Юуны өмнө бид мэдэх хэрэгтэйPECVD(Сийвэнгийн сайжруулсан химийн уурын хуримтлал). Плазм нь материалын молекулуудын дулааны хөдөлгөөнийг эрчимжүүлэх явдал юм. Тэдний хоорондох мөргөлдөөн нь хийн молекулуудыг ионжуулж, бие биетэйгээ харилцан үйлчлэлцдэг чөлөөтэй хөдөлж буй эерэг ионууд, электронууд болон саармаг хэсгүүдийн холимог болно.
Цахиурын гадаргуу дээрх гэрлийн ойлтын алдагдал 35% орчим байдаг гэж тооцоолсон. Тусгалын эсрэг хальс нь батерейны нарны гэрлийн ашиглалтын хурдыг ихээхэн сайжруулж, фото үүсгэсэн гүйдлийн нягтыг нэмэгдүүлэх, улмаар хувиргах үр ашгийг дээшлүүлэхэд тусалдаг. Үүний зэрэгцээ хальсан дахь устөрөгч нь зайны эсийн гадаргууг идэвхгүй болгож, ялгаруулагчийн уулзварын гадаргуугийн рекомбинацын хурдыг бууруулж, харанхуй гүйдлийг бууруулж, нээлттэй хэлхээний хүчдэлийг нэмэгдүүлж, фотоэлектрик хувиргах үр ашгийг сайжруулдаг. Шатаах процесс дахь өндөр температурт агшин зуурын шаталт нь Si-H ба NH-ийн зарим холбоог тасалдаг бөгөөд чөлөөлөгдсөн H нь батерейны идэвхгүй байдлыг улам бэхжүүлдэг.
Фотовольтийн зэрэглэлийн цахиурын материал нь зайлшгүй их хэмжээний хольц, согог агуулдаг тул цахиур дахь цөөн тооны зөөвөрлөгчийн ашиглалтын хугацаа, тархалтын үргэлжлэх хугацаа багасч, батерейны хувиргах үр ашиг буурдаг. H нь цахиур дахь согог эсвэл хольцтой урвалд орж, зурвас дахь энергийн зурвасыг валентын зурвас эсвэл дамжуулалтын зурваст шилжүүлдэг.
1. PECVD зарчим
PECVD систем нь хэд хэдэн генераторыг ашигладагPECVD бал чулуун завь болон өндөр давтамжийн плазмын өдөөгч. Плазмын генераторыг бага даралт, өндөр температурт хариу үйлдэл үзүүлэхийн тулд бүрэх хавтангийн дунд шууд суурилуулсан. Ашигласан идэвхтэй хий нь силан SiH4 ба аммиак NH3 юм. Эдгээр хий нь цахиур хавтан дээр хадгалагдсан цахиурын нитрид дээр ажилладаг. Силан ба аммиакийн харьцааг өөрчилснөөр янз бүрийн хугарлын үзүүлэлтүүдийг олж авч болно. Тунах процессын явцад их хэмжээний устөрөгчийн атом ба устөрөгчийн ионууд үүсдэг бөгөөд энэ нь вафельний устөрөгчийн идэвхгүй байдлыг маш сайн болгодог. Вакуум болон орчны температур 480 градусын температурт SixNy давхарга нь цахиурын хавтангийн гадаргуу дээр бүрсэн байна.PECVD бал чулуун завь.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Si3N4 хальсны өнгө нь зузаанаас хамаарч өөрчлөгддөг. Ерөнхийдөө хамгийн тохиромжтой зузаан нь 75-аас 80 нм хооронд байдаг бөгөөд энэ нь хар хөх өнгөтэй харагдаж байна. Si3N4 хальсны хугарлын илтгэгч нь 2.0-2.5 хооронд хамгийн сайн байдаг. Архи нь ихэвчлэн хугарлын илтгэгчийг хэмжихэд ашиглагддаг.
Гадаргууг идэвхгүйжүүлэх маш сайн эффект, ойлтын эсрэг үр дүнтэй оптик гүйцэтгэл (зузаан хугарлын индексийг тохируулах), бага температурт үйл явц (зардлыг үр дүнтэй бууруулах), үүссэн H ионууд нь цахиурын хавтангийн гадаргууг идэвхгүй болгодог.
3. Бүрэх цехийн нийтлэг асуудлууд
Киноны зузаан:
Өөр өөр зузаантай киноны хувьд хуримтлуулах хугацаа өөр өөр байдаг. Тунах хугацааг бүрээсний өнгөний дагуу зохих ёсоор нэмэгдүүлэх буюу багасгах шаардлагатай. Хэрэв хальс нь цагаан өнгөтэй байвал тунгаах хугацааг багасгах хэрэгтэй. Хэрэв улаавтар байвал зохих хэмжээгээр нэмэгдүүлэх хэрэгтэй. Киноны завь бүрийг бүрэн баталгаажуулах ёстой бөгөөд гэмтэлтэй бүтээгдэхүүнийг дараагийн процесс руу урсахыг хориглоно. Жишээлбэл, өнгөт толбо, усан тэмдэг зэрэг муу бүрээстэй бол хамгийн түгээмэл гадаргуугийн цайралт, өнгөний ялгаа, үйлдвэрлэлийн шугам дээрх цагаан толбыг цаг тухайд нь сонгох хэрэгтэй. Гадаргууг цайруулах нь гол төлөв цахиурын нитридын зузаан хальснаас үүдэлтэй бөгөөд үүнийг хальсан дээр буулгах хугацааг тохируулах замаар тохируулж болно; өнгөний ялгааны хальс нь голчлон хийн замын бөглөрөл, кварцын хоолойн алдагдал, богино долгионы эвдрэл гэх мэтээс үүсдэг; цагаан толбо нь өмнөх үйл явцын жижиг хар толбо нь голчлон үүсдэг. Тусгай хийн тусгал, хугарлын илтгэгч гэх мэтийн хяналт, аюулгүй байдал гэх мэт.
Гадаргуу дээрх цагаан толбо:
PECVD нь нарны зайн харьцангуй чухал процесс бөгөөд компанийн нарны зайн үр ашгийн чухал үзүүлэлт юм. PECVD үйл явц нь ерөнхийдөө завгүй байдаг ба эсүүдийн багц бүрийг хянах шаардлагатай. Олон тооны бүрэх зуухны хоолой байдаг бөгөөд хоолой бүр нь ерөнхийдөө хэдэн зуун эстэй байдаг (тоног төхөөрөмжөөс хамаарч). Процессын параметрүүдийг өөрчилсний дараа баталгаажуулалтын мөчлөг урт байна. Бүрхүүлгийн технологи нь бүхэл бүтэн фотоволтайкийн үйлдвэрлэлд ихээхэн ач холбогдол өгдөг технологи юм. Бүрэх технологийг сайжруулснаар нарны зайн үр ашгийг дээшлүүлж болно. Ирээдүйд нарны зайн гадаргуугийн технологи нь нарны зайн онолын үр ашгийг дээшлүүлэх шинэ нээлт болж магадгүй юм.
Шуудангийн цаг: 2024 оны 12-р сарын 23