Ko te VET Energy 12-inihi te angiangi SOI he taputapu taputapu semiconductor teitei, e tino paingia ana mo ona taonga hiko me te hanganga ahurei. Ka whakamahia e te VET Energy nga tikanga hanga angiangi SOI kia mohio ai he iti rawa te rerenga rerenga o te angiangi, he tere tere me te aukati iraruraru, e whakarato ana i te turanga pakari mo o ara iahiko whakauru mahi-nui.
Ko te rarangi hua o VET Energy ehara i te mea iti ki nga angiangi SOI. Ka whakarato ano hoki matou i te whānuitanga o nga taputapu taputapu semiconductor, tae atu ki te Si Wafer, SiC Substrate, SiN Substrate, Epi Wafer, me etahi atu, me nga mea hou whanui bandgap semiconductor penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer. Ka taea e enei hua te whakatutuki i nga hiahia tono o nga kaihoko rereke i roto i te hikohiko hiko, RF, puoro me etahi atu mara.
Ma te aro ki te hiranga, ka whakamahia ano e a maatau wafers SOI nga rauemi matatau penei i te gallium oxide Ga2O3, rīpene me te angiangi AlN hei whakarite i te pono me te whai hua i ia taumata whakahaere. Whakawhirinaki ki a VET Energy ki te whakarato i nga otinga hou e para ana te huarahi mo te ahu whakamua hangarau.
Wewetehia te kaha o to kaupapa me te tino mahi o te VET Energy 12-inihi angiangi SOI. Whakanuia o kaha auaha ki nga wafers e mau ana i te kounga, te tika me te auahatanga, e whakatakoto ana i te turanga mo te angitu i roto i te waahi hihiri o te hangarau semiconductor. Kōwhirihia te VET Energy mo nga otinga angiangi SOI utu nui atu i nga tumanako.
NGA WHAKAMAHI WAFERING
*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating
| Tūemi | 8-Inihi | 6-Inihi | 4-inihi | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| Kopere(GF3YFCD)-Uara Tino | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
| Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
| Tapa Wafer | Tirohanga | ||||
MATA OTI
*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating
| Tūemi | 8-Inihi | 6-Inihi | 4-inihi | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Whakaoti Mata | Taarua taha Optical Polish,Si- Kanohi CMP | ||||
| Ruarua Mata | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
| Tipi Tipi | Kore e Whakaaetia (te roa me te whanui≥0.5mm) | ||||
| Nuku | Kaore i Whakaaetia | ||||
| Nga karawarawa(Si-kanohi) | Qty.≤5, Huihuinga | Qty.≤5, Huihuinga | Qty.≤5, Huihuinga | ||
| Kapiti | Kaore i Whakaaetia | ||||
| Whakakorenga Tapa | 3mm | ||||
