12 инчийн SOI вафер

Богино тайлбар:

VET Energy-ээс танд бахархалтайгаар авчирсан технологийн гайхамшигт 12 инчийн SOI Wafer-аар урьд өмнө хэзээ ч байгаагүй инновацийг мэдрээрэй. Нарийвчлал, мэргэжлийн ур чадвараар бүтээгдсэн энэхүү Цахиурт Тусгаарлагч хавтан нь үйлдвэрлэлийн стандартыг дахин тодорхойлж, хосгүй чанар, гүйцэтгэлийг санал болгодог.

Бидэн рүү имэйл илгээнэ үү PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй

Бүтээгдэхүүний шошго

VET Energy 12 инчийн SOI хавтан нь өндөр хүчин чадалтай хагас дамжуулагч субстрат материал бөгөөд маш сайн цахилгаан шинж чанар, өвөрмөц бүтэцээрээ ихээхэн таалагддаг. VET Energy нь SOI хавтан үйлдвэрлэх дэвшилтэт процессуудыг ашигладаг бөгөөд хавтан нь маш бага алдагдалтай, өндөр хурдтай, цацрагийн эсэргүүцэлтэй тул таны өндөр хүчин чадалтай нэгдсэн хэлхээний бат бөх суурийг бүрдүүлдэг.

VET Energy-ийн бүтээгдэхүүний шугам нь зөвхөн SOI өргүүрээр хязгаарлагдахгүй. Мөн бид Si Wafer, SiC Substrate, SiN Substrate, Epi Wafer гэх мэт олон төрлийн хагас дамжуулагч субстрат материал, түүнчлэн Gallium Oxide Ga2O3, AlN Wafer зэрэг шинэ өргөн зурвас бүхий хагас дамжуулагч материалаар хангадаг. Эдгээр бүтээгдэхүүнүүд нь цахилгаан электроник, RF, мэдрэгч болон бусад салбарт янз бүрийн хэрэглэгчдийн хэрэглээний хэрэгцээг хангаж чадна.

Шилдэг чанарт анхаарлаа хандуулж, манай SOI өргүүрүүд нь үйл ажиллагааны бүх түвшинд найдвартай, үр ашигтай байдлыг хангах үүднээс галийн исэл Ga2O3, кассет, AlN хавтан зэрэг дэвшилтэт материалыг ашигладаг. Технологийн дэвшлийн замыг зассан хамгийн сүүлийн үеийн шийдлүүдийг гаргаж өгөхийн тулд VET Energy-д итгэ.

VET Energy 12 инчийн SOI өргүүрийн дээд зэргийн гүйцэтгэлээр төслийн боломжоо нээгээрэй. Хагас дамжуулагч технологийн динамик талбарт амжилтын үндэс суурийг тавьж, чанар, нарийвчлал, инновацийг шингээсэн вафель ашиглан инновацийн чадамжаа нэмэгдүүлээрэй. Хүлээгдэж буй хүлээлтээс давсан дээд зэргийн SOI вафель шийдлүүдийг авахын тулд VET Energy-г сонгоорой.

ХАЙХ ЗААВАР ТОВЧЛОЛУУДЫН ҮЗҮҮЛЭЛТ

*n-Pm=n-төрөл Pm-зэрэг,n-Ps=n-төрөл Ps-зэрэг,Sl=хагас тусгаарлагч

Зүйл	8 инч	6 инч			4 инч
Зүйл	nP	n-pm	n-Ps	SI	SI
TTV(GBIR)	≤6um	≤6um
Нум(GF3YFCD)-Үнэмлэхүй утга	≤15μm	≤15μm	≤25μm		≤15μm
Муухай(GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV (SBIR) -10ммx10мм	<2μм
Өрөөний ирмэг	Нүхлэх

Гадаргуугийн өнгөлгөө

*n-Pm=n-төрөл Pm-зэрэг,n-Ps=n-төрөл Ps-зэрэг,Sl=хагас тусгаарлагч

Зүйл	8 инч	6 инч			4 инч
	nP	n-pm	n-Ps	SI	SI
Гадаргуугийн өнгөлгөө	Хоёр талын оптик өнгөлөгч, Si-Face CMP
Гадаргуугийн барзгар байдал	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2нм C-Нүүрний Ra≤ 0.5нм			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Нүүрний Ra≤0.5nm
Ирмэгийн чипс	Зөвшөөрөгдөөгүй (урт ба өргөн≥0.5мм)
Догол	Зөвшөөрөгдөөгүй
Зураас(Si-Face)	Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан Урт≤0.5хөрсөгний диаметр	Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан Урт≤0.5хөрсөгний диаметр			Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан Урт≤0.5хөрсөгний диаметр
Хагарал	Зөвшөөрөгдөөгүй
Ирмэгийг хасах	3мм