вет-кытайдын ар бир туруктуулугун камсыз кылатКремний карбид пластинкасын иштетүүчү калакмыкты аткаруу жана туруктуулук бар. Бул кремний карбид пластинкасын иштетүүчү калак жогорку температурада жана химиялык коррозия чөйрөсүндө анын структуралык туруктуулугун жана иштешин камсыз кылуу үчүн алдыңкы өндүрүш процесстерин колдонот. Бул инновациялык дизайн жарым өткөргүч пластина менен иштөөгө, өзгөчө жогорку тактыктагы автоматташтырылган операцияларга эң сонун колдоо көрсөтөт.
SiC Cantilever Paddleкычкылдануу меши, диффузиялык меш жана күйдүрүү меши сыяктуу жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жабдууларда колдонулган адистештирилген компонент болуп саналат, негизги колдонуу пластиналарды жүктөө жана түшүрүү үчүн, жогорку температура процессинде пластиналарды колдойт жана ташыйт.
Жалпы структураларнынSiCcантилеверpaddle: консоль структурасы, бир четинде бекитилген, экинчи жагынан бош, адатта жалпак жана калак сымал дизайнга ээ.
Иштеп жататpпринципнынSiCcантилеверpaddle:
Консоль калак мештин камерасынын ичинде өйдө-ылдый же алдыга-ылдый жыла алат, ал пластиналарды жүктөө аянттарынан кайра иштетүү аймактарына же кайра иштетүү аянттарынан сыртка жылдыруу үчүн колдонулушу мүмкүн, жогорку температурада иштетүүдө пластиналарды колдоо жана турукташтыруу.
Кайра кристаллдашкан кремний карбидинин физикалык касиеттери | |
Менчик | Типикалык баалуулук |
Иштөө температурасы (°C) | 1600°C (кычкылтек менен), 1700°C (редукциялоочу чөйрө) |
SiC мазмуну | > 99,96% |
Акысыз Si мазмуну | < 0,1% |
Массалык тыгыздык | 2,60-2,70 г/см3 |
Көрүнүп турган көзөнөктүүлүк | < 16% |
Кысуу күчү | > 600 МПа |
Муздак ийилген күч | 80-90 МПа (20°C) |
Ысык ийилүүчү күч | 90-100 МПа (1400°C) |
Термикалык кеңейүү @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Жылуулук өткөрүмдүүлүк @1200°C | 23 Вт/м•К |
Эластикалык модулу | 240 GPa |
Термикалык шок каршылык | Абдан жакшы |