ലിക്വിഡ് ഫേസ് എപിറ്റാക്സി എൽപിഇയ്ക്കുള്ള ബാരൽ സസെപ്റ്റർ

ലിക്വിഡ് ഫേസ് എപ്പിറ്റാക്സി എൽപിഇയ്ക്കുള്ള ബാരൽ സസെപ്റ്റർ

EPI (Epitaxy)നൂതന അർദ്ധചാലകങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിലെ ഒരു നിർണായക പ്രക്രിയയാണ്. സങ്കീർണ്ണമായ ഉപകരണ ഘടനകൾ സൃഷ്ടിക്കുന്നതിന് ഒരു അടിവസ്ത്രത്തിൽ വസ്തുക്കളുടെ നേർത്ത പാളികൾ നിക്ഷേപിക്കുന്നത് ഇതിൽ ഉൾപ്പെടുന്നു. മികച്ച താപ ചാലകതയും ഉയർന്ന താപനിലയോടുള്ള പ്രതിരോധവും കാരണം ഇപിഐ റിയാക്ടറുകളിൽ സിഐസി പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് ബാരൽ സസെപ്റ്ററുകൾ സാധാരണയായി സസെപ്റ്ററുകളായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. കൂടെCVD-SiC കോട്ടിംഗ്, ഇത് മലിനീകരണം, മണ്ണൊലിപ്പ്, താപ ഷോക്ക് എന്നിവയെ കൂടുതൽ പ്രതിരോധിക്കും. ഇത് സസെപ്റ്ററിന് ദൈർഘ്യമേറിയ ആയുസ്സിനും ഫിലിം നിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും കാരണമാകുന്നു.

ലിക്വിഡ് ഫേസ് എപ്പിറ്റാക്സി എൽപിഇയ്ക്കുള്ള ഞങ്ങളുടെ ബാരൽ സസെപ്റ്ററിൻ്റെ പ്രയോജനങ്ങൾ:
കുറഞ്ഞ മലിനീകരണം:SiC യുടെ നിഷ്ക്രിയ സ്വഭാവം മാലിന്യങ്ങൾ സസെപ്റ്റർ ഉപരിതലത്തിൽ പറ്റിനിൽക്കുന്നത് തടയുന്നു, നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമുകളുടെ മലിനീകരണ സാധ്യത കുറയ്ക്കുന്നു.
വർദ്ധിച്ച മണ്ണൊലിപ്പ് പ്രതിരോധം:പരമ്പരാഗത ഗ്രാഫൈറ്റിനെ അപേക്ഷിച്ച് SiC മണ്ണൊലിപ്പിനെ വളരെയധികം പ്രതിരോധിക്കും, ഇത് സസെപ്റ്ററിന് ദീർഘായുസ്സിലേക്ക് നയിക്കുന്നു.
മെച്ചപ്പെട്ട താപ സ്ഥിരത:SiC ന് മികച്ച താപ ചാലകതയുണ്ട്, കൂടാതെ കാര്യമായ വികലതയില്ലാതെ ഉയർന്ന താപനിലയെ നേരിടാൻ കഴിയും.
മെച്ചപ്പെടുത്തിയ ഫിലിം ക്വാളിറ്റി:മെച്ചപ്പെട്ട താപ സ്ഥിരതയും കുറഞ്ഞ മലിനീകരണവും മെച്ചപ്പെട്ട ഏകീകൃതവും കനം നിയന്ത്രണവും ഉള്ള ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ഡിപ്പോസിറ്റഡ് ഫിലിമുകൾക്ക് കാരണമാകുന്നു.