VET Energy의 8인치 실리콘 웨이퍼는 전력 전자, 센서, 집적 회로 및 기타 분야에서 널리 사용됩니다. 반도체 산업의 선두주자로서 당사는 증가하는 고객의 요구를 충족시키기 위해 고품질 Si 웨이퍼 제품을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
VET Energy는 Si 웨이퍼 외에도 SiC 기판, SOI 웨이퍼, SiN 기판, Epi 웨이퍼 등을 포함한 광범위한 반도체 기판 재료를 제공합니다. 당사의 제품 라인은 또한 산화 갈륨 Ga2O3 및 AlN과 같은 새로운 와이드 밴드갭 반도체 재료도 포함합니다. 차세대 전력전자소자 개발을 강력히 뒷받침하는 웨이퍼.
VET Energy는 각 웨이퍼가 엄격한 산업 표준을 충족하도록 보장하는 고급 생산 장비와 완벽한 품질 관리 시스템을 갖추고 있습니다. 당사의 제품은 전기적 특성이 우수할 뿐만 아니라 기계적 강도와 열 안정성도 우수합니다.
VET Energy는 고객에게 다양한 크기, 유형 및 도핑 농도의 웨이퍼를 포함한 맞춤형 웨이퍼 솔루션을 제공합니다. 또한 고객이 생산 과정에서 직면하는 다양한 문제를 해결할 수 있도록 전문적인 기술 지원 및 애프터 서비스도 제공합니다.
웨이퍼링 사양
*n-Pm=n형 Pm-등급,n-Ps=n형 Ps-등급,Sl=반절연
| 목 | 8인치 | 6인치 | 4인치 | ||
| nP | n-Pm | n-P | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
| 활(GF3YFCD)-절대값 | 15μm 이하 | 15μm 이하 | ≤25μm | 15μm 이하 | |
| 워프(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
| LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
| 웨이퍼 에지 | 베벨링 | ||||
표면 마감
*n-Pm=n형 Pm-등급,n-Ps=n형 Ps-등급,Sl=반절연
| 목 | 8인치 | 6인치 | 4인치 | ||
| nP | n-Pm | n-P | SI | SI | |
| 표면 마감 | 양면 광학 광택제, Si- Face CMP | ||||
| 표면 거칠기 | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-페이스 Ra≤0.2nm | |||
| 엣지 칩 | 없음 허용됨(길이 및 너비≥0.5mm) | ||||
| 들여쓰기 | 허용되지 않음 | ||||
| 스크래치(Si-Face) | 수량 ≤5, 누적 | 수량 ≤5, 누적 | 수량 ≤5, 누적 | ||
| 균열 | 허용되지 않음 | ||||
| 가장자리 제외 | 3mm | ||||
