Өргөст ялтас боловсруулахад зориулсан дэвшилтэт SiC cantilever сэлүүр

Богино тайлбар:

Vet-china-аас эхлүүлсэн вафер боловсруулахад зориулсан Advanced SiC Cantilever Paddle нь өрмөнцөр боловсруулах үр ашиг, нарийвчлалыг сайжруулахын тулд өндөр технологийн SiC материалыг ашигладаг. Vet-china-ийн консол сэлүүр нь маш сайн халуунд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй тул хатуу ширүүн үйлдвэрлэлийн орчинд өрмөнцтэй харьцах тогтвортой ажиллагааг хангаж, үйлдвэрлэлийн гарцыг сайжруулахад тохиромжтой сонголт болгодог.


Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

ДэвшилтэтSiC Cantilever PaddleVet-china-ийн бүтээсэн Wafer Processing нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд маш сайн шийдэл юм. Энэхүү консол сэлүүр нь SiC (цахиурын карбид) материалаар хийгдсэн бөгөөд түүний өндөр хатуулаг, халуунд тэсвэртэй байдал нь өндөр температур, идэмхий орчинд маш сайн гүйцэтгэлийг хадгалах боломжийг олгодог. Cantilever Paddle-ийн загвар нь өрөмийг боловсруулах явцад найдвартай бэхлэх боломжийг олгож, хуваагдах, гэмтэх эрсдлийг бууруулдаг.

SiC Cantilever Paddleисэлдүүлэх зуух, сарниулах зуух, задлах зуух зэрэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид ашиглагддаг тусгай бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд үндсэн хэрэглээ нь өрөм ачих, буулгах, өндөр температурт үйл явцын явцад өргүүрийг дэмжих, тээвэрлэх зориулалттай.

Нийтлэг бүтэц-ийнSiCcэсрэг хөшүүрэгpaddle: Нэг төгсгөлд нь бэхлэгдсэн, нөгөө талдаа чөлөөтэй байдаг консол бүтэц нь ихэвчлэн хавтгай, сэлүүр хэлбэртэй байдаг.

VET Energy нь чанарыг баталгаажуулахын тулд өндөр цэвэршилттэй дахин талстжуулсан цахиурын карбидын материалыг ашигладаг.

Дахин талстжуулсан цахиурын карбидын физик шинж чанар

Өмч

Ердийн үнэ цэнэ

Ажлын температур (°C)

1600°C (хүчилтөрөгчтэй), 1700°C (багасгагч орчин)

SiC агуулга

> 99.96%

Үнэгүй Si контент

< 0.1%

Бөөн нягтрал

2.60-2.70 г/см3

Илэрхий сүвэрхэг

< 16%

Шахалтын хүч

> 600МПа

Хүйтэн гулзайлтын хүч

80-90 МПа (20°C)

Халуун гулзайлтын хүч

90-100 МПа (1400 ° C)

1500°C-ийн дулааны тэлэлт

4.70 10-6/°С

Дулаан дамжуулалт @ 1200 ° C

23В/м•К

Уян хатан модуль

240 ГПа

Дулааны цохилтын эсэргүүцэл

Маш сайн

VET Energy-ийн вафель боловсруулахад зориулсан Advanced SiC cantilever сэлүүрийн давуу талууд нь:

-Өндөр температурын тогтвортой байдал: 1600 хэмээс дээш температурт ашиглах боломжтой;

-Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент: хэмжээст тогтвортой байдлыг хадгалж, вафель эвдрэх эрсдлийг бууруулдаг;

-Өндөр цэвэршилт: металл бохирдох эрсдэл бага;

-Химийн идэвхгүй байдал: зэврэлтэнд тэсвэртэй, янз бүрийн хийн орчинд тохиромжтой;

-Өндөр хүч чадал, хатуулаг: Элэгдэлд тэсвэртэй, удаан эдэлгээтэй;

-Дулаан дамжуулалт сайтай: өрмөнцөрийг жигд халаахад тусалдаг.

Консол сэлүүр10
Консол сэлүүр16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Өмнөх:
  • Дараа нь:

  • WhatsApp онлайн чат!