Ko te vet-china e whakaatu ana i te Poti Waferi Poutū Poutū me te Pedestal, he otinga matawhānui mo te tukatuka semiconductor matatau. I hangaia me te tino tika, ko tenei punaha whakahaere angiangi e whakarato ana i te pumau me te whakatikatika, he mea nui mo nga taiao whakangao tino pai.
Ko te Poti Waferuri Poutū Poutū me te Pedestal he mea hanga me nga rawa utu nui hei whakapumau i te pumau o te waiariki me te aukati ki te waikura matū, e tika ana mo nga mahi hangahanga semiconductor tino uaua. Ko tana hoahoa poutū motuhake e tautoko mau ana i nga angiangi, ka whakaiti i te tupono o te hee me te pakaru i te waa kawe me te tukatuka.
Na te whakakotahitanga o te Poti Waferu Wafer me te Pedestal a vet-china, ka taea e nga kaihanga semiconductor te pai ake te whakaputanga, te whakaiti i te wa heke, me te pikinga o nga hua hua. He hototahi tenei punaha ki nga momo angiangi me nga whirihoranga, e tuku ana i te ngawari me te tauine mo nga hiahia whakaputa rereke.
Ko te whakapumautanga a vet-china ki te hiranga ka whakarite kia tutuki ia Pouaka Pouaka Wafer Boat & Pedestal ki nga paerewa teitei o te kounga me te mahi. Ma te kowhiri i tenei otinga hou, ka whakangao koe ki te huarahi tohu-a-mua mo te mahi angiangi e whakanui ana i te pai me te pono i roto i te whakangao semiconductor.
Nga ahuatanga o te waro hiraka rerystallized
Ko te carbide silicon recrystallized (R-SiC) he rauemi mahi nui me te pakeke tuarua ki te taimana, he mea hanga i te pāmahana teitei i runga ake i te 2000 ℃. He maha nga ahuatanga pai o te SiC e pupuri ana, penei i te kaha o te pāmahana teitei, te kaha o te waikura, te pai o te waiora, te pai o te awangawanga waiariki me era atu.
● Nga taonga miihini tino pai. Ko te carbide silicon recrystallized he kaha ake te kaha me te uaua atu i te muka waro, te kaha o te awangawanga, ka taea te mahi pai i roto i nga taiao tino wera, ka taea te takaro i te pai ake o te mahi i roto i nga momo ahuatanga. I tua atu, he pai te ngawari, kaore e pakaru noa i te totoro me te piko, ka tino pai ake te mahi.
● Te aukati waikura teitei. Ko te carbide silicon recrystallized he nui te aukati i te waikura ki te maha o nga momo panui, ka taea te aukati i te horo o nga momo purongo kino, ka taea te pupuri i ona taonga miihini mo te wa roa, he kaha te piri, kia roa ake te ora o te ratonga. I tua atu, he pai hoki te pumau o te waiariki, ka taea te urutau ki etahi momo huringa pāmahana, te whakapai ake i tana paanga tono.
● Kare e mimiti te whakakoi. Na te mea karekau te mahi sintering e mimiti, karekau he taumahatanga o te toenga ka paheke, ka pakaru ranei te hua, ka taea te whakarite i nga waahanga he ahua uaua me te tino tika.
| 重结晶碳化硅物理特性 Nga ahuatanga tinana o Silicon Carbide Recrystallized | |
| 性质 / Taonga | 典型数值 / Uara Angamaheni |
| 使用温度/ Te pāmahana mahi (°C) | 1600°C (me te hāora), 1700°C (whakaiti taiao) |
| SiC含量/ ihirangi SiC | > 99.96% |
| 自由Si含量/ Kore utu te ihirangi | < 0.1% |
| 体积密度/Kiato rahi | 2.60-2.70 g/cm3 |
| 气孔率/ Te ahua porosity | < 16% |
| 抗压强度/ Kaha kōpeketanga | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Te kaha piko o te makariri | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Te kaha piko wera | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Roha wera @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/Te werawera @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Tauira rapa | 240 GPa |
| 抗热震性/ Te ātete ru werawera | Tino pai |
Ko te VET Energy tehe kaihanga tuuturu o nga hua graphite me nga hua carbide silicon me te paninga CVD,ka taea te tukurerekēnga waahanga kua whakaritea mo te semiconductor me te ahumahi photovoltaic. OKo to roopu hangarau i ahu mai i nga umanga rangahau a-whare o runga, ka taea e koe te whakarato otinga rauemi ngaiomo koe.
Ka whakawhanake tonu matou i nga tukanga matatau ki te whakarato rauemi matatau ake,aKua mahia e koe he hangarau arai motuhake, e taea ai te hono i waenga i te paninga me te tïpako kia kaha ake, kia iti ake ai te wetewete.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Ko nga ahuatanga taketake o te CVD SiCpaninga | |
| 性质 / Taonga | 典型数值 / Uara Angamaheni |
| 晶体结构 / Hanganga Kiriata | FCC β wāhanga多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Kiato | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Te pakeke | 2500 维氏硬度（500g uta） |
| 晶粒大小 / Raina witi | 2~10μm |
| 纯度 / Te Maamaa | 99.99995% |
| 热容 / Raukaha Wera | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Te Mahana Whakararo | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Te Kaha Toka | 415 MPa RT 4-tohu |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt piko, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalTe kawe | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Roha Ngawha(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Tena koe ki te toro ki to maatau wheketere, me korero ano!
