SiC Beschichtete Graphit Carrier / Susceptor

Kuerz Beschreiwung:

VET Energy SiC Beschichtete Graphit Carrier / Susceptor ass e High-Performance Produkt entwéckelt fir konsequent an zouverlässeg Leeschtung iwwer eng verlängert Period ze bidden.Et huet super gutt Hëtzt Resistenz an thermesch Uniformitéit, héich Rengheet, Erosioun Resistenz, mécht et déi perfekt Léisung fir wafer Veraarbechtung Uwendungen.

 


Produit Detailer

Produit Tags

SiC Beschichtete Suscetpor ass e Schlësselkomponent deen a verschiddene Hallefleitfabrikatiounsprozesser benotzt gëtt.Mir benotzen eis patentéiert Technologie fir de SiC Beschichtete Suscetpor mat extrem héijer Rengheet, gudder Beschichtungsuniformitéit an engem exzellente Liewensdauer ze maachen, wéi och héich chemesch Resistenz an thermesch Stabilitéitseigenschaften.

Features vun eise Produkter:

1. Héich Temperatur Oxidatioun Resistenz bis 1700 ℃.
2. Héich Rengheet an thermesch Uniformitéit
3. Exzellent Korrosiounsbeständegkeet: Säure, Alkali, Salz an organesch Reagenz.
4. Héich Hardness, kompakt Uewerfläch, fein Partikel.
5. Méi laang Liewensdauer a méi haltbar

carrier 2 carrier 4

carrier 1 carrier 3

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Basis kierperlech Eegeschafte vun CVD SiCBeschichtung

性质 / Immobilie

典型数值 / Typesch Wäert

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC β Phase多晶,主要为(111) 取向

密度 / Dicht

3,21 g/cm³

硬度 / Hardness

2500 维氏硬度(500g Belaaschtung)

晶粒大小 / Grain Gréisst

2 ~ 10 μm

纯度 / Chemeschen Rengheet

99,99995%

热容 / Hëtzt Kapazitéit

640 jkg-1·K-1

升华温度 / Sublimatioun Temperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Flexural Kraaft

415 MPa RT 4-Punkt

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt Béi, 1300 ℃

导热系数 / ThermlKonduktivitéit

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Thermal Expansioun (CTE)

4,5x10-6K-1

1

2

Wëllkomm Iech häerzlech op eis Fabréck ze besichen, loosst eis weider Diskussioun hunn!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • virdrun:
  • Nächste:

  • WhatsApp Online Chat!