VET Energy-ийн 6 инчийн хагас тусгаарлагч SiC хавтан нь өндөр хүчин чадал, өндөр давтамжийн хэрэглээнд зориулагдсан дэвшилтэт шийдэл бөгөөд дулаан дамжуулалт болон цахилгаан тусгаарлагчийг дээд зэргээр хангадаг. Эдгээр хагас тусгаарлагч хавтан нь RF өсгөгч, цахилгаан унтраалга болон бусад өндөр хүчдэлийн эд ангиудыг хөгжүүлэхэд зайлшгүй шаардлагатай. VET Energy нь тогтвортой чанар, гүйцэтгэлийг хангадаг тул эдгээр хавтангуудыг өргөн хүрээний хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд тохиромжтой болгодог.
Гайхамшигтай дулаалгын шинж чанараас гадна эдгээр SiC хавтанцар нь Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer зэрэг төрөл бүрийн материалуудтай нийцэж, янз бүрийн төрлийн үйлдвэрлэлийн процесст ашиглах боломжтой болгодог. Түүнчлэн, Gallium Oxide Ga2O3 болон AlN Wafer зэрэг дэвшилтэт материалыг эдгээр SiC хавтантай хослуулан ашиглах боломжтой бөгөөд энэ нь өндөр хүчин чадалтай электрон төхөөрөмжүүдэд илүү уян хатан байдлыг хангадаг. Өргөст ялтсууд нь кассет систем гэх мэт салбарын стандартад нийцсэн харьцах системтэй нэгдмэл байхаар бүтээгдсэн бөгөөд бөөнөөр үйлдвэрлэхэд ашиглахад хялбар болгодог.
VET Energy нь Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, AlN Wafer зэрэг хагас дамжуулагч субстратын иж бүрэн багцыг санал болгож байна. Манай олон төрлийн бүтээгдэхүүний шугам нь цахилгаан электроникоос эхлээд RF ба оптоэлектроник хүртэлх төрөл бүрийн электрон хэрэглээний хэрэгцээг хангадаг.
6 инчийн хагас тусгаарлагч SiC хавтан нь хэд хэдэн давуу талтай:
Өндөр эвдрэлийн хүчдэл: SiC-ийн өргөн зурвасын зай нь илүү өндөр эвдрэлийн хүчдэлийг бий болгож, илүү авсаархан, үр ашигтай цахилгаан төхөөрөмжийг ашиглах боломжийг олгодог.
Өндөр температурт ажиллах: SiC-ийн маш сайн дулаан дамжуулалт нь илүү өндөр температурт ажиллах боломжийг олгож, төхөөрөмжийн найдвартай байдлыг сайжруулдаг.
Эсэргүүцэл бага: SiC төхөөрөмжүүд нь бага эсэргүүцэл үзүүлж, эрчим хүчний алдагдлыг бууруулж, эрчим хүчний үр ашгийг дээшлүүлдэг.
VET Energy нь өөр өөр зузаан, допингийн түвшин, гадаргуугийн өнгөлгөө зэрэг тусгай шаардлагад нийцүүлэн өөрчлөх боломжтой SiC хавтангуудыг санал болгодог. Манай мэргэжлийн баг таны амжилтыг баталгаажуулахын тулд техникийн дэмжлэг үзүүлж, борлуулалтын дараах үйлчилгээ үзүүлдэг.
ХАЙХ ЗААВАР ТОВЧЛОЛУУДЫН ҮЗҮҮЛЭЛТ
*n-Pm=n-төрөл Pm-зэрэг,n-Ps=n-төрөл Ps-зэрэг,Sl=хагас тусгаарлагч
Зүйл | 8 инч | 6 инч | 4 инч | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Нум(GF3YFCD)-Үнэмлэхүй утга | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Муухай(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) -10ммx10мм | <2μм | ||||
Өрөөний ирмэг | Нүхлэх |
Гадаргуугийн өнгөлгөө
*n-Pm=n-төрөл Pm-зэрэг,n-Ps=n-төрөл Ps-зэрэг,Sl=хагас тусгаарлагч
Зүйл | 8 инч | 6 инч | 4 инч | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
Гадаргуугийн өнгөлгөө | Хоёр талын оптик өнгөлөгч, Si-Face CMP | ||||
Гадаргуугийн барзгар байдал | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Ирмэгийн чипс | Зөвшөөрөгдөөгүй (урт ба өргөн≥0.5мм) | ||||
Догол | Зөвшөөрөгдөөгүй | ||||
Зураас(Si-Face) | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | ||
Хагарал | Зөвшөөрөгдөөгүй | ||||
Ирмэгийг хасах | 3мм |