1. ການຮັບຮູ້ກ່ອນທີ່ຈະທໍາຄວາມສະອາດ
1) ເມື່ອເຮືອ PECVD graphite/ carrier ຖືກນໍາໃຊ້ຫຼາຍກ່ວາ 100 ຫາ 150 ເທື່ອ, ຜູ້ປະຕິບັດການຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ກວດເບິ່ງສະພາບຂອງການເຄືອບໃນເວລາ. ຖ້າມີການເຄືອບຜິດປົກກະຕິ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງເຮັດຄວາມສະອາດແລະຢືນຢັນ. ສີການເຄືອບປົກກະຕິຂອງຊິລິໂຄນ wafer ໃນເຮືອ graphite / carrier ແມ່ນສີຟ້າ. ຖ້າ wafer ບໍ່ມີສີຟ້າ, ຫຼາຍສີ, ຫຼືຄວາມແຕກຕ່າງຂອງສີລະຫວ່າງ wafers ມີຂະຫນາດໃຫຍ່, ມັນເປັນການເຄືອບຜິດປົກກະຕິ, ແລະສາເຫດຂອງຄວາມຜິດປົກກະຕິຕ້ອງໄດ້ຮັບການຢືນຢັນໃນເວລາ.
2) ຫຼັງຈາກບຸກຄະລາກອນຂະບວນການວິເຄາະສະພາບຂອງການເຄືອບຂອງເຮືອ PECVD graphite/ carrier, ພວກເຂົາເຈົ້າຈະກໍານົດວ່າເຮືອ graphite ຕ້ອງໄດ້ຮັບການອະນາໄມແລະບໍ່ວ່າຈະເປັນຈຸດບັດຕ້ອງໄດ້ຮັບການທົດແທນ, ແລະເຮືອ graphite / carrier ທີ່ຕ້ອງການອະນາໄມຈະຖືກມອບໃຫ້ພະນັກງານອຸປະກອນສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດ.
3) ຫຼັງຈາກເຮືອ graphite/ carrier ເສຍຫາຍ, ບຸກຄະລາກອນການຜະລິດຈະເອົາອອກຊິລິໂຄນ wafers ທັງຫມົດໃນເຮືອ graphite ແລະນໍາໃຊ້ CDA (compressed air) ເພື່ອຄັດອອກ fragments ໃນ.ເຮືອ graphite. ຫຼັງຈາກສໍາເລັດ, ບຸກຄະລາກອນອຸປະກອນຈະຍົກມັນເຂົ້າໄປໃນຖັງອາຊິດທີ່ໄດ້ກະກຽມດ້ວຍອັດຕາສ່ວນທີ່ແນ່ນອນຂອງການແກ້ໄຂ HF ສໍາລັບການເຮັດຄວາມສະອາດ.
2. ທໍາຄວາມສະອາດຂອງເຮືອ graphite
ມັນແນະນໍາໃຫ້ໃຊ້ການແກ້ໄຂອາຊິດ hydrofluoric 15-25% ສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດສາມຮອບ, ແຕ່ລະຄົນສໍາລັບ 4-5 ຊົ່ວໂມງ, ແລະເປັນແຕ່ລະໄລຍະ bubbling ໄນໂຕຣເຈນໃນລະຫວ່າງການແຊ່ນ້ໍາແລະທໍາຄວາມສະອາດ, ເພີ່ມປະມານເຄິ່ງຊົ່ວໂມງຂອງການທໍາຄວາມສະອາດ; ຫມາຍເຫດ: ມັນບໍ່ໄດ້ຖືກແນະນໍາໃຫ້ໃຊ້ອາກາດໂດຍກົງເປັນແຫຼ່ງອາຍແກັສສໍາລັບການ bubbling. ຫຼັງຈາກດອງ, ລ້າງອອກດ້ວຍນ້ໍາບໍລິສຸດປະມານ 10 ຊົ່ວໂມງ, ແລະຢືນຢັນວ່າເຮືອໄດ້ຖືກອະນາໄມຢ່າງລະອຽດ. ຫຼັງຈາກທໍາຄວາມສະອາດ, ກະລຸນາກວດເບິ່ງພື້ນຜິວຂອງເຮືອ, ຈຸດບັດ graphite ແລະແຜ່ນຂອງເຮືອ, ແລະພາກສ່ວນອື່ນໆເພື່ອເບິ່ງວ່າມີຊິລິຄອນ nitride ຕົກຄ້າງ. ຫຼັງຈາກນັ້ນໃຫ້ແຫ້ງຕາມຄວາມຕ້ອງການ.
3. ຄວາມສະອາດລະມັດລະວັງ
A) ນັບຕັ້ງແຕ່ອາຊິດ HF ເປັນສານ corrosive ສູງແລະມີການເຫນັງຕີງທີ່ແນ່ນອນ, ມັນເປັນອັນຕະລາຍຕໍ່ຜູ້ປະກອບການ. ດັ່ງນັ້ນ, ຜູ້ປະຕິບັດງານຢູ່ສະຖານີທໍາຄວາມສະອາດຕ້ອງໃຊ້ຄວາມລະມັດລະວັງດ້ານຄວາມປອດໄພແລະຖືກຄຸ້ມຄອງໂດຍບຸກຄົນທີ່ອຸທິດຕົນ.
B) ແນະນໍາໃຫ້ disassemble ເຮືອແລະພຽງແຕ່ເຮັດຄວາມສະອາດສ່ວນ graphite ໃນລະຫວ່າງການທໍາຄວາມສະອາດ, ດັ່ງນັ້ນແຕ່ລະພາກສ່ວນຕິດຕໍ່ສາມາດໄດ້ຮັບການອະນາໄມຢ່າງລະອຽດຫຼາຍ. ໃນປັດຈຸບັນ, ຜູ້ຜະລິດພາຍໃນປະເທດຈໍານວນຫຼາຍໃຊ້ການທໍາຄວາມສະອາດໂດຍລວມ, ເຊິ່ງສະດວກ, ແຕ່ເນື່ອງຈາກວ່າອາຊິດ HF ແມ່ນ corrosive ກັບພາກສ່ວນເຊລາມິກ, ການທໍາຄວາມສະອາດໂດຍລວມຈະເຮັດໃຫ້ສັ້ນອາຍຸການບໍລິການຂອງພາກສ່ວນທີ່ສອດຄ້ອງກັນ.
ເວລາປະກາດ: 23-12-2024