Poti Angiangi Tatau

Poti Wafera Patata He Whakaahua Whakaatuhia

Whakaahuatanga Poto:

Ko te Poti Waferi Hokotahi mai i te vet-china i hangaia mo te mahi angiangi pai i roto i te hanga semiconductor. I hangaia ma te tino tika, ko te otinga a te vet-china e whakapumau ana i te pumau o te waiariki me te aukati matū, me te arotau i nga mahi whakaputa me te whakaiti i te kino me te whakarei ake i te whakaputanga.

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ka tukuna e te vet-china he Poti Waferi Whakatata-a-te-toi i hangaia mo te reanga e whai ake nei o te hanga semiconductor. Ko tenei poti kua oti te hanga i te tino rite ki te whakahaere i te wafer, e whakarite ana i nga mahi maamaa me te tino whakaiti i te tupono o te kino i te wa e tukatuka ana.

He mea hanga ki nga rawa-kounga teitei, ko te Contiguous Wafer Boat e whakanui ana i te tino pai o te waiariki me te aukati matū tino pai, he pai mo nga taiao matū-nui me te kino. Ko tana hoahoa auaha ka whakarite kia mau tonu nga wafers me te tino tika, te arotau i te whakaputanga me te whakanui ake i te pai o te hanga.

Ko tenei poti angiangi kua oti te whakarite ki te whakatutuki i nga hiahia nui o nga hangahanga semiconductor hou, e tautoko ana i nga momo angiangi me nga whirihoranga. Na roto i te whakauru i te Poti Wafer Contiguous mai i te vet-china ki roto i to raina whakaputa, ka taea e koe te tumanako kia pai ake te mahi, whakahekehia te wa heke, me te piki ake o nga reiti hua.

Ka wheako i te rereketanga me te pono o te vet-china ki te kounga me te auaha, te whakaputa hua e pana ana i nga rohe o te hanga semiconductor. Whiriwhiria te Poti Wafera Patata ka hiki ake to kaha ki te tukatuka angiangi ki nga teitei hou.

Nga ahuatanga o te waro hiraka rerystallized

Ko te carbide silicon recrystallized (R-SiC) he rauemi mahi nui me te pakeke tuarua ki te taimana, he mea hanga i te pāmahana teitei i runga ake i te 2000 ℃. He maha nga ahuatanga pai o te SiC e pupuri ana, penei i te kaha o te pāmahana teitei, te kaha o te waikura, te pai o te waiora, te pai o te awangawanga waiariki me era atu.

● Nga taonga miihini tino pai. Ko te carbide silicon recrystallized he kaha ake te kaha me te uaua atu i te muka waro, te kaha o te awangawanga, ka taea te mahi pai i roto i nga taiao tino wera, ka taea te takaro i te pai ake o te mahi i roto i nga momo ahuatanga. I tua atu, he pai te ngawari, kaore e pakaru noa i te totoro me te piko, ka tino pai ake te mahi.

● Te aukati waikura teitei. Ko te carbide silicon recrystallized he nui te aukati i te waikura ki te maha o nga momo panui, ka taea te aukati i te horo o nga momo purongo kino, ka taea te pupuri i ona taonga miihini mo te wa roa, he kaha te piri, kia roa ake te ora o te ratonga. I tua atu, he pai hoki te pumau o te waiariki, ka taea te urutau ki etahi momo huringa pāmahana, te whakapai ake i tana paanga tono.

● Kare e mimiti te whakakoi. Na te mea karekau te mahi sintering e mimiti, karekau he taumahatanga o te toenga ka paheke, ka pakaru ranei te hua, ka taea te whakarite i nga waahanga he ahua uaua me te tino tika.

重结晶碳化硅物理特性 Nga ahuatanga tinana o Silicon Carbide Recrystallized
性质 / Taonga	典型数值 / Uara Angamaheni
使用温度/ Te pāmahana mahi (°C)	1600°C (me te hāora), 1700°C (whakaiti taiao)
SiC含量/ ihirangi SiC	> 99.96%
自由Si含量/ Kore utu te ihirangi	< 0.1%
体积密度/Kiato rahi	2.60-2.70 g/cm³
气孔率/ Te ahua porosity	< 16%
抗压强度/ Kaha kōpeketanga	> 600MPa
常温抗弯强度/Te kaha piko o te makariri	80-90 MPa (20°C)
高温抗弯强度Te kaha piko wera	90-100 MPa (1400°C)
热膨胀系数/ Roha wera @1500°C	4.70 10^-6/°C
导热系数/Te werawera @1200°C	23W/m•K
杨氏模量/ Tauira rapa	240 GPa
抗热震性/ Te ātete ru werawera	Tino pai

Ko te VET Energy tehe kaihanga tuuturu o nga hua graphite me nga hua carbide silicon me te paninga CVD,ka taea te tukurerekēnga waahanga kua whakaritea mo te semiconductor me te ahumahi photovoltaic. OKo to roopu hangarau i ahu mai i nga umanga rangahau a-whare o runga, ka taea e koe te whakarato otinga rauemi ngaiomo koe.

Ka whakawhanake tonu matou i nga tukanga matatau ki te whakarato rauemi matatau ake,aKua mahia e koe he hangarau arai motuhake, e taea ai te hono i waenga i te paninga me te tïpako kia kaha ake, kia iti ake ai te wetewete.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Ko nga ahuatanga taketake o te CVD SiCpaninga
性质 / Taonga	典型数值 / Uara Angamaheni
晶体结构 / Hanganga Kiriata	FCC β wāhanga多晶，主要为（111）取向
密度 / Kiato	3.21 g/cm³
硬度 / Te pakeke	2500 维氏硬度（500g uta）
晶粒大小 / Raina witi	2~10μm
纯度 / Te Maamaa	99.99995%
热容 / Raukaha Wera	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Te Mahana Whakararo	2700 ℃
抗弯强度 / Te Kaha Toka	415 MPa RT 4-tohu
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt piko, 1300℃
导热系数 / ThermalTe kawe	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Roha Ngawha(CTE)	4.5×10^-6K^-1