dokter kewan-china njamin sing saben AwetSilicon Carbide Wafer Handling Paddlewis kinerja banget lan kekiatan. Paddle penanganan wafer silikon karbida iki nggunakake proses manufaktur maju kanggo mesthekake stabilitas struktural lan fungsi tetep ing suhu dhuwur lan lingkungan korosi kimia. Desain inovatif iki nyedhiyakake dhukungan banget kanggo penanganan wafer semikonduktor, utamane kanggo operasi otomatis kanthi tliti dhuwur.
SiC Cantilever Paddleminangka komponen khusus sing digunakake ing peralatan manufaktur semikonduktor kayata tungku oksidasi, tungku difusi, lan tungku annealing, panggunaan utama yaiku kanggo ngisi wafer lan unloading, ndhukung lan ngangkut wafer sajrone proses suhu dhuwur.
Struktur umumsakaSiCcantileverpaddle: struktur cantilever, tetep ing siji mburi lan free ing liyane, biasane duwe desain flat lan paddle-kaya.
nyambut gaweprincisakaSiCcantileverpaddle:
Paddle cantilever bisa mindhah munggah lan mudhun utawa bali lan kasebut ing kamar pawon, bisa digunakake kanggo mindhah wafer saka loading wilayah kanggo Processing, utawa metu saka Processing wilayah, ndhukung lan stabil wafers sak Processing suhu dhuwur.
| Sifat fisik saka Recrystallized Silicon Carbide | |
| Properti | Nilai Khas |
| Suhu kerja (°C) | 1600°C (karo oksigen), 1700°C (lingkungan nyuda) |
| konten SiC | > 99,96% |
| Konten Si gratis | < 0,1% |
| Kapadhetan akeh | 2,60-2,70 g / cm3 |
| Porositas sing katon | < 16% |
| Kekuwatan komprèsi | > 600 MPa |
| Kekuwatan mlengkung kadhemen | 80-90 MPa (20°C) |
| Kekuwatan mlengkung panas | 90-100 MPa (1400°C) |
| Ekspansi termal @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Konduktivitas termal @1200°C | 23 W/m•K |
| Modulus elastis | 240 GPa |
| resistance kejut termal | Apik banget |
