кремний карбид керамикалык каптоо жылыткыч

Вет-КытайКремний карбид керамикалыкКаптоо - бул өтө катуу жана эскирүүгө чыдамдуу жасалган жогорку натыйжалуу коргоочу каптамакремний карбиди (SiC)химиялык коррозияга мыкты туруктуулукту жана жогорку температуранын туруктуулугун камсыз кылган материал. Бул мүнөздөмөлөр жарым өткөргүч өндүрүшүндө чечүүчү мааниге ээ, ошондуктанКремний карбид керамикалык каптоожарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жабдуулардын негизги компоненттеринде кеңири колдонулат.

Вет-Кытайдын өзгөчө ролуКремний карбид керамикалыкЖарым өткөргүч өндүрүшүндө каптоо төмөнкүдөй:

Жабдуулардын туруктуулугун жогорулатуу:Кремний карбиди керамикалык каптоо Кремний карбид керамикалык каптоо анын өтө жогорку катуулук жана эскирүү туруктуулугу менен жарым өткөргүч өндүрүштүк жабдуулар үчүн мыкты беттик коргоону камсыз кылат. Айрыкча, химиялык буу туташтыруу (CVD) жана плазма менен жабынуу сыяктуу жогорку температурадагы жана өтө коррозиялуу процесс чөйрөлөрүндө, каптоо жабдуулардын бетинин химиялык эрозиядан же физикалык эскирүүдөн зыянга учурашын эффективдүү түрдө алдын алат, ошону менен жабдуунун кызмат мөөнөтүн кыйла узартат. жабдууларды жана тез-тез алмаштыруу жана оңдоо менен шартталган токтоп калуу убактысын кыскартуу.

Процесстин тазалыгын жакшыртуу:Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процессинде кичинекей булгануу продукттун кемчиликтерине алып келиши мүмкүн. Кремний карбидинин керамикалык каптоосунун химиялык инерттүүлүгү анын экстремалдык шарттарда туруктуулугун сактоого мүмкүндүк берет, материалдан бөлүкчөлөрдү же аралашмаларды бөлүп чыгарууга жол бербейт, ошону менен процесстин экологиялык тазалыгын камсыз кылат. Бул PECVD жана ион имплантациялоо сыяктуу жогорку тактыкты жана жогорку тазалыкты талап кылган өндүрүш кадамдары үчүн өзгөчө маанилүү.

Жылуулук башкарууну оптималдаштыруу:Тез термикалык иштетүү (RTP) жана кычкылдануу процесстери сыяктуу жогорку температурадагы жарым өткөргүчтөрдү кайра иштетүүдө кремний карбид керамикалык каптоосунун жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү жабдуулардын ичиндеги температураны бирдей бөлүштүрүүгө мүмкүндүк берет. Бул температуранын өзгөрүшүнөн келип чыккан жылуулук стрессти жана материалдык деформацияны азайтууга жардам берет, ошону менен продуктунун өндүрүшүнүн тактыгын жана ырааттуулугун жакшыртат.

Татаал процесс чөйрөлөрүн колдоо:Татаал атмосфераны башкарууну талап кылган процесстерде, мисалы, ICP оюу жана PSS оюу процесстери, кремний карбид керамикалык каптоосунун туруктуулугу жана кычкылданууга каршылыгы жабдуулардын узак мөөнөттүү иштөөсүндө туруктуу иштешин камсыздайт, бул материалдын бузулуу коркунучун азайтат же жабдыктын бузулуу коркунучун азайтат. экологиялык өзгөрүүлөргө.