Sic 기판 4''의 도매 OEM/ODM GaN 기반 디피택셜

간단한 설명:

에피택셜 성장 공정에 사용되는 웨이퍼 캐리어는 고온과 혹독한 화학적 세척을 견뎌야 합니다. CoorsTek Clear Carbon™ 서셉터는 이러한 까다로운 에피택시 장비 응용 분야를 위해 특별히 설계되었습니다. 고순도 탄화규소(SiC) 코팅 흑연 구조는 뛰어난 내열성을 제공하고, 균일한 에피층 두께와 저항성을 위한 균일한 열 균일성과 내구성 있는 내화학성을 제공합니다. 정밀한 SiC 크리스탈 코팅은 깨끗하고 매끄러운 표면을 제공하며, 깨끗한 웨이퍼는 전체 영역의 여러 지점에서 서셉터와 접촉하므로 취급에 매우 중요합니다.


제품 세부정보

제품 태그

이는 실제로 당사의 제품과 솔루션을 강화하고 수리할 수 있는 좋은 방법입니다. 우리의 임무는 Sic 기판 4''의 도매 OEM/ODM GaN 기반 증착에 대한 환상적인 작업 경험을 사용하여 고객에게 상상력이 풍부한 제품과 솔루션을 생산하는 것입니다. 우리는 수많은 경험이 풍부한 표현 및 일류 장비와 결합하여 자체 브랜드를 구축하는 데 중점을 둡니다. . 당신이 가치가 있는 우리의 상품.
이는 실제로 당사의 제품과 솔루션을 강화하고 수리할 수 있는 좋은 방법입니다. 우리의 임무는 환상적인 작업 경험을 사용하여 고객에게 상상력이 풍부한 제품과 솔루션을 생산하는 것입니다.중국 GaN 기판 및 GaN 필름, 다양한 제품, 좋은 품질, 합리적인 가격, 세련된 디자인으로 우리의 상품은 뷰티 및 기타 산업 분야에서 광범위하게 사용됩니다. 당사의 제품과 솔루션은 사용자들로부터 널리 인정받고 신뢰받고 있으며 지속적으로 변화하는 경제적, 사회적 요구를 충족할 수 있습니다.

SiC 코팅 흑연 MOCVD 웨이퍼 캐리어

모든 서셉터는 고강도 등방성 흑연으로 만들어졌습니다. 에피택시, 결정 성장, 이온 주입 및 플라즈마 에칭과 같은 까다로운 공정은 물론 LED 칩 생산을 위해 특별히 개발된 고순도 흑연의 이점을 누리십시오.

제품 설명
반도체 응용 분야용 흑연 기판의 SiC 코팅은 순도가 뛰어나고 산화 분위기에 대한 저항성이 뛰어난 부품을 생산합니다.
CVD SiC 또는 CVI SiC는 단순하거나 복잡한 디자인 부품의 Graphite에 적용됩니다. 코팅은 다양한 두께와 매우 큰 부품에 적용될 수 있습니다.

 

컴포넌트

SiC 코팅 흑연 MOCVD 웨이퍼 캐리어

당사의 SiC 코팅 흑연 서셉터의 특별한 장점은 매우 높은 순도, 균질한 코팅 및 탁월한 서비스 수명을 포함합니다. 또한 높은 내화학성과 열 안정성 특성을 갖고 있습니다.

우리는 균일한 서셉터 프로파일을 보장하기 위해 고정밀 가공을 사용하여 SiC 코팅을 적용할 때 매우 엄격한 공차를 유지합니다. 우리는 또한 유도 가열 시스템에 사용하기 위한 이상적인 전기 저항 특성을 지닌 재료를 생산합니다. 완성된 모든 부품에는 순도 및 치수 준수 인증서가 함께 제공됩니다.

애플리케이션:

2

특징:
· 우수한 열충격 저항
· 우수한 물리적 충격 저항
· 우수한 내화학성
· 초고순도
· 복잡한 형태의 가용성
· 산화 분위기에서 사용 가능기본 흑연 재료의 일반적인 특성:

겉보기 밀도: 1.85g/cm3
전기 저항력: 11μΩm
굴곡 강도: 49MPa(500kgf/cm2)
해안 경도: 58
금연 건강 증진 협회: <5ppm
열전도율: 116W/mK(100kcal/mhr-℃)

이는 실제로 당사의 제품과 솔루션을 강화하고 수리할 수 있는 좋은 방법입니다. 우리의 임무는 Sic 기판 4''의 도매 OEM/ODM GaN 기반 증착에 대한 환상적인 작업 경험을 사용하여 고객에게 상상력이 풍부한 제품과 솔루션을 생산하는 것입니다. 우리는 수많은 경험이 풍부한 표현 및 일류 장비와 결합하여 자체 브랜드를 구축하는 데 중점을 둡니다. . 당신이 가치가 있는 우리의 상품.
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