SiC დაფარული გრაფიტის ნახევარმთვარის ნაწილი სილიკონის კარბიდის ეპიტაქსიალური აღჭურვილობისთვის

მოკლე აღწერა:

პროდუქტის გაცნობა და გამოყენება: დაკავშირებული კვარცის მილი, შეუძლია გაზის გადატანა უჯრის ბაზის ბრუნვისთვის, ტემპერატურის კონტროლი

პროდუქტის მოწყობილობის მდებარეობა: რეაქციის კამერაში, ვაფლთან პირდაპირ კონტაქტში

ძირითადი პროდუქტები: დენის მოწყობილობები

მთავარი ტერმინალის ბაზარი: ახალი ენერგეტიკული მანქანები

გამოგვიგზავნეთ ელ.წერილი ჩამოტვირთეთ როგორც PDF

პროდუქტის დეტალი

პროდუქტის ტეგები

SiC დაფარული გრაფიტის ნახევარმთვარის ნაწილიis a გასაღებიკომპონენტი, რომელიც გამოიყენება ნახევარგამტარების წარმოების პროცესებში, განსაკუთრებით SiC ეპიტაქსიალური მოწყობილობებისთვის.ჩვენ ვიყენებთ ჩვენს დაპატენტებულ ტექნოლოგიას ნახევარმთვარის ნაწილის დასამზადებლადუკიდურესად მაღალი სისუფთავე,კარგისაფარიერთგვაროვნებადა შესანიშნავი მომსახურების ვადა, ასევემაღალი ქიმიური წინააღმდეგობა და თერმული სტაბილურობის თვისებები.

VET ენერგია არის Theმორგებული გრაფიტისა და სილიციუმის კარბიდის პროდუქტების რეალური მწარმოებელი CVD საფარით,შეუძლია მიაწოდოსსხვადასხვამორგებული ნაწილები ნახევარგამტარული და ფოტოელექტრული ინდუსტრიისთვის. Oჩვენი ტექნიკური გუნდი მოდის საუკეთესო ადგილობრივი კვლევითი ინსტიტუტებიდან, შეუძლია უზრუნველყოს უფრო პროფესიონალური მატერიალური გადაწყვეტილებებიშენთვის.

ჩვენ მუდმივად ვავითარებთ მოწინავე პროცესებს უფრო მოწინავე მასალების უზრუნველსაყოფად,დაშეიმუშავეს ექსკლუზიური დაპატენტებული ტექნოლოგია, რომელსაც შეუძლია საფარსა და სუბსტრატს შორის შემაკავშირებელი უფრო მჭიდრო და ნაკლებად მიდრეკილი გახადოს მოწყვეტა.

Fჩვენი პროდუქციის მახასიათებლები:

1. მაღალი ტემპერატურის ჟანგვის წინააღმდეგობა 1700-მდე℃.
2. მაღალი სისუფთავე დათერმული ერთგვაროვნება
3. შესანიშნავი კოროზიის წინააღმდეგობა: მჟავა, ტუტე, მარილი და ორგანული რეაგენტები.
4. მაღალი სიხისტე, კომპაქტური ზედაპირი, წვრილი ნაწილაკები.
5. ხანგრძლივი მომსახურების ვადა და უფრო გამძლე

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC-ის ძირითადი ფიზიკური თვისებებისაფარი
性质 / საკუთრება	典型数值 / ტიპიური მნიშვნელობა
晶体结构 / კრისტალური სტრუქტურა	FCC β ფაზა多晶，主要为（111 წელი
密度 / სიმჭიდროვე	3.21 გ/სმ³
硬度 / სიხისტე	2500 × 500 გრ დატვირთვა)
晶粒大小 / მარცვლეულის ზომა	2 ~ 10 მკმ
纯度 / ქიმიური სისუფთავე	99.99995%
热容 / სითბოს სიმძლავრე	640 J· კგ^-1· კ^-1
升华温度 / სუბლიმაციის ტემპერატურა	2700℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4-პუნქტიანი
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt მოსახვევი, 1300℃
导热系数 / თერმალგამტარობა	300 W · მ^-1· კ^-1
热膨胀系数 / თერმული გაფართოება (CTE)	4.5×10^-6K^-1