ლულის მგრძნობელობა თხევადი ფაზის ეპიტაქსიისთვის LPE
EPI (ეპიტაქსია)არის კრიტიკული პროცესი მოწინავე ნახევარგამტარების წარმოებაში. იგი გულისხმობს მასალის თხელი ფენების დეპონირებას სუბსტრატზე რთული მოწყობილობის სტრუქტურების შესაქმნელად. SiC დაფარული გრაფიტის ლულის მგრძნობელობა EPI-სთვის ჩვეულებრივ გამოიყენება როგორც მგრძნობელობა EPI რეაქტორებში მათი შესანიშნავი თბოგამტარობისა და მაღალი ტემპერატურისადმი გამძლეობის გამო. თანCVD-SiC საფარი, ის უფრო მდგრადი ხდება დაბინძურების, ეროზიისა და თერმული შოკის მიმართ. ეს იწვევს მგრძნობელობის ხანგრძლივ სიცოცხლეს და გაუმჯობესებულ ფირის ხარისხს.
ჩვენი ლულის მგრძნობელობის უპირატესობები თხევადი ფაზის ეპიტაქსიისთვის LPE:
შემცირებული დაბინძურება:SiC-ის ინერტული ბუნება ხელს უშლის მინარევების მიბმას მგრძნობელობის ზედაპირზე, რაც ამცირებს დეპონირებული ფილმების დაბინძურების რისკს.
გაზრდილი ეროზიის წინააღმდეგობა:SiC მნიშვნელოვნად უფრო მდგრადია ეროზიის მიმართ, ვიდრე ჩვეულებრივი გრაფიტი, რაც იწვევს მგრძნობელობის უფრო მეტ სიცოცხლეს.
გაუმჯობესებული თერმული სტაბილურობა:SiC-ს აქვს შესანიშნავი თბოგამტარობა და შეუძლია გაუძლოს მაღალ ტემპერატურას მნიშვნელოვანი დამახინჯების გარეშე.
გაუმჯობესებული ფილმის ხარისხი:გაუმჯობესებული თერმული სტაბილურობა და შემცირებული დაბინძურება იწვევს უფრო მაღალი ხარისხის დეპონირებულ ფილმებს გაუმჯობესებული ერთგვაროვნებისა და სისქის კონტროლით.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd არის მაღალტექნოლოგიური საწარმო, რომელიც ფოკუსირებულია მაღალი დონის მოწინავე მასალების, მასალებისა და ტექნოლოგიების წარმოებაზე და რეალიზაციაზე, მათ შორის გრაფიტი, სილიციუმის კარბიდი, კერამიკა, ზედაპირის დამუშავება, როგორიცაა SiC საფარი, TaC საფარი, მინის ნახშირბადი. საფარი, პიროლიზური ნახშირბადის საფარი და ა.
ჩვენი ტექნიკური გუნდი მოდის საუკეთესო ადგილობრივი კვლევითი ინსტიტუტებიდან და შეიმუშავა მრავალი დაპატენტებული ტექნოლოგია პროდუქტის მუშაობისა და ხარისხის უზრუნველსაყოფად, ასევე შეუძლია მომხმარებელს მიაწოდოს პროფესიონალური მატერიალური გადაწყვეტილებები.
ჩვენ გულწრფელად მივესალმებით თქვენ ეწვიეთ ჩვენს ლაბორატორიას და ქარხანას ტექნიკური განხილვისა და თანამშრომლობისთვის!