ДэвшилтэтSiC Cantilever PaddleVet-china-ийн бүтээсэн Wafer Processing нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд маш сайн шийдэл юм. Энэхүү консол сэлүүр нь SiC (цахиурын карбид) материалаар хийгдсэн бөгөөд түүний өндөр хатуулаг, халуунд тэсвэртэй байдал нь өндөр температур, идэмхий орчинд маш сайн гүйцэтгэлийг хадгалах боломжийг олгодог. Cantilever Paddle-ийн загвар нь өрөмийг боловсруулах явцад найдвартай бэхлэх боломжийг олгож, хуваагдах, гэмтэх эрсдлийг бууруулдаг.
SiC Cantilever Paddleисэлдүүлэх зуух, сарниулах зуух, задлах зуух зэрэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид ашиглагддаг тусгай бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд үндсэн хэрэглээ нь өрөм ачих, буулгах, өндөр температурт үйл явцын явцад өргүүрийг дэмжих, тээвэрлэх зориулалттай.
Нийтлэг бүтэц-ийнSiCcэсрэг хөшүүрэгpaddle: Нэг төгсгөлд нь бэхлэгдсэн, нөгөө талдаа чөлөөтэй байдаг консол бүтэц нь ихэвчлэн хавтгай, сэлүүр хэлбэртэй байдаг.
VET Energy нь чанарыг баталгаажуулахын тулд өндөр цэвэршилттэй дахин талстжуулсан цахиурын карбидын материалыг ашигладаг.
| Дахин талстжуулсан цахиурын карбидын физик шинж чанар | |
| Өмч | Ердийн үнэ цэнэ |
| Ажлын температур (°C) | 1600°C (хүчилтөрөгчтэй), 1700°C (багасгагч орчин) |
| SiC агуулга | > 99.96% |
| Үнэгүй Si контент | < 0.1% |
| Бөөн нягтрал | 2.60-2.70 г/см3 |
| Илэрхий сүвэрхэг байдал | < 16% |
| Шахалтын хүч | > 600МПа |
| Хүйтэн гулзайлтын хүч | 80-90 МПа (20°C) |
| Халуун гулзайлтын хүч | 90-100 МПа (1400 ° C) |
| 1500°C-ийн дулааны тэлэлт | 4.70 10-6/°С |
| Дулаан дамжуулалт @ 1200 ° C | 23В/м•К |
| Уян хатан модуль | 240 ГПа |
| Дулааны цохилтын эсэргүүцэл | Маш сайн |
VET Energy-ийн вафель боловсруулахад зориулсан Advanced SiC cantilever сэлүүрийн давуу талууд нь:
-Өндөр температурын тогтвортой байдал: 1600 хэмээс дээш температурт ашиглах боломжтой;
-Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент: хэмжээст тогтвортой байдлыг хадгалж, вафель эвдрэх эрсдлийг бууруулдаг;
-Өндөр цэвэршилт: металл бохирдох эрсдэл бага;
-Химийн идэвхгүй байдал: зэврэлтэнд тэсвэртэй, янз бүрийн хийн орчинд тохиромжтой;
-Өндөр хүч чадал, хатуулаг: Элэгдэлд тэсвэртэй, удаан эдэлгээтэй;
-Дулаан дамжуулалт сайтай: өрмөнцөрийг жигд халаахад тусалдаг.
-
6 инчийн N төрлийн SiC вафер
-
Тантал карбидын бүрээс: элэгдэлд тэсвэртэй, өндөр...
-
24v Устөрөгчийн түлшний эсийн Pemfc стек 1000w Hydrog...
-
Устөрөгчийн эрчим хүчний хангамжийн цахилгаан хэрэгсэл 220Вт түлшний элемент...
-
Устөрөгчийн түлшний эс 2000w Pemfc Stack 25v дрон ...
-
Захиалгат өндөр бат бэх үрэлтийн C/C нийлмэл материал (CFC)