CVD-SiCການເຄືອບມີລັກສະນະເປັນເອກະພາບ, ວັດສະດຸຫນາແຫນ້ນ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມຕ້ານທານອາຊິດ & ເປັນດ່າງແລະທາດປະຕິກອນອິນຊີ, ມີຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບແລະສານເຄມີທີ່ຫມັ້ນຄົງ.

ເມື່ອປຽບທຽບກັບວັດສະດຸ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, graphite ເລີ່ມ oxidize ຢູ່ທີ່ 400C, ເຊິ່ງຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການສູນເສຍຂອງຜົງຍ້ອນການຜຸພັງ, ເຮັດໃຫ້ເກີດມົນລະພິດຕໍ່ສິ່ງແວດລ້ອມຕໍ່ອຸປະກອນ peripheral ແລະຫ້ອງສູນຍາກາດ, ແລະເພີ່ມ impurities ຂອງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.

ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ການເຄືອບ SiC ສາມາດຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງດ້ານຮ່າງກາຍແລະເຄມີຢູ່ທີ່ 1600 ອົງສາ, ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາທີ່ທັນສະໄຫມ, ໂດຍສະເພາະໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.

ບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາໃຫ້ບໍລິການຂະບວນການເຄືອບ SiC ໂດຍວິທີການ CVD ເທິງຫນ້າດິນຂອງກາຟ, ເຊລາມິກແລະວັດສະດຸອື່ນໆ, ດັ່ງນັ້ນທາດອາຍຜິດພິເສດທີ່ມີຄາບອນແລະຊິລິຄອນ react ຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງເພື່ອໃຫ້ໄດ້ໂມເລກຸນ SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ໂມເລກຸນທີ່ຝາກໄວ້ໃນຫນ້າດິນຂອງວັດສະດຸເຄືອບ, ການສ້າງຊັ້ນປ້ອງກັນ SIC. SIC ສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນແມ່ນຜູກມັດຢ່າງແຫນ້ນຫນາກັບພື້ນຖານ graphite, ໃຫ້ພື້ນຖານ graphite ຄຸນສົມບັດພິເສດ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງເຮັດໃຫ້ພື້ນຜິວຂອງ graphite ຫນາແຫນ້ນ, Porosity-free, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ແລະຕ້ານການຜຸພັງ.

ຄຸນ​ນະ​ສົມ​ບັດ​ຕົ້ນ​ຕໍ​:

1. ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງຂອງອຸນຫະພູມສູງ:

ການຕໍ່ຕ້ານການຜຸພັງແມ່ນຍັງດີຫຼາຍເມື່ອອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 C.

2. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ເຮັດໂດຍການປ່ອຍອາຍພິດສານເຄມີພາຍໃຕ້ສະພາບ chlorination ອຸນຫະພູມສູງ.

3. ການຕໍ່ຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນ: ຄວາມແຂງສູງ, ພື້ນຜິວຫນາແຫນ້ນ, ອະນຸພາກດີ.

4. ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ: ອາຊິດ, ດ່າງ, ເກືອແລະທາດປະສົມອິນຊີ.

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ CVD-SIC: