VET Energy-ийн 4 инчийн GaAs ваффер нь RF өсгөгч, LED, нарны зай зэрэг өндөр хурдны болон оптоэлектроник төхөөрөмжүүдэд зайлшгүй шаардлагатай материал юм. Эдгээр ялтсууд нь электроны өндөр хөдөлгөөнтэй, илүү өндөр давтамжтай ажиллах чадвараараа алдартай тул хагас дамжуулагчийн дэвшилтэт хэрэглээний гол бүрэлдэхүүн хэсэг болдог. VET Energy нь янз бүрийн нарийн ширийн зүйлийг үйлдвэрлэхэд тохиромжтой, жигд зузаантай, хамгийн бага согогтой, дээд зэргийн чанартай GaAs хавтангуудыг баталгаажуулдаг.
Эдгээр 4 инчийн GaAs өргүүрүүд нь Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, and SiN Substrate зэрэг төрөл бүрийн хагас дамжуулагч материалуудтай нийцдэг тул тэдгээрийг янз бүрийн төхөөрөмжийн архитектурт нэгтгэх олон талт болгодог. Epi Wafer үйлдвэрлэхэд ашиглах эсвэл Gallium Oxide Ga2O3, AlN Wafer зэрэг хамгийн сүүлийн үеийн материалуудтай зэрэгцэн тэдгээр нь дараагийн үеийн электроникийн найдвартай суурийг санал болгодог. Нэмж дурдахад, хавтан нь кассет дээр суурилсан харьцах системд бүрэн нийцэж, судалгааны болон их хэмжээний үйлдвэрлэлийн орчинд жигд ажиллагааг хангадаг.
VET Energy нь Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, AlN Wafer зэрэг хагас дамжуулагч субстратын иж бүрэн багцыг санал болгож байна. Манай олон төрлийн бүтээгдэхүүний шугам нь цахилгаан электроникоос эхлээд RF ба оптоэлектроник хүртэлх төрөл бүрийн электрон хэрэглээний хэрэгцээг хангадаг.
VET Energy нь янз бүрийн допингийн түвшин, чиг баримжаа, гадаргуугийн өнгөлгөө зэрэг таны тусгай шаардлагад нийцүүлэн тохируулах боломжтой GaAs өргүүрийг санал болгодог. Манай мэргэжлийн баг таны амжилтыг баталгаажуулахын тулд техникийн дэмжлэг үзүүлж, борлуулалтын дараах үйлчилгээ үзүүлдэг.
ХЭРЭГСЭЛИЙН ТОДОРХОЙЛОЛТ
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Хагас тусгаарлагч
Зүйл | 8 инч | 6 инч | 4 инч | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Нум(GF3YFCD)-Үнэмлэхүй утга | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Муухай (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) -10ммx10мм | <2μм | ||||
Өрөөний ирмэг | Нүхлэх |
Гадаргуугийн өнгөлгөө
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Хагас тусгаарлагч
Зүйл | 8 инч | 6 инч | 4 инч | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
Гадаргуугийн өнгөлгөө | Хоёр талт оптик өнгөлөгч, Si-Face CMP | ||||
Гадаргуугийн барзгар байдал | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Ирмэгийн чипс | Зөвшөөрөгдөөгүй (урт ба өргөн≥0.5мм) | ||||
Догол | Зөвшөөрөгдөөгүй | ||||
Зураас(Si-Face) | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | Тоо хэмжээ.≤5, Хуримтлагдсан | ||
Хагарал | Зөвшөөрөгдөөгүй | ||||
Ирмэгийг хасах | 3мм |