Ko te 4 Inihi GaAs Wafer mai i te VET Energy he mea tino nui mo nga taputapu tere-tere me te optoelectronic, tae atu ki nga whakakaha RF, nga rama rama, me nga pūtau solar. Ko enei wafers e mohiotia ana mo to raatau hikohiko hiko me te kaha ki te mahi i nga iarere teitei ake, ka waiho hei waahanga matua i roto i nga tono semiconductor matatau. Ma te VET Energy e whakarite nga angiangi GaA o te kounga teitei me te matotoru riterite me te iti o nga kohakore, e tika ana mo te whānuitanga o nga mahi tito.
Ko enei Wafers 4 Inihi GaAs he hototahi ki nga momo momo hikohiko penei i te Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, me te SiN Substrate, he mea tino pai mo te whakauru ki nga hoahoanga taputapu rereke. Ahakoa e whakamahia ana mo te hanga Epi Wafer, ki te taha ranei o nga taonga tapahi penei i te Gallium Oxide Ga2O3 me te AlN Wafer, ka tukuna he turanga pono mo nga reanga hikohiko. I tua atu, he tino hototahi nga angiangi ki nga punaha whakahaere i runga i te rīpene, e whakarite ana i nga mahi maeneene i roto i nga rangahau me nga taiao hanga nui.
Ko te VET Energy e tuku he kopaki matawhānui o nga taputapu hikohiko, tae atu ki a Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, me AlN Wafer. Ko ta maatau raina hua kanorau e whakatutuki ana i nga hiahia o nga momo tono hiko, mai i te hiko hiko ki te RF me te optoelectronics.
Ka tukuna e te VET Energy nga angiangi GaAs hei whakatutuki i o whakaritenga motuhake, tae atu ki nga taumata doping rereke, nga whakatakotoranga, me nga whakaotinga mata. Ka whakaratohia e to taatau roopu tohunga te tautoko hangarau me te ratonga muri-hoko hei whakarite i to angitu.
NGA WHAKAMAHI WAFERING
*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating
Tūemi | 8-Inihi | 6-Inihi | 4-inihi | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Kopere(GF3YFCD)-Uara Tino | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Tapa Wafer | Tirohanga |
MATA OTI
*n-Pm=n-momo Pm-Kōeke,n-Ps=n-momo Ps-Kōeke,Sl=Hawhe-insulating
Tūemi | 8-Inihi | 6-Inihi | 4-inihi | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Whakaoti Mata | Taarua taha Optical Polish,Si- Kanohi CMP | ||||
Ruarua Mata | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Tipi Tipi | Kore e Whakaaetia (te roa me te whanui≥0.5mm) | ||||
Nuku | Kaore i Whakaaetia | ||||
Nga karawarawa(Si-kanohi) | Qty.≤5, Huihuinga | Qty.≤5, Huihuinga | Qty.≤5, Huihuinga | ||
Kapiti | Kaore i Whakaaetia | ||||
Whakakorenga Tapa | 3mm |