Ko te 8 Inch P Type Silicon Wafer mai i te VET Energy he wafer silicon mahi teitei i hangaia mo te maha o nga tono semiconductor, tae atu ki nga pūtau solar, nga taputapu MEMS, me nga waahi whakauru. E mohiotia ana mo te pai o te kawe hiko me te mahi rite tonu, ko tenei wafer te mea pai mo nga kaihanga e rapu ana ki te whakaputa i nga waahanga hiko pono me te pai. Ko te VET Energy te whakarite i nga taumata doping tika me te whakaoti mata kounga teitei mo te hanga taputapu tino pai.
Ko enei 8 Inihi P Momo Silicon Wafers he tino hototahi ki nga momo taonga penei i te SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, a he pai mo te tipu o te Epi Wafer, me te whakarite i te mohiotanga mo nga mahi hangahanga semiconductor matatau. Ka taea hoki te whakamahi i nga wafers me etahi atu rauemi hangarau-nui penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer, he pai mo nga tono hiko o muri mai. Ko o raatau hoahoa pakari ka uru pai ki roto i nga punaha-a-Ripene, e whakarite ana i te pai me te nui o te whakahaere whakaputa.
Ka whakawhiwhia e te VET Energy ki nga kaihoko nga otinga angiangi kua whakaritea. Ka taea e tatou te whakarite i nga angiangi me te rereke rereke, te ihirangi hāora, te matotoru, me etahi atu e ai ki nga hiahia motuhake o nga kaihoko. I tua atu, ka whakarato ano hoki matou i te tautoko hangarau ngaio me te ratonga muri-hoko hei awhina i nga kaihoko ki te whakaoti i nga raruraru rereke i te wa o te mahi whakaputa.
NGA WHAKAMAHI WAFERING
*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating
Tūemi | 8-Inihi | 6-Inihi | 4-inihi | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Kopere(GF3YFCD)-Uara Tino | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Tapa Wafer | Tirohanga |
MATA OTI
*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating
Tūemi | 8-Inihi | 6-Inihi | 4-inihi | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Mata Mutu | Takirua taha Optical Polish,Si- Kanohi CMP | ||||
Ruarua Mata | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Tipi Tipi | Kore e Whakaaetia (te roa me te whanui≥0.5mm) | ||||
Nuku | Kore e Whakaaetia | ||||
Nga karawarawa(Si-kanohi) | Qty.≤5, Huihuinga | Qty.≤5, Huihuinga | Qty.≤5, Huihuinga | ||
Kapiti | Kore e Whakaaetia | ||||
Whakakorenga Tapa | 3mm |