Wafer иштетүү үчүн Advanced SiC Cantilever калак

Вафли иштетүү үчүн өркүндөтүлгөн SiC Cantilever калактары Өзгөчөлөнгөн сүрөт

Кыска сүрөттөмө:

Вет-китай тарабынан ишке киргизилген вафли иштетүү үчүн Advanced SiC Cantilever Paddle пластинкаларды иштетүүнүн натыйжалуулугун жана тактыгын жогорулатуу үчүн жогорку технологиялык SiC материалдарын колдонот. Vet-china консоль калагы эң сонун ысыкка жана коррозияга туруктуулугуна ээ, катаал өндүрүш шарттарында пластинка менен иштөөнүн туруктуу иштешин камсыз кылат, бул өндүрүштүн түшүмүн жогорулатуу үчүн идеалдуу тандоо болуп саналат.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз PDF катары жүктөп алыңыз

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

The AdvancedSiC Cantilever PaddleВет-китай тарабынан түзүлгөн Wafer Processing үчүн жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн эң сонун чечим. Бул консоль калак SiC (кремний карбиди) материалынан жасалган жана анын жогорку катуулугу жана ысыкка туруктуулугу жогорку температурада жана коррозиялуу чөйрөдө мыкты көрсөткүчтөрдү сактоого мүмкүндүк берет. Cantilever Paddle дизайны пластинаны иштетүү учурунда ишенимдүү колдоого мүмкүндүк берип, майдалануу жана бузулуу коркунучун азайтат.

SiC Cantilever Paddleкычкылдануу меши, диффузиялык меш жана күйдүрүү меши сыяктуу жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жабдууларда колдонулган адистештирилген компонент болуп саналат, негизги колдонуу пластиналарды жүктөө жана түшүрүү үчүн, жогорку температура процессинде пластиналарды колдойт жана ташыйт.

Жалпы структураларнынSiCcантилеверpaddle: консоль структурасы, бир четинде бекитилген, экинчи жагынан бош, адатта жалпак жана калак сымал дизайнга ээ.

VET Energy сапатты кепилдөө үчүн жогорку тазалыктагы кайра кристаллдашкан кремний карбид материалдарын колдонот.

Кайра кристаллдашкан кремний карбидинин физикалык касиеттери
Менчик	Типикалык баалуулук
Иштөө температурасы (°C)	1600°C (кычкылтек менен), 1700°C (редукциялоочу чөйрө)
SiC мазмуну	> 99,96%
Акысыз Si мазмуну	< 0,1%
Массалык тыгыздык	2,60-2,70 г/см³
Көрүнүп турган көзөнөктүүлүк	< 16%
Кысуу күчү	> 600МПа
Муздак ийилген күч	80-90 МПа (20°C)
Ысык ийилүүчү күч	90-100 МПа (1400°C)
Термикалык кеңейүү @1500°C	4.70 10^-6/°C
Жылуулук өткөрүмдүүлүк @1200°C	23В/м•К
Эластикалык модулу	240 GPa
Термикалык шок каршылык	Абдан жакшы