vet-china ນໍາສະເຫນີນະວັດກໍາໃຫມ່ຂອງຖັນ Wafer Boat & Pedestal, ການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ semiconductor ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານ. ອອກແບບດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາລະອຽດ, ລະບົບການຈັດການ wafer ນີ້ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະການສອດຄ່ອງທີ່ບໍ່ກົງກັນ, ສໍາຄັນສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ.
The Vertical Column Wafer Boat & Pedestal ແມ່ນກໍ່ສ້າງດ້ວຍວັດສະດຸຊັ້ນນໍາທີ່ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ຕ້ອງການຫຼາຍທີ່ສຸດ. ການອອກແບບຄໍລໍາຕັ້ງທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນສະຫນັບສະຫນູນ wafers ຢ່າງປອດໄພ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງ misalignment ແລະຄວາມເສຍຫາຍທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການຂົນສົ່ງແລະການປຸງແຕ່ງ.
ດ້ວຍການລວມຕົວຂອງ vet-china's Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, ຜູ້ຜະລິດ semiconductor ສາມາດຄາດຫວັງວ່າການຜະລິດຜ່ານການປັບປຸງ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຫຼຸດລົງ, ແລະຜົນຜະລິດຜະລິດຕະພັນເພີ່ມຂຶ້ນ. ລະບົບນີ້ແມ່ນເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຂະຫນາດ wafer ຕ່າງໆແລະການຕັ້ງຄ່າ, ສະເຫນີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນແລະຂະຫນາດສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ຄໍາຫມັ້ນສັນຍາຂອງ vet-china ເພື່ອຄວາມເປັນເລີດໄດ້ຮັບປະກັນວ່າແຕ່ລະ Vertical Column Wafer Boat & Pedestal ມີມາດຕະຖານສູງສຸດຂອງຄຸນນະພາບແລະການປະຕິບັດ. ໂດຍການເລືອກວິທີແກ້ໄຂທີ່ທັນສະ ໄໝ ນີ້, ທ່ານລົງທຶນໃນວິທີການພິສູດໃນອະນາຄົດເພື່ອການຈັດການ wafer ທີ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນການຜະລິດ semiconductor.
ຄຸນສົມບັດຂອງ silicon carbide recrystallized
Recrystallized silicon carbide (R-SiC) ເປັນວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ມີຄວາມແຂງເປັນອັນດັບສອງພຽງແຕ່ເພັດ, ເຊິ່ງຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໃນອຸນຫະພູມສູງສູງກວ່າ 2000 ℃. ມັນຮັກສາຄຸນສົມບັດທີ່ດີເລີດຫຼາຍຂອງ SiC, ເຊັ່ນ: ຄວາມທົນທານຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງທີ່ດີເລີດ, ການຕ້ານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນທີ່ດີແລະອື່ນໆ.
●ຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີເລີດ. Recrystallized silicon carbide ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງແລະຄວາມແຂງທີ່ສູງກວ່າເສັ້ນໄຍກາກບອນ, ທົນທານຕໍ່ຜົນກະທົບສູງ, ສາມາດຫຼິ້ນໄດ້ດີໃນສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ, ສາມາດປະຕິບັດການຕ້ານການດຸ່ນດ່ຽງທີ່ດີກວ່າໃນຫຼາຍໆສະຖານະການ. ນອກຈາກນັ້ນ, ມັນຍັງມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນທີ່ດີແລະບໍ່ຖືກທໍາລາຍໄດ້ງ່າຍໂດຍການຍືດແລະງໍ, ເຊິ່ງຊ່ວຍປັບປຸງການປະຕິບັດຂອງມັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
●ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນສູງ. Recrystallized silicon carbide ມີຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນສູງຕໍ່ຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງສື່, ສາມາດປ້ອງກັນການເຊາະເຈື່ອນຂອງສື່ຕ່າງໆ corrosive, ສາມາດຮັກສາຄຸນສົມບັດກົນຈັກໄດ້ດົນນານ, ມີຄວາມຍຶດຫມັ້ນທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ດັ່ງນັ້ນມັນຈຶ່ງມີອາຍຸການບໍລິການທີ່ຍາວນານ. ນອກຈາກນັ້ນ, ມັນຍັງມີຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, ສາມາດປັບຕົວກັບການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມສະເພາະໃດຫນຶ່ງ, ປັບປຸງຜົນກະທົບຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງມັນ.
