Vet-HainaSilicon Carbide CeramicKo te paninga he paninga whakamarumaru tino mahi i mahia mai i te tino uaua me te aukati maucarbide silicon (SiC)rauemi, e whakarato ana i te tino pai o te waikura matū me te pumau o te pāmahana teitei. Ko enei ahuatanga he mea nui ki te hanga semiconductor, naSilicon Carbide Ceramic paningaKei te whakamahia nuitia i roto i nga waahanga matua o nga taputapu whakangao semiconductor.
Ko te mahi motuhake a Vet-HainaSilicon Carbide CeramicKo te whakakikorua i roto i te hanga semiconductor e whai ake nei:
Whakanuia te mauroa o nga taputapu:Ko te paninga Ceramic Silicon Carbide Ka whakaratohia e te Silicon Carbide Ceramic te whakamarumaru mata mo nga taputapu whakangao semiconductor me tona tino pakeke me te aukati kakahu. Ina koa i roto i nga taiao-nui me te tino pirau, penei i te whakahekenga kohu matū (CVD) me te tarai plasma, ka taea e te paninga te aukati i te mata o nga taputapu kia kore e pakaru i te horo matū, te kakahu tinana ranei, na reira ka roa te roa o te oranga o te mahi. te taputapu me te whakaiti i te wa paheketanga na te maha o nga whakakapinga me te whakatikatika.
Whakapai ake i te parakore o te tukanga:I roto i te mahi hangahanga semiconductor, na te iti o te pokenga ka puta he koha hua. Ko te koretake o te matū o te Silicon Carbide Ceramic Coating ka taea e ia te noho pumau i raro i nga ahuatanga tino kino, ka aukati i nga taonga mai i te tuku matūriki, i nga poke ranei, na reira ka mau te maatanga o te taiao. He mea tino nui tenei mo nga mahi hangahanga e hiahia ana kia tino tika me te ma, penei i te PECVD me te whakaurunga katote.
Arotauhia te whakahaere wera:I roto i te tukatuka semiconductor teitei, penei i te tukatuka waiariki tere (RTP) me nga tukanga waiariki, na te kaha o te waiariki o te Silicon Carbide Ceramic Coating ka taea te tohatoha pāmahana rite ki roto i nga taputapu. Ka awhina tenei ki te whakaiti i te ahotea waiariki me te whakarereketanga o nga rawa na te rerekee o te pāmahana, na reira ka pai ake te tika o te hanga hua me te riterite.
Tautoko i nga taiao tukanga uaua:I roto i nga tukanga e hiahia ana ki te whakahaere i te haurangi matatini, penei i te ICP etching me te PSS etching nga tukanga, ko te pumau me te aukati o te waikura o te Silicon Carbide Ceramic Coating ka whakarite kia mau tonu te mahi o nga taputapu i roto i nga mahi mo te wa roa, me te whakaiti i te tupono o te paheketanga o nga rawa, o nga taputapu ranei na te kino. ki nga huringa taiao.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Ko nga ahuatanga taketake o te CVD SiCpaninga | |
| 性质 / Taonga | 典型数值 / Uara Angamaheni |
| 晶体结构 / Hanganga Kiriata | FCC β wāhanga多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Kiato | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Te pakeke | 2500 维氏硬度（500g uta） |
| 晶粒大小 / Raina witi | 2~10μm |
| 纯度 / Te Maamaa | 99.99995% |
| 热容 / Raukaha Wera | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Te Mahana Whakararo | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Te Kaha Toka | 415 MPa RT 4-tohu |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt piko, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalTe kawe | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Roha Ngawha(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Tena koe ki te toro ki to maatau wheketere, me korero ano!
