PECVD ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് എങ്ങനെ വൃത്തിയാക്കാം?| VET ഊർജ്ജം

1. വൃത്തിയാക്കുന്നതിന് മുമ്പ് അംഗീകാരം

1) എപ്പോൾPECVD ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട്/ കാരിയർ 100 മുതൽ 150 വരെ തവണ ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഓപ്പറേറ്റർ യഥാസമയം കോട്ടിംഗ് അവസ്ഥ പരിശോധിക്കേണ്ടതുണ്ട്. അസാധാരണമായ ഒരു കോട്ടിംഗ് ഉണ്ടെങ്കിൽ, അത് വൃത്തിയാക്കുകയും സ്ഥിരീകരിക്കുകയും വേണം. ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ടിലെ/കാരിയറിലുള്ള സിലിക്കൺ വേഫറിൻ്റെ സാധാരണ പൂശിൻ്റെ നിറം നീലയാണ്. വേഫറിന് നീല അല്ലാത്തതോ ഒന്നിലധികം നിറങ്ങളോ വേഫറുകൾ തമ്മിലുള്ള നിറവ്യത്യാസം വലുതോ ആണെങ്കിൽ, ഇത് അസാധാരണമായ പൂശുന്നു, അസാധാരണതയുടെ കാരണം കൃത്യസമയത്ത് സ്ഥിരീകരിക്കേണ്ടതുണ്ട്.
2) പ്രക്രിയയ്ക്ക് ശേഷം ഉദ്യോഗസ്ഥർ പൂശിൻ്റെ അവസ്ഥ വിശകലനം ചെയ്യുന്നുPECVD ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട്/കാരിയർ, ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് വൃത്തിയാക്കേണ്ടതുണ്ടോ എന്നും കാർഡ് പോയിൻ്റ് മാറ്റിസ്ഥാപിക്കേണ്ടതുണ്ടോ എന്നും അവർ നിർണ്ണയിക്കും, കൂടാതെ വൃത്തിയാക്കേണ്ട ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട്/കാരിയർ വൃത്തിയാക്കാൻ ഉപകരണ ഉദ്യോഗസ്ഥർക്ക് കൈമാറും.

 

3) ശേഷംഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട്/ കാരിയർ കേടായി, പ്രൊഡക്ഷൻ ഉദ്യോഗസ്ഥർ ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ടിലെ എല്ലാ സിലിക്കൺ വേഫറുകളും പുറത്തെടുക്കുകയും അതിലെ ശകലങ്ങൾ അടുക്കാൻ CDA (കംപ്രസ്ഡ് എയർ) ഉപയോഗിക്കുകയും ചെയ്യും.ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട്. പൂർത്തിയായ ശേഷം, ക്ലീനിംഗിനായി ഒരു നിശ്ചിത അനുപാതത്തിൽ HF ലായനി ഉപയോഗിച്ച് തയ്യാറാക്കിയ ആസിഡ് ടാങ്കിലേക്ക് ഉപകരണ ഉദ്യോഗസ്ഥർ അത് ഉയർത്തും.

 

2. ഗ്രാഫൈറ്റ് ബോട്ട് വൃത്തിയാക്കൽ

മൂന്ന് റൗണ്ട് ക്ലീനിംഗിനായി 15-25% ഹൈഡ്രോഫ്ലൂറിക് ആസിഡ് ലായനി ഉപയോഗിക്കാൻ ശുപാർശ ചെയ്യുന്നു, ഓരോന്നിനും 4-5 മണിക്കൂർ, കുതിർത്ത് വൃത്തിയാക്കൽ പ്രക്രിയയിൽ ഇടയ്ക്കിടെ നൈട്രജൻ കുമിളയാക്കുക, ഏകദേശം അര മണിക്കൂർ വൃത്തിയാക്കൽ ചേർക്കുക; ശ്രദ്ധിക്കുക: ബബ്ലിങ്ങിനുള്ള വാതക സ്രോതസ്സായി വായു നേരിട്ട് ഉപയോഗിക്കാൻ ശുപാർശ ചെയ്യുന്നില്ല. അച്ചാറിട്ട ശേഷം, ഏകദേശം 10 മണിക്കൂർ ശുദ്ധമായ വെള്ളത്തിൽ കഴുകുക, ബോട്ട് നന്നായി വൃത്തിയാക്കിയതായി സ്ഥിരീകരിക്കുക. വൃത്തിയാക്കിയ ശേഷം, ബോട്ടിൻ്റെ ഉപരിതലം, ഗ്രാഫൈറ്റ് കാർഡ് പോയിൻ്റ്, ബോട്ട് ഷീറ്റ് ജോയിൻ്റ്, മറ്റ് ഭാഗങ്ങൾ എന്നിവ പരിശോധിച്ച് എന്തെങ്കിലും സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് അവശിഷ്ടം ഉണ്ടോയെന്ന് പരിശോധിക്കുക. തുടർന്ന് ആവശ്യകതകൾക്കനുസരിച്ച് ഉണക്കുക.

3. ക്ലീനിംഗ് മുൻകരുതലുകൾ

എ) HF ആസിഡ് വളരെ നശിപ്പിക്കുന്ന പദാർത്ഥമായതിനാൽ ഒരു നിശ്ചിത അസ്ഥിരത ഉള്ളതിനാൽ, ഇത് ഓപ്പറേറ്റർമാർക്ക് അപകടകരമാണ്. അതിനാൽ, ക്ലീനിംഗ് പോസ്റ്റിലെ ഓപ്പറേറ്റർമാർ സുരക്ഷാ മുൻകരുതലുകൾ എടുക്കുകയും ഒരു സമർപ്പിത വ്യക്തിയെ നിയന്ത്രിക്കുകയും വേണം.

ബി) ബോട്ട് ഡിസ്അസംബ്ലിംഗ് ചെയ്യാനും ക്ലീനിംഗ് സമയത്ത് ഗ്രാഫൈറ്റ് ഭാഗം മാത്രം വൃത്തിയാക്കാനും ശുപാർശ ചെയ്യുന്നു, അങ്ങനെ ഓരോ കോൺടാക്റ്റ് ഭാഗവും കൂടുതൽ നന്നായി വൃത്തിയാക്കാൻ കഴിയും. നിലവിൽ, പല ഗാർഹിക നിർമ്മാതാക്കളും മൊത്തത്തിലുള്ള ക്ലീനിംഗ് ഉപയോഗിക്കുന്നു, ഇത് സൗകര്യപ്രദമാണ്, എന്നാൽ എച്ച്എഫ് ആസിഡ് സെറാമിക് ഭാഗങ്ങളിൽ നശിപ്പിക്കുന്നതിനാൽ, മൊത്തത്തിലുള്ള ക്ലീനിംഗ് അനുബന്ധ ഭാഗങ്ങളുടെ സേവന ആയുസ്സ് കുറയ്ക്കും.