12 Inihi SOI Wafer

Whakaahuatanga Poto:

Ka wheako i nga mahi hou kaore ano i mua me te 12 Inihi SOI Wafer, he mea whakamiharo hangarau i haria mai ki a koe e VET Energy. I hangaia ma te tino tika me te tohungatanga, ko tenei wafer Silicon-On-Insulator te tautuhi ano i nga paerewa ahumahi, e tuku ana i te kounga me te mahi.

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko te VET Energy 12-inihi te angiangi SOI he taputapu taputapu semiconductor teitei, e tino paingia ana mo ona taonga hiko me te hanganga ahurei. Ka whakamahia e te VET Energy nga tikanga hanga angiangi SOI kia mohio ai he iti rawa te rerenga rerenga o te angiangi, he tere tere me te aukati iraruraru, e whakarato ana i te turanga pakari mo o ara iahiko whakauru mahi-nui.

Ko te rarangi hua o VET Energy ehara i te mea iti ki nga angiangi SOI. Ka whakarato ano hoki matou i te whānuitanga o nga taputapu taputapu semiconductor, tae atu ki te Si Wafer, SiC Substrate, SiN Substrate, Epi Wafer, me etahi atu, me nga mea hou whanui bandgap semiconductor penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer. Ka taea e enei hua te whakatutuki i nga hiahia tono o nga kaihoko rereke i roto i te hikohiko hiko, RF, puoro me etahi atu mara.

Ma te aro ki te hiranga, ka whakamahia ano e a maatau wafers SOI nga rauemi matatau penei i te gallium oxide Ga2O3, rīpene me te angiangi AlN hei whakarite i te pono me te whai hua i ia taumata whakahaere. Whakawhirinaki ki a VET Energy ki te whakarato i nga otinga hou e para ana te huarahi mo te ahu whakamua hangarau.

Wewetehia te kaha o to kaupapa me te tino mahi o te VET Energy 12-inihi angiangi SOI. Whakanuia o kaha auaha ki nga wafers e mau ana i te kounga, te tika me te auahatanga, e whakatakoto ana i te turanga mo te angitu i roto i te waahi hihiri o te hangarau semiconductor. Kōwhirihia te VET Energy mo nga otinga angiangi SOI utu nui atu i nga tumanako.

NGA WHAKAMAHI WAFERING

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi	8-Inihi	6-Inihi			4-inihi
Tūemi	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
TTV(GBIR)	≤6um	≤6um
Kopere(GF3YFCD)-Uara Tino	≤15μm	≤15μm	≤25μm		≤15μm
Warp(GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40μm		≤25μm
LTV(SBIR)-10mmx10mm	<2μm
Tapa Wafer	Tirohanga

MATA OTI

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi	8-Inihi	6-Inihi			4-inihi
	nP	n-Pm	n-Ps	SI	SI
Mata Mutu	Takirua taha Optical Polish,Si- Kanohi CMP
Ruarua Mata	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm C-Mata Ra≤ 0.5nm			(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm C-Mata Ra≤0.5nm
Tipi Tipi	Kore e Whakaaetia (te roa me te whanui≥0.5mm)
Nuku	Kore e Whakaaetia
Nga karawarawa(Si-kanohi)	Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter	Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter			Qty.≤5, Huihuinga Length≤0.5×wafer diameter
Kapiti	Kore e Whakaaetia
Whakakorenga Tapa	3mm