എപ്പിറ്റാക്സിയൽ എപ്പി ഗ്രാഫൈറ്റ് ബാരൽ സസെപ്റ്റർ

എപ്പിറ്റാക്സിയൽ എപ്പി ഗ്രാഫൈറ്റ് ബാരൽ സസെപ്റ്റർ

എപ്പിറ്റാക്സിയൽ എപ്പി ഗ്രാഫൈറ്റ് ബാരൽ സസെപ്റ്റർഡിപ്പോസിഷൻ അല്ലെങ്കിൽ എപിറ്റാക്സി പ്രോസസുകൾ പോലെയുള്ള നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ അർദ്ധചാലക സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ പിടിക്കാനും ചൂടാക്കാനും പ്രത്യേകം രൂപകൽപ്പന ചെയ്‌ത പിന്തുണയും ചൂടാക്കൽ ഉപകരണവുമാണ്.

ഇതിൻ്റെ ഘടനയിൽ സാധാരണയായി സിലിണ്ടർ അല്ലെങ്കിൽ ചെറുതായി ബാരൽ ആകൃതിയിലുള്ളതും, ഉപരിതല സവിശേഷതകൾ ഒന്നിലധികം പോക്കറ്റുകളോ വേഫറുകൾ സ്ഥാപിക്കുന്നതിനുള്ള പ്ലാറ്റ്ഫോമുകളോ ഉൾപ്പെടുന്നു, ചൂടാക്കൽ രീതിയെ ആശ്രയിച്ച് സോളിഡ് അല്ലെങ്കിൽ പൊള്ളയായ ഡിസൈൻ ആകാം.

എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ബാരൽ സസെപ്റ്ററിൻ്റെ പ്രധാന പ്രവർത്തനങ്ങൾ:

-സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് പിന്തുണ: ഒന്നിലധികം അർദ്ധചാലക വേഫറുകൾ സുരക്ഷിതമായി സൂക്ഷിക്കുന്നു;
-താപ സ്രോതസ്സ്: ചൂടാക്കൽ വഴി വളർച്ചയ്ക്ക് ആവശ്യമായ ഉയർന്ന താപനില നൽകുന്നു;
-താപനില ഏകീകൃതത: അടിവസ്ത്രങ്ങളുടെ ഏകീകൃത ചൂടാക്കൽ ഉറപ്പാക്കുന്നു;
-റൊട്ടേഷൻ: താപനിലയും വാതക വിതരണവും ഏകീകൃതമാക്കുന്നതിന് വളർച്ചയുടെ സമയത്ത് സാധാരണയായി കറങ്ങുന്നു.

എപ്പി ഗ്രാഫൈറ്റ് ബാരൽ സസെപ്റ്ററിൻ്റെ പ്രവർത്തന തത്വം:
- എപ്പിറ്റാക്സിയൽ റിയാക്ടറിൽ, ബാരൽ സസെപ്റ്റർ ആവശ്യമായ താപനിലയിലേക്ക് ചൂടാക്കപ്പെടുന്നു (സാധാരണയായി സിലിക്കൺ എപ്പിറ്റാക്സിക്ക് 1000℃-1200℃);
ഏകീകൃത താപനില വിതരണവും വാതക പ്രവാഹവും ഉറപ്പാക്കാൻ ബാരൽ സസെപ്റ്റർ കറങ്ങുന്നു;
-പ്രതികരണ വാതകങ്ങൾ ഉയർന്ന ഊഷ്മാവിൽ വിഘടിച്ച് അടിവസ്ത്ര പ്രതലത്തിൽ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ പാളികൾ ഉണ്ടാക്കുന്നു.

അപേക്ഷകൾ:
-സിലിക്കൺ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ചയ്ക്ക് പ്രാഥമികമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു
-GAs, InP മുതലായ മറ്റ് അർദ്ധചാലക സാമഗ്രികളുടെ എപ്പിറ്റാക്സിക്കും ബാധകമാണ്.

കെമിക്കൽ സ്ഥിരത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിന് VET എനർജി CVD-SiC കോട്ടിംഗിനൊപ്പം ഉയർന്ന പ്യൂരിറ്റി ഗ്രാഫൈറ്റ് ഉപയോഗിക്കുന്നു:

VET എനർജി എപിറ്റാക്സിയൽ എപ്പി ഗ്രാഫൈറ്റ് ബാരൽ സസെപ്റ്ററിൻ്റെ ഗുണങ്ങൾ:

- ഉയർന്ന താപനില സ്ഥിരത;
- നല്ല താപ ഏകീകൃതത;
- ഒന്നിലധികം സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ ഒരേസമയം പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ കഴിയും, ഉൽപ്പാദനക്ഷമത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു;
- രാസപരമായി നിർജ്ജീവമായ, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധി വളർച്ചാ അന്തരീക്ഷം നിലനിർത്തുന്നു.