VET Energy-ийн 8 инчийн P хэлбэрийн цахиур хавтан нь нарны зай, MEMS төхөөрөмж, нэгдсэн хэлхээ гэх мэт өргөн хүрээний хагас дамжуулагч хэрэглээнд зориулагдсан өндөр хүчин чадалтай цахиур хавтан юм. Маш сайн цахилгаан дамжуулах чанар, тогтвортой гүйцэтгэлээрээ алдартай энэхүү хавтан нь найдвартай, үр ашигтай электрон эд анги үйлдвэрлэхийг эрэлхийлдэг үйлдвэрлэгчдийн сонголт юм. VET Energy нь допингийн нарийн түвшинг хангаж, төхөөрөмжийг оновчтой үйлдвэрлэхэд өндөр чанартай гадаргууг бүрдүүлдэг.
Эдгээр 8 инчийн P хэлбэрийн цахиур хавтан нь SiC субстрат, SOI өрөм, SiN субстрат зэрэг төрөл бүрийн материалуудтай бүрэн нийцдэг бөгөөд Epi Wafer-ийн өсөлтөд тохиромжтой, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн дэвшилтэт процессуудад олон талт байдлыг хангадаг. Өргөст цаасыг Gallium Oxide Ga2O3, AlN Wafer зэрэг өндөр технологийн бусад материалуудтай хослуулан ашиглах боломжтой тул дараагийн үеийн цахим хэрэглээнд тохиромжтой. Тэдний бат бөх загвар нь кассет дээр суурилсан системд бүрэн нийцэж, үр ашигтай, өндөр эзэлхүүнтэй үйлдвэрлэлийн зохицуулалтыг хангадаг.
VET Energy нь үйлчлүүлэгчиддээ тохируулсан вафель шийдлээр хангадаг. Бид өөр өөр эсэргүүцэл, хүчилтөрөгчийн агууламж, зузаан гэх мэт өрсөгийг үйлчлүүлэгчдийн хэрэгцээнд тохируулан өөрчилж болно. Нэмж дурдахад бид үйлчлүүлэгчдэд үйлдвэрлэлийн явцад тулгарч буй янз бүрийн асуудлыг шийдвэрлэхэд туслах мэргэжлийн техникийн дэмжлэг, борлуулалтын дараах үйлчилгээг үзүүлдэг.
ХЭРЭГСЭЛИЙН ТОДОРХОЙЛОЛТ
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Хагас тусгаарлагч
Зүйл | 8 инч | 6 инч | 4 инч | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Нум(GF3YFCD)-Үнэмлэхүй утга | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Муухай (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) -10ммx10мм | <2μм | ||||
Өрөөний ирмэг | Нүхлэх |
Гадаргуугийн өнгөлгөө
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Хагас тусгаарлагч
Зүйл | 8 инч | 6 инч | 4 инч | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
Гадаргуугийн өнгөлгөө | Хоёр талт оптик өнгөлөгч, Si-Face CMP | ||||
Гадаргуугийн барзгар байдал | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Ирмэгийн чипс | Зөвшөөрөгдөөгүй (урт ба өргөн≥0.5мм) | ||||
Догол | Зөвшөөрөгдөөгүй | ||||
Зураас(Si-Face) | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | ||
Хагарал | Зөвшөөрөгдөөгүй | ||||
Ирмэгийг хасах | 3мм |