PECVD графит кайыгын кантип тазалоо керек？| VET Energy

1. Тазалоодон мурун ырастоо

1) качанPECVD графит кайыгы/ташуучу 100дөн 150 жолуга чейин колдонулса, оператор каптоо абалын өз убагында текшериши керек. Эгерде анормалдуу жабын бар болсо, аны тазалоо жана ырастоо керек. Графит кайыгындагы/ташуучу кремний пластинкасынын кадимки каптоо түсү көк. Эгерде вафлиде көк эмес, бир нече түстөр бар болсо же пластинкалардын ортосундагы түс айырмасы чоң болсо, анда бул анормалдуу каптоо болуп саналат жана анормалдуулуктун себебин убагында ырастоо керек.
2) Процесс аяктагандан кийин персонал каптоо абалын талдайтPECVD графит кайыгы/ташуучу, алар графит кайыгын тазалоо керекпи же жокпу, картанын пунктун алмаштыруу керекпи же жокпу аныкташат, ал эми тазалоо керек болгон графит кайыгы/ташуучу тазалоо үчүн жабдуулардын кызматкерлерине берилет.

 

3) кийинграфит кайык/ ташуучу бузулган болсо, өндүрүш кызматкерлери графит кайыгындагы бардык кремний пластинкаларын алып чыгып, CDA (кысылган аба) менен фрагменттерди сорттошот.графит кайык. Бүткөндөн кийин, жабдууларды персонал тазалоо үчүн HF эритмесинин белгилүү бир бөлүгү менен даярдалган кислота резервуарына көтөрүшөт.

 

2. Графит кайыкты тазалоо

Үч жолу тазалоо үчүн 15-25% фтор кислотасынын эритмесин колдонуу сунушталат, ар бири 4-5 сааттан, ал эми сууга чылоо жана тазалоо процессинде мезгил-мезгили менен көбүктөнгөн азот, жарым сааттай тазалоону кошуу; Эскертүү: көбүктөнгөн газ булагы катары абаны түздөн-түз колдонуу сунушталбайт. Туздалгандан кийин 10 сааттай таза суу менен чайкап, кайыктын кылдат тазаланганын ырастаңыз. Тазалоодон кийин кайыктын бетин, графиттик картанын чекитин жана кайык барактарынын түйүнүн жана башка бөлүктөрүн кремний нитридинин калдыктары бар-жоктугун текшериңиз. Андан кийин талаптарга ылайык кургатуу.

3. Тазалоо чаралары

A) HF кислотасы өтө жегичтүү зат болгондуктан жана белгилүү бир туруксуздукка ээ болгондуктан, операторлор үчүн коркунучтуу. Ошондуктан тазалоочу посттун операторлору коопсуздук чараларын көрүп, атайын адис тарабынан башкарылуусу зарыл.

B) Кайыкты демонтаждоо жана тазалоо учурунда графит бөлүгүн гана тазалоо сунушталат, андыктан ар бир контакттык бөлүгү жакшыраак тазалана алат. Азыркы учурда көптөгөн ата мекендик өндүрүүчүлөр жалпы тазалоону колдонушат, бул ыңгайлуу, бирок HF кислотасы керамикалык бөлүктөргө жегичтүү болгондуктан, жалпы тазалоо тиешелүү тетиктердин иштөө мөөнөтүн кыскартат.