vet-china нь бат бөхЦахиурын карбид өрөмтэй харьцах сэлүүрмаш сайн гүйцэтгэл, бат бөх чанартай. Энэхүү цахиурын карбид өрөмтэй харьцах сэлүүр нь өндөр температур, химийн зэврэлтээс хамгаалагдсан орчинд бүтцийн тогтвортой байдал, ажиллагаатай байхын тулд үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт процессуудыг ашигладаг. Энэхүү шинэлэг загвар нь хагас дамжуулагч хавтанцартай харьцах, ялангуяа өндөр нарийвчлалтай автоматжуулсан үйл ажиллагаанд маш сайн дэмжлэг үзүүлдэг.
SiC Cantilever Paddleисэлдүүлэх зуух, сарниулах зуух, задлах зуух зэрэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид ашиглагддаг тусгай бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд үндсэн хэрэглээ нь өрөм ачих, буулгах, өндөр температурт үйл явцын явцад өргүүрийг дэмжих, тээвэрлэх зориулалттай.
Нийтлэг бүтэц-ийнSiCcэсрэг хөшүүрэгpaddle: Нэг төгсгөлд нь бэхлэгдсэн, нөгөө талдаа чөлөөтэй байдаг консол бүтэц нь ихэвчлэн хавтгай, сэлүүр хэлбэртэй байдаг.
Ажиллаж байнаpзарчим-ийнSiCcэсрэг хөшүүрэгpaddle:
Консол сэлүүр нь зуухны камерын дотор дээш доош эсвэл нааш цааш хөдөлж, өрөмийг ачих талбайгаас боловсруулах талбай руу шилжүүлэх, эсвэл боловсруулах талбайгаас гадагш зөөвөрлөх, өндөр температурт боловсруулах явцад өрөмийг дэмжих, тогтворжуулахад ашиглаж болно.
Дахин талстжуулсан цахиурын карбидын физик шинж чанар | |
Өмч | Ердийн үнэ цэнэ |
Ажлын температур (°C) | 1600°C (хүчилтөрөгчтэй), 1700°C (багасгагч орчин) |
SiC агуулга | > 99.96% |
Үнэгүй Si контент | < 0.1% |
Бөөн нягтрал | 2.60-2.70 г/см3 |
Илэрхий сүвэрхэг байдал | < 16% |
Шахалтын хүч | > 600 МПа |
Хүйтэн гулзайлтын хүч | 80-90 МПа (20°C) |
Халуун гулзайлтын хүч | 90-100 МПа (1400 ° C) |
1500°C-ийн дулааны тэлэлт | 4.70 10-6/°С |
Дулаан дамжуулалт @ 1200 ° C | 23 Вт/м•К |
Уян хатан модуль | 240 ГПа |
Дулааны цохилтын эсэргүүцэл | Маш сайн |