● Sintering ບໍ່ຫຼຸດລົງ. ເນື່ອງຈາກວ່າຂະບວນການ sintering ບໍ່ຫົດຕົວ, ບໍ່ມີຄວາມກົດດັນທີ່ຕົກຄ້າງຈະເຮັດໃຫ້ການຜິດປົກກະຕິຫຼືຮອຍແຕກຂອງຜະລິດຕະພັນ, ແລະພາກສ່ວນທີ່ມີຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນແລະຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສາມາດກະກຽມໄດ້.
| 重结晶碳化硅物理特性 ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງ Recrystallized Silicon Carbide | |
| 性质 / ຊັບສິນ | 典型数值 / ມູນຄ່າປົກກະຕິ |
| 使用温度/ ອຸນຫະພູມເຮັດວຽກ (°C) | 1600°C (ມີອົກຊີເຈນ), 1700°C (ສະພາບແວດລ້ອມການຫຼຸດຜ່ອນ) |
| SiC含量/ ເນື້ອໃນ SiC | > 99.96% |
| 自由ສີ 含量/ ເນື້ອຫາ Si ຟຣີ | < 0.1% |
| 体积密度/ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ | 2.60-2.70 g/ຊມ3 |
| 气孔率/ porosity ປາກົດຂື້ນ | < 16% |
| 抗压强度/ ແຮງບີບອັດ | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/ຄວາມແຂງຂອງໂຄ້ງເຢັນ | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度ແຮງບິດຮ້ອນ | 90-100 MPa (1400 ° C) |
| 热膨胀系数/ ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/ການນໍາໃຊ້ຄວາມຮ້ອນ @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ ໂມດູລ Elastic | 240 GPa |
| 抗热震性/ ຕ້ານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ | ດີຫຼາຍ |
ພະລັງງານ VET ແມ່ນ ໄດ້ຜູ້ຜະລິດທີ່ແທ້ຈິງຂອງຜະລິດຕະພັນ graphite ແລະ silicon carbide ທີ່ກໍາຫນົດເອງທີ່ມີການເຄືອບ CVD,ສາມາດສະຫນອງຕ່າງໆພາກສ່ວນທີ່ກໍາຫນົດເອງສໍາລັບ semiconductor ແລະອຸດສາຫະກໍາ photovoltaic. Oທີມງານດ້ານວິຊາການ ur ມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂອຸປະກອນການເປັນມືອາຊີບຫຼາຍສໍາລັບທ່ານ.
ພວກເຮົາສືບຕໍ່ພັດທະນາຂະບວນການທີ່ກ້າວຫນ້າເພື່ອສະຫນອງອຸປະກອນທີ່ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານຫຼາຍ,ແລະໄດ້ເຮັດວຽກອອກເຕັກໂນໂລຊີສິດທິບັດສະເພາະ, ເຊິ່ງສາມາດເຮັດໃຫ້ການຜູກມັດລະຫວ່າງການເຄືອບແລະ substrate ໄດ້ tighter ແລະມີຄວາມສ່ຽງຫນ້ອຍທີ່ຈະ detachment.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງ CVD SiCການເຄືອບ | |
| 性质 / ຊັບສິນ | 典型数值 / ມູນຄ່າປົກກະຕິ |
| 晶体结构 / ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ | ໄລຍະ FCC β多晶，主要为（111) 取向 |
| 密度 / ຄວາມຫນາແຫນ້ນ | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / ຄວາມແຂງ | 2500 维氏硬度 (ໂຫຼດ 500g) |
| 晶粒大小 / ເມັດ SiZe | 2-10 ມມ |
| 纯度 / ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ | 99.99995% |
| 热容 / ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ | 640 J·kg-1· ຄ-1 |
| 升华温度 / ອຸນຫະພູມ sublimation | 2700℃ |
| 抗弯强度 / ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural | 415 MPa RT 4 ຈຸດ |
| 杨氏模量 / Modulus ຂອງຫນຸ່ມ | 430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ຄວາມຮ້ອນລການນໍາ | 300W·m-1· ຄ-1 |
| 热膨胀系数 / ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
ຍິນດີຕ້ອນຮັບທ່ານໄປຢ້ຽມຢາມໂຮງງານຜະລິດຂອງພວກເຮົາຢ່າງອົບອຸ່ນ, ຂໍໃຫ້ມີການສົນທະນາຕື່ມອີກ!
