүхий өрмөнцөрийг хэрэглэгчийн хэрэгцээ шаардлагад нийцүүлэн өөрчлөх боломжтой. Нэмж дурдахад бид үйлчлүүлэгчдэд үйлдвэрлэлийн процессыг оновчтой болгох, бүтээгдэхүүний гарцыг сайжруулахад туслах мэргэжлийн техникийн дэмжлэг, борлуулалтын дараах үйлчилгээг үзүүлдэг.
ХАЙХ ЗААВАР ТОВЧЛОЛУУДЫН ҮЗҮҮЛЭЛТ
*n-Pm=n-төрөл Pm-зэрэг,n-Ps=n-төрөл Ps-зэрэг,Sl=хагас тусгаарлагч
Зүйл | 8 инч | 6 инч | 4 инч | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Нум(GF3YFCD)-Үнэмлэхүй утга | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Муухай(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) -10ммx10мм | <2μм | ||||
Өрөөний ирмэг | Нүхлэх |
Гадаргуугийн өнгөлгөө
*n-Pm=n-төрөл Pm-зэрэг,n-Ps=n-төрөл Ps-зэрэг,Sl=хагас тусгаарлагч
Зүйл | 8 инч | 6 инч | 4 инч | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
Гадаргуугийн өнгөлгөө | Хоёр талын оптик өнгөлөгч, Si-Face CMP | ||||
Гадаргуугийн барзгар байдал | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Ирмэгийн чипс | Зөвшөөрөгдөөгүй (урт ба өргөн≥0.5мм) | ||||
Догол | Зөвшөөрөгдөөгүй | ||||
Зураас(Si-Face) | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | ||
Хагарал | Зөвшөөрөгдөөгүй | ||||
Ирмэгийг хасах | 3мм |