Mucas susceptors šķidrās fāzes epitaksijas LPE
EPI (epitaksija)ir kritisks process progresīvu pusvadītāju ražošanā. Tas ietver plānu materiāla slāņu nogulsnēšanos uz pamatnes, lai izveidotu sarežģītas ierīces struktūras. SiC pārklāti grafīta mucas susceptori EPI parasti tiek izmantoti kā suskeptori EPI reaktoros, jo tiem ir lieliska siltumvadītspēja un izturība pret augstām temperatūrām. ArCVD-SiC pārklājums, tas kļūst izturīgāks pret piesārņojumu, eroziju un termisko šoku. Tas nodrošina ilgāku susceptora kalpošanas laiku un uzlabo plēves kvalitāti.
Mūsu mucas susceptora priekšrocības šķidrās fāzes epitaksijas LPE:
Samazināts piesārņojums:SiC inertais raksturs neļauj piemaisījumiem pielipt susceptora virsmai, samazinot nogulsnēto plēvju piesārņojuma risku.
Paaugstināta izturība pret eroziju:SiC ir ievērojami izturīgāks pret eroziju nekā parastais grafīts, kā rezultātā susceptora kalpošanas laiks ir ilgāks.
Uzlabota termiskā stabilitāte:SiC ir lieliska siltumvadītspēja, un tas var izturēt augstu temperatūru bez būtiskiem traucējumiem.
Uzlabota filmas kvalitāte:Uzlabotā termiskā stabilitāte un samazināts piesārņojums nodrošina augstākas kvalitātes nogulsnētās plēves ar uzlabotu vienmērīguma un biezuma kontroli.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ir augsto tehnoloģiju uzņēmums, kas koncentrējas uz augstas klases progresīvu materiālu, materiālu un tehnoloģiju, tostarp grafīta, silīcija karbīda, keramikas, virsmas apstrādi, piemēram, SiC pārklājumu, TaC pārklājumu, stiklveida oglekli, ražošanu un pārdošanu. pārklājums, pirolītiskais oglekļa pārklājums utt., Šos produktus plaši izmanto fotoelementu, pusvadītāju, jaunās enerģijas, metalurģijā utt.
Mūsu tehniskā komanda nāk no labākajām vietējām pētniecības iestādēm un ir izstrādājusi vairākas patentētas tehnoloģijas, lai nodrošinātu produktu veiktspēju un kvalitāti, kā arī var nodrošināt klientiem profesionālus materiālu risinājumus.
Sirsnīgi sveicam jūs apmeklēt mūsu laboratoriju un ražotni tehniskām diskusijām un sadarbībai!