როგორ გავწმინდოთ PECVD გრაფიტის ნავი?| VET ენერგია

1. აღიარება გაწმენდის წინ

1) როდესაცPECVD გრაფიტის ნავი/გადამზიდავი გამოიყენება 100-დან 150-ზე მეტჯერ, ოპერატორმა დროულად უნდა შეამოწმოს საფარის მდგომარეობა. თუ არსებობს არანორმალური საფარი, საჭიროა მისი გაწმენდა და დადასტურება. სილიკონის ვაფლის ნორმალური საფარი გრაფიტის ნავში/გადამზიდავში არის ლურჯი. თუ ვაფლს აქვს არალურჯი, მრავალი ფერი, ან ფერთა განსხვავება ვაფლებს შორის დიდია, ეს არის არანორმალური საფარი და არანორმალურობის მიზეზი დროულად უნდა დადასტურდეს.
2) პროცესის შემდეგ პერსონალი აანალიზებს საფარის მდგომარეობასPECVD გრაფიტის ნავი/გადამზიდავი, ისინი დაადგენენ, საჭიროებს თუ არა გრაფიტის ნავს გაწმენდას და ბარათის პუნქტის შეცვლას, ხოლო გრაფიტის ნავი/გადამზიდი, რომელიც საჭიროებს გაწმენდას, გადაეცემა აღჭურვილობის პერსონალს გასაწმენდად.

 

3) შემდეგგრაფიტის ნავი/ გადამზიდავი დაზიანებულია, წარმოების პერსონალი ამოიღებს ყველა სილიკონის ვაფლს გრაფიტის ნავში და გამოიყენებს CDA (შეკუმშული ჰაერი) ფრაგმენტების დასალაგებლად.გრაფიტის ნავი. დასრულების შემდეგ, აღჭურვილობის პერსონალი მას აწვება მჟავას ავზში, რომელიც მომზადებულია გაწმენდისთვის HF ხსნარის გარკვეული პროპორციით.

 სუფთა PECVD გრაფიტის ნავი (2)

2. გრაფიტის ნავის გაწმენდა

რეკომენდირებულია გამოიყენოთ 15-25% ჰიდროფთორმჟავას ხსნარი გაწმენდის სამი რაუნდისთვის, თითოეული 4-5 საათის განმავლობაში და პერიოდულად აზავდეს აზოტს გაჟღენთისა და გაწმენდის პროცესში, დაემატოს დაახლოებით ნახევარი საათის გაწმენდა; შენიშვნა: არ არის რეკომენდებული ჰაერის პირდაპირ გაზის წყაროდ გამოყენება ბუშტუკებისთვის. მწნილის შემდეგ, ჩამოიბანეთ სუფთა წყლით დაახლოებით 10 საათის განმავლობაში და დაადასტურეთ, რომ ნავი კარგად არის გაწმენდილი. გაწმენდის შემდეგ, გთხოვთ, შეამოწმოთ ნავის ზედაპირი, გრაფიტის ბარათის წერტილი და ნავის ფურცლის შეერთება და სხვა ნაწილები, რომ ნახოთ არის თუ არა სილიციუმის ნიტრიდის ნარჩენები. შემდეგ გააშრეთ მოთხოვნების შესაბამისად.

სუფთა PECVD გრაფიტის ნავი (1)

3. დასუფთავების ზომები

ა) ვინაიდან HF მჟავა არის ძლიერ კოროზიული ნივთიერება და აქვს გარკვეული არასტაბილურობა, ის საშიშია ოპერატორებისთვის. ამიტომ, დასუფთავების პუნქტის ოპერატორებმა უნდა მიიღონ უსაფრთხოების ზომები და იმართონ თავდადებული პირის მიერ.

ბ) რეკომენდირებულია ნავის დაშლა და გაწმენდის დროს მხოლოდ გრაფიტის ნაწილის გაწმენდა, რათა თითოეული საკონტაქტო ნაწილი უფრო საფუძვლიანად გაიწმინდოს. ამჟამად, ბევრი ადგილობრივი მწარმოებელი იყენებს საერთო გაწმენდას, რაც მოსახერხებელია, მაგრამ იმის გამო, რომ HF მჟავა კოროზიულია კერამიკული ნაწილებისთვის, საერთო გაწმენდა შეამცირებს შესაბამისი ნაწილების მომსახურების ხანგრძლივობას.


გამოქვეყნების დრო: დეკ-23-2024
WhatsApp ონლაინ ჩატი!