SiC padengtas sucetporas yra pagrindinis komponentas, naudojamas įvairiuose puslaidininkių gamybos procesuose. Naudojame savo patentuotą technologiją, kad SiC dengtas suscetporas būtų itin grynas, vienodas dangos kiekis ir puikus tarnavimo laikas, taip pat pasižymi dideliu cheminiu atsparumu ir šiluminio stabilumo savybėmis.
Mūsų gaminių savybės:
1. Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje iki 1700 ℃.
2. Didelis grynumas ir šiluminis vienodumas
3. Puikus atsparumas korozijai: rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
4. Didelis kietumas, kompaktiškas paviršius, smulkios dalelės.
5. Ilgesnis tarnavimo laikas ir patvaresnis
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Pagrindinės fizinės CVD SiC savybėsdanga | |
| 性质 / Turtas | 典型数值 / Tipinė vertė |
| 晶体结构 / Kristalinė struktūra | FCC β fazė多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tankis | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Kietumas | 2500 维氏硬度 (500 g apkrova) |
| 晶粒大小 / Grūdų dydis | 2 ~ 10 μm |
| 纯度 / Cheminis grynumas | 99,99995 % |
| 热容 / Šilumos talpa | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimacijos temperatūra | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Lanksčioji jėga | 415 MPa RT 4 taškų |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalLaidumas | 300 W · m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Šiluminė plėtra (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime toliau!
