Поддржувач на буриња обложен со SiC

Избрана слика со обложена слика за буриња со обвивка

Краток опис:

VET Energy SiC обложено барел Susceptor е производ со високи перформанси дизајниран да обезбеди постојани и сигурни перформанси во подолг период. Има супер добра отпорност на топлина и топлинска униформност, висока чистота, отпорност на ерозија, што го прави совршено решение за апликации за обработка на нафора.

Место на потекло:Кина

Кристална структура:FCCβ фаза

Густина:3,21 g/cm;

Цврстина:2500 Викерс;

Големина на зрно:2~10μm;

Хемиска чистота:99,99995%;

Топлински капацитет:640J·kg-1·K-1;

Температура на сублимација:2700 ℃;

Фелексурална сила:415 Mpa (RT 4-точка);

Модул на Јанг:430 Gpa (4 точки кривина, 1300℃);

Термичка експанзија (CTE):4,5 10-6K-1;

Топлинска спроводливост:300 (W/MK);

Испратете ни е-пошта Преземете како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Степен за буре is a клучкомпонента што се користи во различни процеси на производство на полупроводници.Ние ја користиме нашата патентирана технологија за да го направимесенцептор за буресоисклучително висока чистота,доброоблогауниформности одличен работен век, како ивисока хемиска отпорност и термичка стабилност својства.

СОО Енергија е навистински производител на прилагодени производи од графит и силициум карбид со CVD слој,може да снабдуваразличниприлагодени делови за полупроводничка и фотоволтаична индустрија. OТехничкиот тим доаѓа од врвни домашни истражувачки институции, може да обезбеди попрофесионални материјални решенијаза тебе.

Ние постојано развиваме напредни процеси за да обезбедиме понапредни материјали,иимаат развиено ексклузивна патентирана технологија, која може да го направи поврзувањето помеѓу облогата и подлогата поцврсто и помалку подложно на одлепување.

Fкарактеристики на нашите производи:

1. Отпорност на оксидација на висока температура до 1700℃.
2. Висока чистота итоплинска униформност
3. Одлична отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.
4. Висока цврстина, компактна површина, фини честички.
5. Подолг работен век и потрајни

CVD SiC薄膜基本物理性能 Основни физички својства на CVD SiCоблога
性质 / Имотот	典型数值 / Типична вредност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111).
密度 / Густина	3,21 g/cm³
硬度 / Цврстина	2500 维氏硬度 (500 g оптоварување)
晶粒大小 / Големина на жито	2 ~ 10 μm
纯度 / Хемиска чистота	99,99995%
热容 / Топлински капацитет	640 J·kg^-1· К^-1
升华温度 / Температура на сублимација	2700 ℃
抗弯强度 / Јачина на свиткување	415 MPa RT 4-точка
杨氏模量 / Модул на Јанг	430 Gpa 4pt кривина, 1300℃
导热系数 / ТермалСпроводливост	300 W·m^-1· К^-1
热膨胀系数 / Термичка експанзија (CTE)	4,5×10^-6K^-1