The AdvancedSiC Cantilever PaddleВет-китай тарабынан түзүлгөн Wafer Processing үчүн жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн эң сонун чечим. Бул консоль калак SiC (кремний карбиди) материалынан жасалган жана анын жогорку катуулугу жана ысыкка туруктуулугу жогорку температурада жана коррозиялуу чөйрөдө мыкты көрсөткүчтөрдү сактоого мүмкүндүк берет. Cantilever Paddle дизайны пластинаны иштетүү учурунда ишенимдүү колдоого мүмкүндүк берип, майдалануу жана бузулуу коркунучун азайтат.
SiC Cantilever Paddleкычкылдануу меши, диффузиялык меш жана күйдүрүү меши сыяктуу жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жабдууларда колдонулган адистештирилген компонент болуп саналат, негизги колдонуу пластиналарды жүктөө жана түшүрүү үчүн, жогорку температура процессинде пластиналарды колдойт жана ташыйт.
Жалпы структураларнынSiCcантилеверpaddle: консоль структурасы, бир четинде бекитилген, экинчи жагынан бош, адатта жалпак жана калак сымал дизайнга ээ.
VET Energy сапатты кепилдөө үчүн жогорку тазалыктагы кайра кристаллдашкан кремний карбид материалдарын колдонот.
| Кайра кристаллдашкан кремний карбидинин физикалык касиеттери | |
| Менчик | Типикалык баалуулук |
| Иштөө температурасы (°C) | 1600°C (кычкылтек менен), 1700°C (редукциялоочу чөйрө) |
| SiC мазмуну | > 99,96% |
| Акысыз Si мазмуну | < 0,1% |
| Массалык тыгыздык | 2,60-2,70 г/см3 |
| Көрүнүп турган көзөнөктүүлүк | < 16% |
| Кысуу күчү | > 600МПа |
| Муздак ийилген күч | 80-90 МПа (20°C) |
| Ысык ийилүүчү күч | 90-100 МПа (1400°C) |
| Термикалык кеңейүү @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Жылуулук өткөрүмдүүлүк @1200°C | 23В/м•К |
| Эластикалык модулу | 240 GPa |
| Термикалык шок каршылык | Абдан жакшы |
Вафли иштетүү үчүн VET Energy компаниясынын Advanced SiC Cantilever калакынын артыкчылыктары:
-Жогорку температуранын туруктуулугу: 1600°Сден жогору чөйрөдө колдонууга болот;
-Төмөн жылуулук кеңейүү коэффициенти: өлчөмдүү туруктуулукту сактайт, пластинкалардын бузулуу коркунучун азайтат;
-Жогорку тазалык: металлдын булгануу коркунучу төмөн;
-Химиялык инерттүүлүк: коррозияга туруктуу, ар кандай газ чөйрөсүнө ылайыктуу;
-Жогорку күч жана катуулугу: эскирүүгө туруктуу, узак кызмат мөөнөтү;
-Жакшы жылуулук өткөрүмдүүлүк: пластинаны бирдей жылытууга жардам берет.
-
6 дюймдук N түрү SiC Wafer
-
Тантал карбид каптоо: эскирүүгө туруктуу, жогорку...
-
24v суутек отун клеткасы Pemfc стек 1000w Hydrog...
-
Суутек энергиясы менен камсыздоо электр куралы 220W күйүүчү май ...
-
Суутек күйүүчү май клеткасы 2000w Pemfc стек 25v дрон ...
-
Ыңгайлаштырылган жогорку күчтүү сүрүлүү C/C композиттери (CFC)