반도체 산업을 위한 재결정된 탄화 규소 크리스탈 보트

간단한 설명:

VET 에너지 재결정화 탄화규소 크리스탈 보트는 장기간에 걸쳐 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 매우 우수한 내열성과 열 균일성, 고순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 처리 응용 분야에 완벽한 솔루션입니다.


제품 세부정보

제품 태그

재결정된 탄화규소의 특성

재결정 탄화규소(R-SiC)는 다이아몬드 다음으로 경도가 높은 고성능 소재로 2000℃ 이상의 고온에서 형성됩니다. 고온 강도, 강한 내식성, 우수한 내산화성, 우수한 열 충격 저항성 등과 같은 SiC의 우수한 특성을 많이 유지합니다.

● 기계적 성질이 우수합니다. 재결정화된 탄화규소는 탄소 섬유보다 강도와 강성이 높고 내충격성이 높으며 극한 온도 환경에서 우수한 성능을 발휘할 수 있으며 다양한 상황에서 더 나은 균형 성능을 발휘할 수 있습니다. 또한 유연성도 좋아 늘어나거나 구부려도 쉽게 손상되지 않아 성능이 크게 향상됩니다.

● 높은 내식성. 재결정화된 탄화규소는 다양한 매체에 대한 내식성이 높고, 다양한 부식성 매체의 침식을 방지할 수 있으며, 기계적 성질을 오랫동안 유지할 수 있고, 접착력이 강하여 수명이 길어집니다. 또한 열 안정성이 뛰어나 특정 온도 변화 범위에 적응할 수 있어 적용 효과가 향상됩니다.

● 소결은 수축되지 않습니다. 소결과정에서 수축이 발생하지 않기 때문에 잔류응력에 의한 제품의 변형이나 균열이 발생하지 않으며, 복잡한 형상과 고정밀도의 부품을 제작할 수 있습니다.

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中结晶碳化硅물리특성

재결정화된 탄화규소의 물리적 특성

성별 / 재산

典型数值 / 대표값

사용온도/ 작동 온도(°C)

1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경)

SiC/ SiC 함량

> 99.96%

자작Si含량/ 무료 Si 콘텐츠

< 0.1%

체감도/부피 밀도

2.60-2.70g/cm23

气孔率/ 겉보기 다공성

< 16%

抗压强도/ 압축강도

> 600MPa

常温抗弯强degree/냉간 굽힘 강도

80-90MPa(20°C)

고온발효도뜨거운 굽힘 강도

90-100MPa(1400°C)

热膨胀系数/ 열팽창 @1500°C

4.70 10-6/°C

导熭系数/열전도도 @1200°C

23W/m•K

杨氏模량/ 탄성률

240GPa

抗熱震性/ 열충격 저항

매우 좋음

VET Energy는 CVD 코팅이 적용된 맞춤형 흑연 및 탄화 규소 제품의 실제 제조업체로, 반도체 및 광전지 산업을 위한 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다. 우리의 기술팀은 국내 최고의 연구 기관에서 왔으며 보다 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수 있습니다.

우리는 보다 진보된 소재를 제공하기 위해 지속적으로 진보된 프로세스를 개발하고 있으며, 코팅과 기판 사이의 결합을 더 단단하게 만들고 분리 가능성을 줄일 수 있는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.

우리 공장 방문을 따뜻하게 환영합니다. 추가 논의를 합시다!

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