1. Apstiprinājums pirms tīrīšanas
1) KadPECVD grafīta laiva/carrier tiek izmantots vairāk nekā 100 līdz 150 reizes, operatoram laikus jāpārbauda pārklājuma stāvoklis. Ja ir neparasts pārklājums, tas ir jānotīra un jāapstiprina. Parastā grafīta laiviņas/nesēja silīcija vafeles pārklājuma krāsa ir zila. Ja plāksnītei ir nezila krāsa, vairākas krāsas vai krāsu atšķirība starp vafelēm ir liela, tas ir neparasts pārklājums, un anomālijas cēlonis ir jānoskaidro savlaicīgi.
2) Pēc procesa personāls analizē pārklājuma stāvokliPECVD grafīta laiva/pārvadātājs, viņi noteiks, vai grafīta laiva ir jātīra un vai kartes punkts ir jāmaina, un grafīta laiva/pārvadātājs, kas jātīra, tiks nodots aprīkojuma personālam tīrīšanai.
3) Pēcgrafīta laiva/pārvadātājs ir bojāts, ražošanas personāls izņems visas silīcija vafeles grafīta laivā un izmantos CDA (saspiestu gaisu), lai šķirotu šķembasgrafīta laiva. Pēc pabeigšanas iekārtas personāls to iecels skābes tvertnē, kas ir sagatavota tīrīšanai ar noteiktu HF šķīduma proporciju.
2. Grafīta laivas tīrīšana
Ieteicams izmantot 15-25% fluorūdeņražskābes šķīdumu trīs tīrīšanas kārtās, katru 4-5 stundas, un periodiski izpūšot slāpekli mērcēšanas un tīrīšanas procesā, pievienojot apmēram pusstundu tīrīšanai; piezīme: nav ieteicams tieši izmantot gaisu kā gāzes avotu burbuļošanai. Pēc kodināšanas apmēram 10 stundas skalojiet ar tīru ūdeni un pārbaudiet, vai laiva ir rūpīgi iztīrīta. Pēc tīrīšanas, lūdzu, pārbaudiet laivas virsmu, grafīta kartes punktu un laivas loksnes savienojumu, kā arī citas daļas, lai redzētu, vai tajā nav silīcija nitrīda atlikumu. Pēc tam žāvē atbilstoši prasībām.
3. Piesardzības pasākumi tīrīšanai
A) Tā kā HF skābe ir ļoti kodīga viela un tai ir noteikta nepastāvība, tā ir bīstama operatoriem. Tāpēc operatoriem tīrīšanas vietā ir jāievēro drošības pasākumi, un viņus pārvalda īpaša persona.
B) Laivu ieteicams izjaukt un tīrīšanas laikā tīrīt tikai grafīta daļu, lai katru saskares daļu varētu iztīrīt rūpīgāk. Pašlaik daudzi vietējie ražotāji izmanto vispārējo tīrīšanu, kas ir ērti, taču, tā kā HF skābe ir kodīga keramikas daļām, kopējā tīrīšana saīsinās attiecīgo detaļu kalpošanas laiku.
Izlikšanas laiks: 23. decembris 2024