SiC обложена графит носач / сусцептор

Избрана слика за носач/поддржувач на графит обложен со SiC

Краток опис:

VET Energy SiC обложен графит носач/поддржувач е производ со високи перформанси дизајниран да обезбеди постојани и сигурни перформанси во подолг период. Има супер добра отпорност на топлина и топлинска униформност, висока чистота, отпорност на ерозија, што го прави совршено решение за апликации за обработка на нафора.

Испратете ни е-пошта Преземете како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Сусцетпор обложен со SiC е клучна компонента што се користи во различни процеси на производство на полупроводници. Ја користиме нашата патентирана технологија за да го направиме suscetpor обложениот SiC со екстремно висока чистота, добра униформност на облогата и одличен работен век, како и висока хемиска отпорност и својства на термичка стабилност.

Карактеристики на нашите производи:

1. Отпорност на оксидација на висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота и топлинска униформност
3. Одлична отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
4. Висока цврстина, компактна површина, фини честички.
5. Подолг работен век и потрајни

CVD SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога
性质 / Имотот	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111).
密度 / Густина	3,21 g/cm³
硬度 / Цврстина	2500 维氏硬度 (500 g оптоварување)
晶粒大小 / Големина на жито	2 ~ 10 μm
纯度 / Хемиска чистота	99,99995%
热容 / Топлински капацитет	640 J·kg^-1· К^-1
升华温度 / Температура на сублимација	2700 ℃
抗弯强度 / Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
杨氏模量 / Модул на Јанг	430 Gpa 4pt кривина, 1300℃
导热系数 / ТермалСпроводливост	300 W·m^-1· К^-1
热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1