Epitaksiālais epitaksiālais grafīta mucas uztvērējs

Epitaksiālais epitaksiālais grafīta mucas uztvērējs

Epitaksiālais epitaksiālais grafīta mucas uztvērējsir īpaši izstrādāta atbalsta un sildīšanas ierīce, ko izmanto pusvadītāju substrātu noturēšanai un karsēšanai ražošanas procesos, piemēram, uzklāšanas vai epitaksijas procesos.

Tās struktūra parasti ietver cilindrisku vai nedaudz mucas formu, virsmai ir vairākas kabatas vai platformas vafeļu novietošanai, var būt cieta vai doba konstrukcija atkarībā no sildīšanas metodes.

Galvenās epitaksiālā mucas susceptora funkcijas:

-Substrāta atbalsts: droši notur vairākas pusvadītāju plāksnes;
-Siltuma avots: nodrošina augstu temperatūru, kas nepieciešama augšanai, izmantojot karsēšanu;
-Temperatūras vienmērīgums: nodrošina vienmērīgu substrātu uzsildīšanu;
-Rotācija: parasti griežas augšanas laikā, lai uzlabotu temperatūru un gāzes sadales vienmērīgumu.

Epi grafīta mucas susceptora darbības princips:
- Epitaksiālajā reaktorā mucas susceptors tiek uzkarsēts līdz vajadzīgajai temperatūrai (parasti 1000℃-1200℃ silīcija epitaksijai);
-Stobra susceptors griežas, lai nodrošinātu vienmērīgu temperatūras sadalījumu un gāzes plūsmu;
-Reakcijas gāzes sadalās augstā temperatūrā, veidojot epitaksiālus slāņus uz pamatnes virsmas.

Lietojumprogrammas:
- Galvenokārt izmanto silīcija epitaksiskajai augšanai
- Piemērojams arī citu pusvadītāju materiālu, piemēram, GaAs, InP utt., epitaksijai.

VET Energy izmanto augstas tīrības pakāpes grafītu ar CVD-SiC pārklājumu, lai uzlabotu ķīmisko stabilitāti:

VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor priekšrocības:

-Augstas temperatūras stabilitāte;
- Laba termiskā vienmērība;
-Var vienlaicīgi apstrādāt vairākus substrātus, uzlabojot ražošanas efektivitāti;
-Ķīmiski inerta, saglabājot augstas tīrības pakāpes augšanas vidi.