1. Unerkennung virum Botzen
1) Wann dePECVD Grafit Boot/ Carrier gëtt méi wéi 100 bis 150 Mol benotzt, de Bedreiwer muss d'Beschichtungskonditioun an der Zäit kontrolléieren. Wann et eng anormal Beschichtung ass, muss se gebotzt a bestätegt ginn. Déi normal Beschichtungsfaarf vum Siliziumwafer am Grafitboot / Carrier ass blo. Wann de Wafer net blo, verschidde Faarwen huet, oder de Faarfdifferenz tëscht de Wafere grouss ass, ass et eng anormal Beschichtung, an d'Ursaach vun der Anomalie muss an der Zäit bestätegt ginn.
2) Nom Prozess Personal analyséieren der Beschichtung Zoustand vun derPECVD Grafit Boot/ Carrier, si wäert bestëmmen ob der GRAPHITE Boot muss gebotzt ginn an ob der Kaart Punkt muss ersat ginn, an der GRAPHITE Boot / Carrier datt gebotzt gin muss, gëtt un d'Equipement Personal fir Botzen iwwerginn.
3) No dergraphite Boot/ Carrier beschiedegt ass, wäert d'Produktiounspersonal all Siliziumwaferen am Grafitboot eraushuelen a CDA (kompriméiert Loft) benotzen fir d'Fragmenter an dergraphite Boot. Nom Ofschloss wäert d'Ausrüstungspersonal et an de Sauertank ophiewen, dee mat engem gewëssen Undeel vun der HF-Léisung fir d'Botzen virbereet gouf.
2. Botzen vun graphite Boot
Et ass recommandéiert eng 15-25% Flëssegkeetssäure-Léisung fir dräi Ronne vu Botzen ze benotzen, jidderee fir 4-5 Stonnen, a periodesch Stickstoff sprëtzen während dem Soaking- a Botzenprozess, doduerch ongeféier eng hallef Stonn Botzen; Notiz: Et ass net recommandéiert d'Loft direkt als Gasquell fir Bubbling ze benotzen. Nom Pickling, spülen mat purem Waasser fir ongeféier 10 Stonnen, a bestätegen datt d'Boot grëndlech gebotzt gouf. Nom Botzen, kuckt w.e.g. d'Uewerfläch vum Boot, de Grafitkaartpunkt an d'Bootplackgelenk an aner Deeler fir ze kucken ob et Siliciumnitridreschter ass. Dann dréchen no den Ufuerderunge.
3. Botzen Virsiichtsmoossnamen
A) Well HF Säure eng héich ätzend Substanz ass an eng gewësse Volatilitéit huet, ass et geféierlech fir d'Bedreiwer. Dofir mussen d'Bedreiwer op der Botzplaz Sécherheetsmoossnamen huelen a vun enger engagéierter Persoun geréiert ginn.
B) Et ass recommandéiert d'Boot ze demontéieren an nëmmen de Graphitdeel während der Botzen ze botzen, sou datt all Kontaktdeel méi grëndlech gereinegt ka ginn. Am Moment benotze vill Hausfabrikanten allgemeng Botzen, wat bequem ass, awer well HF Säure korrosiv ass fir Keramikdeeler, wäert d'Gesamtreinigung d'Liewensdauer vun den entspriechende Deeler verkierzen.
Post Zäit: Dez-23-2024