4 Inihi GaAs Wafer

Whakaahuatanga Poto:

Ko te VET Energy 4 inihi te angiangi GaAs he tïpako semiconductor tino parakore e mohiotia ana mo ona taonga hiko tino pai, na reira he whiringa pai mo te tini o nga tono. Ka whakamahia e te VET Energy nga tikanga whakatipu karaihe hei whakaputa i nga angiangi GaA me te tino rite, te iti o te kiato koha, me nga taumata doping tika.


Taipitopito Hua

Tohu Hua

Ko te 4 Inihi GaAs Wafer mai i te VET Energy he mea tino nui mo nga taputapu tere-tere me te optoelectronic, tae atu ki nga whakakaha RF, nga rama rama, me nga pūtau solar. Ko enei wafers e mohiotia ana mo to raatau hikohiko hiko me te kaha ki te mahi i nga iarere teitei ake, ka waiho hei waahanga matua i roto i nga tono semiconductor matatau. Ma te VET Energy e whakarite nga angiangi GaA o te kounga teitei me te matotoru riterite me te iti o nga kohakore, e tika ana mo te whānuitanga o nga mahi tito.

Ko enei Wafers 4 Inihi GaAs he hototahi ki nga momo momo hikohiko penei i te Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, me te SiN Substrate, he mea tino pai mo te whakauru ki nga hoahoanga taputapu rereke. Ahakoa e whakamahia ana mo te hanga Epi Wafer, ki te taha ranei o nga taonga tapahi penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer, ka tukuna he turanga pono mo nga reanga hikohiko. I tua atu, he tino hototahi nga angiangi ki nga punaha whakahaere i runga i te rīpene, e whakarite ana i nga mahi maeneene i roto i nga rangahau me nga taiao hanga nui.

Ko te VET Energy e tuku he kopaki matawhānui o nga taputapu hikohiko, tae atu ki a Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, me AlN Wafer. Ko ta maatau raina hua kanorau e whakatutuki ana i nga hiahia o nga momo tono hiko, mai i te hiko hiko ki te RF me te optoelectronics.

Ka tukuna e te VET Energy nga angiangi GaAs hei whakatutuki i o whakaritenga motuhake, tae atu ki nga taumata doping rereke, nga whakatakotoranga, me nga whakaotinga mata. Ka whakaratohia e to taatau roopu tohunga te tautoko hangarau me te ratonga muri-hoko hei whakarite i to angitu.

第6页-36
第6页-35

NGA WHAKAMAHI WAFERING

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi

8-Inihi

6-Inihi

4-inihi

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV(GBIR)

≤6um

≤6um

Kopere(GF3YFCD)-Uara Tino

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

Warp(GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2μm

Tapa Wafer

Tirohanga

MATA OTI

*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating

Tūemi

8-Inihi

6-Inihi

4-inihi

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

Whakaoti Mata

Taarua taha Optical Polish,Si- Kanohi CMP

Ruarua Mata

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm
C-Mata Ra≤ 0.5nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
C-Mata Ra≤0.5nm

Tipi Tipi

Kore e Whakaaetia (te roa me te whanui≥0.5mm)

Nuku

Kaore i Whakaaetia

Nga karawarawa(Si-kanohi)

Qty.≤5, Huihuinga
Length≤0.5×wafer diameter

Qty.≤5, Huihuinga
Length≤0.5×wafer diameter

Qty.≤5, Huihuinga
Length≤0.5×wafer diameter

Kapiti

Kaore i Whakaaetia

Whakakorenga Tapa

3mm

hangarau_1_2_rahi
下载 (2)

  • Tōmua:
  • Panuku:

  • WhatsApp Chat Online!