Silicon Carbide Beschichtete Graphite Schacht Plate an Cover

Kuerz Beschreiwung:

VET Energy Silicon Carbide Beschichtung Grafit Plack an Cover ass en héich performant Produkt entwéckelt fir konsequent an zouverlässeg Leeschtung iwwer eng verlängert Period ze bidden. Et huet super gutt Hëtzt Resistenz an thermesch Uniformitéit, héich Rengheet, Erosioun Resistenz, mécht et déi perfekt Léisung fir wafer Veraarbechtung Uwendungen.

Schéckt E-Mail un eis Download als PDF

Produit Detailer

Produit Tags

VET EnergieSilicon Carbide Coating Graphite Schacht, Plate, a Cover ass konstruéiert fir Top-Tier-Performance ze liwweren, zouverlässeg a konsequent Operatioun iwwer verlängert Benotzung ze liwweren, wat et eng wesentlech Wiel fir Waferveraarbechtungsapplikatiounen an der Hallefleitindustrie mécht. Dëst héich-PerformanceSilicon Carbide Beschichtete Graphite Platebitt aussergewéinlech Hëtztbeständegkeet, super thermesch Uniformitéit an aussergewéinlech chemesch Stabilitéit, besonnesch bei héijen Temperaturen. Seng héich Puritéit Konstruktioun, gekoppelt mat fortgeschratt Erosiounsbeständegkeet, mécht et onverzichtbar fir exigent Ëmfeld wéi z.MOCVD susceptors.

Schlëssel Fonctiounen vun Silicon Carbide Beschichtung Graphit Schacht, Plack, an Cover

1. Héich-Temperatur Oxidatioun Resistenz:Widderstoen Temperaturen bis zu 1700 ℃, et erméiglecht et zouverlässeg an extremen Konditiounen ze Leeschtunge.

2. Héich Puritéit an thermesch Uniformitéit:Konsequent héich Rengheet a souguer Hëtztverdeelung sinn entscheedend fir MOCVD Uwendungen.

3. Aussergewéinlech Korrosiounsbeständegkeet:Resistent géint Säuren, Alkalien, Salzer a verschidde organesch Reagenzen, garantéiert laangfristeg Stabilitéit a verschiddenen Ëmfeld.

4. Héich Hardness a kompakt Uewerfläch:Huet eng dichte Uewerfläch mat feine Partikelen, verbessert d'allgemeng Haltbarkeet an d'Resistenz géint Verschleiung.

5. Verlängert Service Liewen:Konstruéiert fir laang Liewensdauer, besser wéi konventionellSiliziumkarbid-beschichtete Grafit-Susceptorenan haarde Halbleiterveraarbechtungsëmfeld.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis kierperlech Eegeschafte vun CVD SiCBeschichtung
性质 / Immobilie	典型数值 / Typesch Wäert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC β Phase多晶，主要为（111) 取向
密度 / Dicht	3,21 g/cm³
硬度 / Hardness	2500 维氏硬度（500g Belaaschtung）
晶粒大小 / Grain Gréisst	2 ~ 10 μm
纯度 / Chemesch Rengheet	99,99995%
热容 / Hëtzt Kapazitéit	640 jkg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatioun Temperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural Kraaft	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt Béi, 1300 ℃
导热系数 / ThermlKonduktivitéit	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansioun (CTE)	4,5x10^-6K^-1

VET Energy Expertise a personaliséierte Graphit- a Siliziumkarbidlösungen

Als vertrauenswürdege Hiersteller ass VET Energy spezialiséiert op personaliséiert entworf Graphitsusceptoren a Siliziumkarbidbeschichtungsléisungen. Mir bidden eng Rei vu Produiten ugepasst fir d'Halbleiter- a Photovoltaikindustrie, inklusivSiC-beschichtete Graphitkomponentenwéi Telleren, Telleren an Deckelen. Eis Produktopstellung enthält och verschidde Beschichtungsoptiounen, wéi zSiC Beschichtung fir MOCVD, TaC Beschichtung, glaslech Kuelestoffbeschichtung, a pyrolytesch Kuelestoffbeschichtung, fir datt mir déi ënnerschiddlech Ufuerderunge vun den High-Tech Industrien entspriechen.

Eis erfuerene technesch Equipe, aus Experten aus Top Gewalt Fuerschung Institutiounen, bitt ëmfaassend Material Léisunge fir Clienten. Mir raffinéieren kontinuéierlech eis fortgeschratt Prozesser, dorënner eng exklusiv patentéiert Technologie, déi d'Bindung tëscht der Siliziumkarbidbeschichtung an dem Grafitsubstrat verbessert, de Risiko vum Ofbau reduzéieren an d'Liewensdauer vum Produkt weider verlängeren.

Uwendungen a Virdeeler an der Semiconductor Manufacturing

DéiSilicon Carbide Beschichtung fir MOCVDmécht dës graphite susceptors héich efficace an héich-Temperatur, corrosive Ëmfeld. Egal ob als Graphitwafer Carrier oder aner MOCVD Komponenten benotzt ginn, dës Siliziumkarbid-beschichtete Susceptoren weisen eng super Haltbarkeet a Leeschtung. Fir déi, déi zouverlässeg Léisunge sichen an derSiC-beschichtete Grafit-SusceptorMaart, VET Energy Silicon Carbide-Beschichtete Grafit Schacht, Plack, an Cover bidden eng robust a versatile Optioun, déi de strenge Fuerderunge vun der Hallefleitindustrie entsprécht.

Andeems Dir op fortgeschratt Materialwëssenschaft fokusséiert, ass VET Energy engagéiert fir High-Performance SiC-beschichtete Graphitléisungen ze liwweren, déi Innovatioun an der Hallefleitveraarbechtung féieren an zouverlässeg Leeschtung an all MOCVD-relatéierten Uwendungen garantéieren.

VET Energy ass de richtege Hiersteller vu personaliséierte Graphit- a Siliziumkarbidprodukter mat verschiddene Beschichtungen wéi SiC Beschichtung, TaC Beschichtung, glaslech Kuelestoffbeschichtung, pyrolytesch Kuelestoffbeschichtung, etc., kënne verschidde personaliséiert Deeler fir Hallefleit- a Photovoltaikindustrie liwweren.

Eis technesch Equipe kënnt aus Top Gewalt Fuerschung Institutiounen, kann méi professionell Material Léisungen fir Iech bidden.

Mir entwéckelen kontinuéierlech fortgeschratt Prozesser fir méi fortgeschratt Materialien ze liwweren, an hunn eng exklusiv patentéiert Technologie ausgeschafft, déi d'Verbindung tëscht der Beschichtung an dem Substrat méi enk a manner ufälleg fir Ofbau maachen kann.

Wëllkomm Iech häerzlech op eis Fabréck ze besichen, loosst eis weider Diskussioun hunn!