цахиурын карбидын керамик бүрэх халаагуур

Малын эмч-ХятадЦахиурын карбидын керамикБүрхүүл нь маш хатуу, элэгдэлд тэсвэртэй материалаар хийгдсэн өндөр гүйцэтгэлтэй хамгаалалтын бүрхүүл юмцахиурын карбид (SiC)химийн зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй, өндөр температурт тогтвортой байдлыг хангадаг материал. Эдгээр шинж чанарууд нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд маш чухал байдагЦахиурын карбидын керамик бүрээсхагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд өргөн хэрэглэгддэг.

Вет-Хятадын онцгой үүрэгЦахиурын карбидын керамикХагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд бүрэх нь дараах байдалтай байна.

Тоног төхөөрөмжийн бат бөх чанарыг нэмэгдүүлэх:Цахиурын карбидын керамик бүрхүүл Цахиурын карбидын керамик бүрээс нь маш өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн гадаргууг маш сайн хамгаалдаг. Ялангуяа химийн уурын хуримтлал (CVD) болон плазмын сийлбэр зэрэг өндөр температуртай, идэмхий процессын орчинд бүрэх нь тоног төхөөрөмжийн гадаргууг химийн элэгдэл, физик элэгдэлд өртөхөөс үр дүнтэйгээр хамгаалж, улмаар төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц уртасгадаг. тоног төхөөрөмжийг байнга сольж, засварласны улмаас зогсолтыг багасгах.

Процессын цэвэр байдлыг сайжруулах:Хагас дамжуулагчийг үйлдвэрлэх явцад бага зэргийн бохирдол нь бүтээгдэхүүний согогийг үүсгэж болзошгүй. Цахиурын карбидын керамик бүрхүүлийн химийн идэвхгүй байдал нь хатуу ширүүн нөхцөлд тогтвортой байх боломжийг олгодог бөгөөд материал нь тоосонцор, хольцыг ялгаруулахаас сэргийлж, улмаар үйл явцын байгаль орчны цэвэр байдлыг хангадаг. Энэ нь PECVD болон ион суулгац гэх мэт өндөр нарийвчлал, өндөр цэвэр байдал шаарддаг үйлдвэрлэлийн үе шатуудад онцгой чухал юм.

Дулааны менежментийг оновчтой болгох:Хурдан дулааны боловсруулалт (RTP) болон исэлдэлтийн процесс зэрэг өндөр температурт хагас дамжуулагч боловсруулахад Цахиурын карбидын керамик бүрхүүлийн өндөр дулаан дамжуулалт нь төхөөрөмжийн дотор температурыг жигд хуваарилах боломжийг олгодог. Энэ нь температурын хэлбэлзлээс үүдэлтэй дулааны стресс болон материалын хэв гажилтыг бууруулж, улмаар бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийн нарийвчлал, тууштай байдлыг сайжруулахад тусалдаг.

Нарийн төвөгтэй үйл явцын орчинг дэмжих:ICP сийлбэр, PSS сийлбэр гэх мэт уур амьсгалын нарийн төвөгтэй хяналт шаарддаг процессуудад Цахиурын карбидын керамик бүрээсийн тогтвортой байдал, исэлдэлтийн эсэргүүцэл нь тоног төхөөрөмжийг удаан хугацаанд тогтвортой ажиллуулах боломжийг хангаж, материалын эвдрэл, эвдрэлийн эрсдлийг бууруулдаг. байгаль орчны өөрчлөлтөд.