SiC padengtas grafito laikiklis / susceptorius

Trumpas aprašymas:

VET Energy SiC padengtas grafito laikiklis/susceptorius yra didelio našumo produktas, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką.Jis turi ypač gerą atsparumą karščiui ir šiluminį vienodumą, aukštą grynumą, atsparumą erozijai, todėl yra puikus sprendimas plokštelių apdorojimui.

 


Produkto detalė

Produkto etiketės

SiC padengtas sucetporas yra pagrindinis komponentas, naudojamas įvairiuose puslaidininkių gamybos procesuose.Naudojame savo patentuotą technologiją, kad SiC dengtas suscetporas būtų itin grynas, vienodas dangos kiekis ir puikus tarnavimo laikas, taip pat pasižymi dideliu cheminiu atsparumu ir šiluminio stabilumo savybėmis.

Mūsų gaminių savybės:

1. Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje iki 1700 ℃.
2. Didelis grynumas ir šiluminis vienodumas
3. Puikus atsparumas korozijai: rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
4. Didelis kietumas, kompaktiškas paviršius, smulkios dalelės.
5. Ilgesnis tarnavimo laikas ir patvaresnis

vežėjas2 vežėjas4

vežėjas1 vežėjas3

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Pagrindinės fizinės CVD SiC savybėsdanga

性质 / Nuosavybė

典型数值 / Tipinė vertė

晶体结构 / Kristalinė struktūra

FCC β fazė多晶,主要为(111)取向

密度 / Tankis

3,21 g/cm³

硬度 / Kietumas

2500 维氏硬度 (500 g apkrova)

晶粒大小 / Grūdų dydis

2 ~ 10 μm

纯度 / Cheminis grynumas

99,99995 %

热容 / Šilumos talpa

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimacijos temperatūra

2700 ℃

抗弯强度 / Lanksčioji jėga

415 MPa RT 4 taškų

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt lenkimas, 1300 ℃

导热系数 / ThermalLaidumas

300 W · m-1·K-1

热膨胀系数 / Šiluminė plėtra (CTE)

4,5 × 10-6K-1

1

2

Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime toliau!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Ankstesnis:
  • Kitas:

  • „WhatsApp“ internetinis pokalbis!