4 Zoll GaN op SiC Wafer

Kuerz Beschreiwung:

VET Energy's 4-Zoll GaN op SiC Wafer ass e revolutionärt Produkt am Feld vun der Kraaftelektronik. Dëse Wafer kombinéiert déi exzellent thermesch Konduktivitéit vu Siliziumkarbid (SiC) mat der héijer Kraaftdicht a geréngem Verloscht vu Galliumnitrid (GaN), wat et eng ideal Wiel mécht fir héichfrequenz, héichkraaft Geräter ze maachen. VET Energy garantéiert déi exzellent Leeschtung a Konsistenz vum Wafer duerch fortgeschratt MOCVD epitaxial Technologie.


Produit Detailer

Produit Tags

D'Produktlinn vum VET Energy ass net limitéiert op GaN op SiC Wafers. Mir bidden och eng breet Palette vun semiconductor Substrat Material, dorënner Si Wafer, SiC Substrat, SOI Wafer, SiN Substrat, Epi Wafer, etc. Zousätzlech, entwéckelen mir och aktiv nei breet Bandgap semiconductor Materialien, wéi Gallium Oxide Ga2O3 an AlN Wafer, fir d'Demande vun der zukünfteger Kraaftelektronikindustrie fir méi héich Leeschtungsgeräter ze treffen.

VET Energy bitt flexibel Personnalisatiounsservicer, a kann GaN epitaxial Schichten vu verschiddenen Dicken, verschidden Aarte vun Doping, a verschidde Wafergréissten no de spezifesche Bedierfnesser vun de Clienten personaliséieren. Zousätzlech bidde mir och professionell technesch Ënnerstëtzung an After-Sales-Service fir Clienten ze hëllefen séier héich performant Kraaftelektronesch Geräter z'entwéckelen.

第6页-36
第6页-35

WAFERING SPESIFIKASJONER

*n-Pm=n-Typ Pm-Grade,n-Ps=n-Typ Ps-Grade,Sl=Semi-isoléierend

Artikel

8 Zoll

6 Zoll

4 Zoll

nP

n-pm

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤6 um

≤6 um

Bow(GF3YFCD)-Absolut Wäert

≤15μm

≤15μm

≤25 μm

≤15μm

Warp (GF3YFER)

≤25 μm

≤25 μm

≤40 μm

≤25 μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2μm

Wafer Edge

Beveling

SURFACE FINISH

*n-Pm=n-Typ Pm-Grade,n-Ps=n-Typ Ps-Grade,Sl=Semi-isoléierend

Artikel

8 Zoll

6 Zoll

4 Zoll

nP

n-pm

n-Ps

SI

SI

Surface Finish

Duebel Säit Optesch Polnesch, Si- Face CMP

SurfaceRoughness

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm
C-Face Ra≤ 0,5 nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm
C-Face Ra≤0.5nm

Rand Chips

Keen erlaabt (Längt a Breet≥0,5 mm)

Abriecher

Keen erlaabt

Kratzer (Si-Face)

Quty.≤5, Kumulativ
Längt ≤0,5 × wafer Duerchmiesser

Quty.≤5, Kumulativ
Längt ≤0,5 × wafer Duerchmiesser

Quty.≤5, Kumulativ
Längt ≤0,5 × wafer Duerchmiesser

Rëss

Keen erlaabt

Rand Ausgrenzung

3 mm

tech_1_2_Gréisst
Zeechnen (2)

  • virdrun:
  • Nächste:

  • WhatsApp Online Chat!